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一種陣列基板及其制作方法、液晶顯示面板與流程

文檔序號:12612958閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種陣列基板的制作方法,其特征在于,包括如下步驟:

在基板上依次制作第一金屬層、絕緣層、有源層和第二金屬層;

在所述基板上制作透明導(dǎo)電薄膜,所述透明導(dǎo)電薄膜覆蓋所述第二金屬層;

在所述透明導(dǎo)電薄膜上涂覆第三光刻膠,在所述第三光刻膠上遮蓋第三掩膜版,以在所述第三光刻膠上光刻出圖案,其中,所述第二金屬層在所述第三光刻膠上的投影包含于所述圖案;

對所述透明導(dǎo)電薄膜進(jìn)行刻蝕,以形成透明電極層,其中,所述透明電極層覆蓋所述第二金屬層。

2.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述透明電極層完全覆蓋所述第二金屬層。

3.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述在基板上依次制作第一金屬層、絕緣層、有源層和第二金屬層步驟中包括:在所述基板上濺射第一金屬薄膜層;在所述第一金屬薄膜層上涂覆第一光刻膠;在所述第一光刻膠上遮蓋第一掩膜版,以在所述第一光刻膠上光刻出圖案;對所述第一金屬薄膜層進(jìn)行刻蝕,以形成所述第一金屬層。

4.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述在基板上依次制作第一金屬層、絕緣層、有源層和第二金屬層步驟中包括:在所述有源層上濺射第二金屬薄膜層;在所述第二金屬薄膜層上涂覆第二光刻膠;在所述第二光刻膠上遮蓋第二掩膜版,以在所述第二光刻膠上光刻出圖案;對所述第二金屬薄膜層進(jìn)行刻蝕,以形成所述第二金屬層。

5.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述在所述基板上制作透明電極層,所述透明電極層覆蓋所述第二金屬層步驟中,包括采用物理氣相沉積法在所述基板上形成所述透明導(dǎo)電薄膜。

6.如權(quán)利要求1所述的陣列基板的制作方法,其特征在于,所述有源層包括依次層疊設(shè)置非晶硅層和摻雜層;所述在基板上依次制作第一金屬層、絕緣層、有源層和第二金屬層步驟中包括:在所述絕緣層上通過化學(xué)氣相沉積法依次形成非晶硅層和摻雜層。

7.一種陣列基板,其特征在于,包括依次層疊設(shè)置于基板上的第一金屬層、絕緣層、有源層、第二金屬層和透明電極層,所述透明電極層直接覆蓋在所述第二金屬層上。

8.如權(quán)利要求7所述陣列基板,其特征在于,所述有源層包括依次層疊設(shè)置非晶硅層和摻雜層,所述摻雜層介于所述非晶硅層和所述第二金屬層之間。

9.如權(quán)利要求7所述陣列基板,其特征在于,所述透明電極層完全覆蓋所述第二金屬層。

10.一種液晶顯示面板,其特征在于,包括權(quán)利要求7-9任意一項(xiàng)所述的陣列基板。

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