技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種硅片少子壽命測試用的氣氛控制裝置。其結(jié)構(gòu)是在少子壽命測試平臺上設(shè)置有上下開口、用于罩住待測硅片的盒體，在所述盒體的上開口處扣蓋有透明蓋，且所述盒體的上開口處與所述透明蓋接觸部位設(shè)置有上密封圈，所述盒體的下開口處與少子壽命測試平臺接觸部位設(shè)置有下密封圈；在所述盒體的側(cè)壁開有與所述盒體內(nèi)腔相通的進(jìn)氣口和出氣口，通過所述進(jìn)氣口和所述出氣口可向所述盒體的內(nèi)腔中提供硅片少子壽命測試所需的氣氛。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，可直接安置在少子壽命測試平臺上，能夠?yàn)樯僮訅勖鼫y試平臺上的硅片提供各種不同的氣氛；且盒體上方的透明蓋可以為全光譜透明或選擇性光譜透明的蓋子，因此光譜兼容性也比較好。

技術(shù)研發(fā)人員：麥耀華;沈艷嬌;陳兵兵;郭建新;陳劍輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：河北大學(xué)
文檔號碼：201621358548
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.12
技術(shù)公布日：2017.07.04