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硅片少子壽命測試用的氣氛控制裝置的制作方法

文檔序號:12803156閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種硅片少子壽命測試用的氣氛控制裝置,其特征是,在少子壽命測試平臺上設(shè)置有上下開口、用于罩住待測硅片的盒體,在所述盒體的上開口處扣蓋有透明蓋,且所述盒體的上開口處與所述透明蓋接觸部位設(shè)置有上密封圈,所述盒體的下開口處與少子壽命測試平臺接觸部位設(shè)置有下密封圈;在所述盒體的側(cè)壁開有與所述盒體內(nèi)腔相通的進氣口和出氣口,通過所述進氣口和所述出氣口可向所述盒體的內(nèi)腔中提供硅片少子壽命測試所需的氣氛。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片少子壽命測試用的氣氛控制裝置,其特征是,所述透明蓋為全光譜通透或選擇性光譜通透的透明蓋。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片少子壽命測試用的氣氛控制裝置,其特征是,所述上密封圈和所述下密封圈均為橡膠密封圈。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片少子壽命測試用的氣氛控制裝置,其特征是,所述盒體為圓柱形或長方體形結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片少子壽命測試用的氣氛控制裝置,其特征是,通過所述進氣口和所述出氣口向所述盒體的內(nèi)腔中提供的硅片少子壽命測試所需氣氛為氧氣氣氛、干燥空氣氣氛、氮氣氣氛或真空氣氛。

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