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硅片少子壽命測(cè)試用的氣氛控制裝置的制作方法

文檔序號(hào):12803156閱讀:698來(lái)源:國(guó)知局

本實(shí)用新型涉及光伏太陽(yáng)能電池領(lǐng)域,具體地說(shuō)是一種硅片少子壽命測(cè)試用的氣氛控制裝置。



背景技術(shù):

硅片少子壽命的測(cè)試對(duì)于硅片的性能提升研究和質(zhì)量控制而言是非常關(guān)鍵的一步。對(duì)太陽(yáng)能電池而言,少子壽命的測(cè)試可以衡量表面處理技術(shù)的優(yōu)劣,也可以表征鈍化層薄膜的鈍化質(zhì)量,對(duì)于電池的前端工藝研究和最終的性能預(yù)測(cè)都有著重要的應(yīng)用價(jià)值。目前測(cè)試少子壽命都是在大氣環(huán)境中進(jìn)行。這是因?yàn)閭鹘y(tǒng)晶硅電池所采用的鈍化材料為二氧化硅、氮化硅等無(wú)機(jī)材料,其鈍化效果受環(huán)境影響較小。隨著技術(shù)的發(fā)展,有機(jī)材料鈍化、聚合物鈍化、活潑無(wú)機(jī)材料鈍化等新技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。這些材料受環(huán)境影響較為明顯,例如會(huì)受濕度、氧化等的影響。這種情況下少子壽命的測(cè)試就需要在特殊的氣氛下進(jìn)行。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的就是提供一種硅片少子壽命測(cè)試用的氣氛控制裝置,該裝置可以直接安裝在現(xiàn)有的少子壽命設(shè)備上,操作簡(jiǎn)單,光譜兼容性好。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種硅片少子壽命測(cè)試用的氣氛控制裝置,在少子壽命測(cè)試平臺(tái)上設(shè)置有上下開(kāi)口、用于罩住待測(cè)硅片的盒體,在所述盒體的上開(kāi)口處扣蓋有透明蓋,且所述盒體的上開(kāi)口處與所述透明蓋接觸部位設(shè)置有上密封圈,所述盒體的下開(kāi)口處與少子壽命測(cè)試平臺(tái)接觸部位設(shè)置有下密封圈;在所述盒體的側(cè)壁開(kāi)有與所述盒體內(nèi)腔相通的進(jìn)氣口和出氣口,通過(guò)所述進(jìn)氣口和所述出氣口可向所述盒體的內(nèi)腔中提供硅片少子壽命測(cè)試所需的氣氛。

所述透明蓋為全光譜通透或選擇性光譜通透的透明蓋。

所述上密封圈和所述下密封圈均為橡膠密封圈。

所述盒體為圓柱形或長(zhǎng)方體形結(jié)構(gòu)。

通過(guò)所述進(jìn)氣口和所述出氣口向所述盒體的內(nèi)腔中提供的硅片少子壽命測(cè)試所需氣氛為氧氣氣氛、干燥空氣氣氛、氮?dú)鈿夥栈蛘婵諝夥铡?/p>

本實(shí)用新型所提供的硅片少子壽命測(cè)試用的氣氛控制裝置,可直接安置在少子壽命測(cè)試平臺(tái)上,由該氣氛控制裝置的盒體將少子壽命測(cè)試平臺(tái)上的硅片罩住,盒體上方扣蓋透明蓋,且盒體的上下開(kāi)口處分別設(shè)置密封圈,使得盒體內(nèi)腔形成一個(gè)密閉的空間。通過(guò)盒體側(cè)壁的進(jìn)氣口可向盒體內(nèi)通入氧氣、干燥空氣、氮?dú)饣蚱渌厥鈿怏w等,還可將進(jìn)氣口和出氣口與真空泵相接,對(duì)盒體內(nèi)腔進(jìn)行抽真空,從而向盒體內(nèi)提供硅片少子壽命測(cè)試所需的各種不同的氣氛。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,安裝方便,能夠?yàn)楣杵僮訅勖鼫y(cè)試提供各種不同的氣氛;且盒體上方的透明蓋可以為全光譜透明或選擇性光譜透明的蓋子,因此光譜兼容性也比較好。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中:1、盒體,2、透明蓋,3、上密封圈,4、下密封圈,5、進(jìn)氣口,6、出氣口。

具體實(shí)施方式

如圖1所示,本實(shí)用新型所提供的硅片少子壽命測(cè)試用的氣氛控制裝置,可直接安置在少子壽命測(cè)試平臺(tái)上,具體是:在少子壽命測(cè)試平臺(tái)(圖中未示出)上放置盒體1,盒體1呈上下開(kāi)口結(jié)構(gòu),其形狀可以為圓柱形、長(zhǎng)方體、正方體或其他不規(guī)則體等,盒體1放置在少子壽命測(cè)試平臺(tái)上時(shí)要通過(guò)其下開(kāi)口罩住放置在少子壽命測(cè)試平臺(tái)上的待測(cè)硅片。

在盒體1的上方扣蓋有透明蓋2,透明蓋2將盒體1的上開(kāi)口完全覆蓋。透明蓋2可以為全光譜通透的蓋子,也可以是選擇性光譜通透的蓋子,從而使得整個(gè)氣氛控制裝置具有很好的光譜兼容性。在盒體1的上開(kāi)口與透明蓋2相接觸的部位設(shè)置上密封圈3,在盒體1的下開(kāi)口與少子壽命測(cè)試平臺(tái)相接觸的部位設(shè)置下密封圈4。上密封圈3和下密封圈4一般均設(shè)置為橡膠密封圈。上密封圈3和下密封圈4可使得盒體1的內(nèi)腔處于嚴(yán)密的封閉空間。

在盒體1的側(cè)壁開(kāi)有與盒體1內(nèi)腔相通的進(jìn)氣口5和出氣口6,通過(guò)進(jìn)氣口5可向盒體1內(nèi)腔中通入所需氣體,例如可通入氧氣、干燥空氣、氮?dú)饣騽e的特殊氣體等。通過(guò)出氣口6可將盒體1內(nèi)腔的氣體排出。對(duì)于需要真空環(huán)境的情況下,還可以使進(jìn)氣口5和出氣口6同時(shí)與真空泵相接,通過(guò)真空泵對(duì)盒體1內(nèi)腔進(jìn)行抽真空。

少子壽命測(cè)試平臺(tái)一般是基于光電導(dǎo)衰減技術(shù)的少子壽命測(cè)試儀的平臺(tái)。鈍化后的硅片被置于少子壽命測(cè)試平臺(tái)上,然后將本實(shí)用新型中的氣氛控制裝置安置在少子壽命測(cè)試平臺(tái)上,并使盒體1罩住待測(cè)硅片。通過(guò)進(jìn)氣口5和出氣口6向盒體1內(nèi)腔提供硅片少子壽命測(cè)試所需的氣氛。對(duì)于經(jīng)有機(jī)材料、聚合物、活潑無(wú)機(jī)材料鈍化后的硅片,可避免這些材料受環(huán)境的影響致使硅片少子壽命測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確。

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