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一種埋藏型金屬柵格生成方法及圖像傳感器制造方法與流程

文檔序號:12612978閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種埋藏型金屬柵格生成方法,其特征在于,包括如下步驟:

步驟1,對半導(dǎo)體基底上部待生成金屬柵格區(qū)進行光刻,以在所述待生成金屬柵格區(qū)形成基底層材質(zhì)柵格;

步驟2,在所述基底層材質(zhì)柵格的側(cè)壁生成金屬膜層,以生成金屬柵格。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種埋藏型金屬柵格生成方法,其特征在于,所述步驟2包括如下步驟:

步驟21,在光刻后的半導(dǎo)體基底的上表面使用汽相沉積工藝生成金屬膜層;

步驟22,將具有所述金屬膜層的半導(dǎo)體基底的上表面暴露于蝕刻劑下,以去除所述基底層材質(zhì)柵格的側(cè)壁以外的其它部位處的所述金屬膜層,保留所述基底層材質(zhì)柵格的側(cè)壁處的所述金屬膜層,以生成金屬柵格。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種埋藏型金屬柵格生成方法,其特征在于,所述汽相沉積工藝為化學(xué)汽相沉積或物理汽相沉積。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種埋藏型金屬柵格生成方法,其特征在于,所述金屬膜層的材質(zhì)為氮化鈦、氮化鉭或鎢。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種埋藏型金屬柵格生成方法,其特征在于,所述蝕刻劑為干蝕刻劑或濕蝕刻劑。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種埋藏型金屬柵格生成方法,其特征在于,所述干蝕刻劑為氧、氮、氫、氬和氟類中的一種或多種的蝕刻化學(xué)物;所述濕蝕刻劑為氟氫酸。

7.一種圖像傳感器制造方法,其特征在于,采用權(quán)利要求1至6任一所述一種埋藏型金屬柵格生成方法,在圖像傳感器的像素陣列區(qū)生成埋藏型金屬柵格。

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