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半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):11101244閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:

第一半導(dǎo)體晶粒,具有第一表面及相對(duì)于該第一表面的第二表面;

第一模塑料,圍繞該第一半導(dǎo)體晶粒;

第一重分布層結(jié)構(gòu),設(shè)置在該第一半導(dǎo)體晶粒的該第二表面上并且在該第一模塑料上橫向延伸;以及

第一保護(hù)層,覆蓋該第一重分布層結(jié)構(gòu)的側(cè)壁。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,該第一保護(hù)層為模塑料。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:

第二半導(dǎo)體晶粒,設(shè)置在該第一重分布層結(jié)構(gòu)上并且具有第三表面與相對(duì)于該第三表面的第四表面,其中該第一重分布層結(jié)構(gòu)位于該第一半導(dǎo)體晶粒與該第二半導(dǎo)體晶粒之間;以及

第二模塑料,圍繞該第二半導(dǎo)體晶粒。

4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,該第一保護(hù)層為該第二模塑料的延伸部,并且該第一保護(hù)層還覆蓋該第一模塑料的側(cè)壁。

5.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:第二重分布層結(jié)構(gòu),設(shè)置在該第二半導(dǎo)體晶粒的該第四表面上并且在該第二模塑料上橫向延伸。

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,該第二重分布層的側(cè)壁與該第一重分布層的側(cè)壁未垂直對(duì)齊。

7.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:

多個(gè)導(dǎo)電結(jié)構(gòu),設(shè)置在該第二重分布層結(jié)構(gòu)上并且電性耦接至該第二重分布層結(jié)構(gòu);以及

多個(gè)通孔,穿過(guò)該第二模塑料并且電性耦接在該第一重分布層結(jié)構(gòu)與該第二重分布層結(jié)構(gòu)之間。

8.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:

第三半導(dǎo)體晶粒,設(shè)置在該第二重分布層結(jié)構(gòu)上并且具有第五表面與相對(duì)于該第五表面的第六表面;以及

第三模塑料,圍繞該第三半導(dǎo)體晶粒。

9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,該第一保護(hù)層還覆蓋該第二重分布層結(jié)構(gòu)的側(cè)壁。

10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,該第一保護(hù)層為該第三模塑料的延伸部,并且該第一保護(hù)層還覆蓋該第二模塑料的側(cè)壁。

11.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:第二保護(hù)層,覆蓋該第二重分布層結(jié)構(gòu)的側(cè)壁、該第二模塑料的側(cè)壁以及該第一保護(hù)層的側(cè)壁。

12.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:第三重分布層結(jié)構(gòu),設(shè)置在該第三半導(dǎo)體晶粒的該第六表面上并且在該第三模塑料上橫向延伸。

13.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,該第三重分布層的側(cè)壁與該第一重分布層的側(cè)壁及該第二重分布層結(jié)構(gòu)的側(cè)壁未垂直對(duì)齊。

14.如權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:

多個(gè)導(dǎo)電結(jié)構(gòu),設(shè)置在該第三重分布層結(jié)構(gòu)上并且電性耦接至該第三重分布層結(jié)構(gòu);以及

多個(gè)通孔,穿過(guò)該第三模塑料并且電性耦接在該第二重分布層結(jié)構(gòu)與該第三重分布層結(jié)構(gòu)之間。

15.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:第二保護(hù)層,覆蓋該第二重分布層結(jié)構(gòu)的側(cè)壁并且設(shè)置在該第二模塑料上。

16.如權(quán)利要求11或15所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,該第一保護(hù)層為該第二模塑料的延伸部,且該第二保護(hù)層為該第三模塑料的延伸部。

17.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:背面膜,設(shè)置在該第一半導(dǎo)體晶粒的該第一表面上。

18.一種半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:

第一半導(dǎo)體晶粒,具有第一表面與相對(duì)于該第一表面的第二表面;

第一重分布層結(jié)構(gòu),設(shè)置在該第一半導(dǎo)體晶粒的該第二表面上;

第二半導(dǎo)體晶粒,設(shè)置在該第一重分布結(jié)構(gòu)上并且具有第三表面與相對(duì)于該第三表面的第四表面,其中該第二半導(dǎo)體晶粒的尺寸小于該第一半導(dǎo)體晶粒的尺寸,該第一重分布層結(jié)構(gòu)的部分自該第二半導(dǎo)體晶粒露出;以及

模塑料,設(shè)置在該第一重分布層結(jié)構(gòu)的露出的部分上,并且圍繞該第二半導(dǎo)體晶粒,其中該模塑料具有覆蓋第一重分布層結(jié)構(gòu)的側(cè)壁的延伸部。

19.如權(quán)利要求18所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,該模塑料的該延伸部覆蓋該第一半導(dǎo)體晶粒的側(cè)壁的部分或者全部。

20.如權(quán)利要求18所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:第二重分布層結(jié)構(gòu),設(shè)置在該第二半導(dǎo)體晶粒的該第二表面上并且在該模塑料上橫向延伸。

21.如權(quán)利要求20所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,該第二重分布層結(jié)構(gòu)的側(cè)壁與該第一重分布層結(jié)構(gòu)的側(cè)壁不垂直對(duì)齊。

22.如權(quán)利要求20所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:

多個(gè)導(dǎo)電結(jié)構(gòu),設(shè)置在該第二重分布層結(jié)構(gòu)上并且電性耦接至該第二重分布層結(jié)構(gòu);以及

多個(gè)通孔,穿過(guò)該第二模塑料并且電性耦接在該第一重分布層結(jié)構(gòu)與該第二重分布層結(jié)構(gòu)之間。

23.如權(quán)利要求18所述的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,進(jìn)一步包括:背面膜,設(shè)置在該第一半導(dǎo)體晶粒的該第一表面上。

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