技術(shù)總結(jié)
收納多個存積有半導(dǎo)體制造用的處理液的容器的容器收納裝置包括：載置容器的載置臺；根據(jù)載置在載置臺的容器內(nèi)的處理液的液量進(jìn)行升降的支承板；和根據(jù)支承板的升降相對于容器的相對位置發(fā)生變化的阻擋件。阻擋件在容器內(nèi)的液量低于規(guī)定值的情況下，上升至阻礙容器從載置臺移動的位置。

技術(shù)研發(fā)人員：園田主稅;宮原強;大川勝宏;宇都宮由典;赤田光;長谷部和久
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
文檔號碼：201580051716
技術(shù)研發(fā)日：2015.09.17
技術(shù)公布日：2017.05.24