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一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12833834閱讀:644來源:國知局

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,涉及到一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu)。



背景技術(shù):

隨著電子產(chǎn)品的不斷發(fā)展,電子產(chǎn)品的體積越來越趨于小型化,不僅攜帶方便,而且器件上集成的器件數(shù)量也越來越多,因此預(yù)留給器件的空間越來越小,封裝后的芯片必須輕薄短小。

M0SFET(金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)管)是利用電場(chǎng)效應(yīng)來控制半導(dǎo)體的場(chǎng)效應(yīng)晶體管。由于M0SFET具有可實(shí)現(xiàn)低功耗電壓控制的特性,近年來被廣泛應(yīng)用在大量電子設(shè)備中,包括電源、汽車電子、計(jì)算機(jī)和智能手機(jī)中等。M0SFET器件通過將適當(dāng)電壓施加至M0SFET器件的柵極而工作,其接通該器件并形成連接M0SFET的源極(source)和漏極(drain)的通道以允許電流流動(dòng)。在M0SFET器件中,期望在該晶體管接通時(shí)具有低的漏源接通rfe阻(漏源電阻,drain-on-source resistance)RDS(onhM0SFET性能特別是電流承載能力的優(yōu)劣很大程度上取決于散熱性能,散熱性能的好壞又主要取決于封裝形式。M0STOT的封裝要求是大電流的承載能力、高效的導(dǎo)熱能力以及較小的封裝尺寸。

目前M0SFET封裝主要是TO、SOT、S0P、QFP、QFN等形式,這類封裝都是將芯片包裹在塑封體內(nèi),塑封本身增加了器件尺寸,不符合半導(dǎo)體向輕、短、薄、小方向發(fā)展的要求,而且無法將芯片工作時(shí)產(chǎn)生的熱量及時(shí)導(dǎo)走或散去,制約了MS0FET性能提升,另外就封裝工藝而言,這類封裝都是基于單顆芯片進(jìn)行,存在生產(chǎn)效率低、封裝成本高的問題。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型提供的一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),導(dǎo)電片和柵極導(dǎo)電片分別通過導(dǎo)電金屬層與載板連接,減少漏源極的導(dǎo)通電阻;通過在導(dǎo)電金屬層與源極導(dǎo)電片和柵極導(dǎo)電片之間分別設(shè)置有導(dǎo)電柱,增加電流的導(dǎo)通效果;通過將焊盤設(shè)置在導(dǎo)電金屬層的內(nèi)部,提高焊盤的牢固性,解決了場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝體積大、散熱性差以及漏源間的導(dǎo)通電阻大的問題。

本實(shí)用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):

一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),包括載板和MOSFET芯片,所述載板上設(shè)置有凹槽;所述MOSFET芯片的正面設(shè)置有源極導(dǎo)電片和柵極導(dǎo)電片,背面設(shè)置有漏極導(dǎo)電片;所述凹槽上設(shè)置有導(dǎo)電金屬層,所述導(dǎo)電金屬層包括第一導(dǎo)電金屬層和第二導(dǎo)電金屬層,所述第一導(dǎo)電金屬層和第二導(dǎo)電金屬層之間存在間隙;

所述源極導(dǎo)電片與第一導(dǎo)電金屬層、柵極導(dǎo)電片與第二導(dǎo)電金屬層之間分別設(shè)置有導(dǎo)電柱;

所述載板上的導(dǎo)電金屬層以及漏極導(dǎo)電片上設(shè)置有保護(hù)層,所述保護(hù)層上設(shè)置有焊盤,所述焊盤上設(shè)置有導(dǎo)電體。

進(jìn)一步地,所述第一導(dǎo)電金屬層和第二導(dǎo)電金屬層之間的間距為10-30um。

進(jìn)一步地,所述第一導(dǎo)電金屬層和第二導(dǎo)電金屬層的高度差為0-5um。

進(jìn)一步地,所述導(dǎo)電柱呈棱臺(tái)或圓臺(tái)狀,所述兩導(dǎo)電柱的小端面分別與源極導(dǎo)電片和柵極導(dǎo)電片連接,其中,兩大端面分別與第一導(dǎo)電金屬層和第二導(dǎo)電金屬層連接。

進(jìn)一步地,還包括填充物,所述填充物設(shè)置在導(dǎo)電金屬層的上表面、MOSFET芯片的正面以及導(dǎo)電柱的外表面所形成的區(qū)域內(nèi)。

進(jìn)一步地,所述焊盤包括源極焊盤、柵極焊盤和漏極焊盤,所述源極焊盤和柵極焊盤進(jìn)入導(dǎo)電金屬層的深度小于等于導(dǎo)電金屬層的厚度;所述漏極焊盤與漏極導(dǎo)電片相接觸。

進(jìn)一步地,所述導(dǎo)電體的形狀為焊接凸塊或焊接方形塊,通過三個(gè)導(dǎo)電體分別與外界線路連接。

本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型源極導(dǎo)電片和柵極導(dǎo)電片分別通過導(dǎo)電金屬層與載板連接,減少漏源極的導(dǎo)通電阻;通過在導(dǎo)電金屬層與源極導(dǎo)電片和柵極導(dǎo)電片之間分別設(shè)置有導(dǎo)電柱,增加電流的導(dǎo)通效果;通過將焊盤設(shè)置在導(dǎo)電金屬層的內(nèi)部,提高焊盤的牢固性,該實(shí)用新型不僅具有封裝體積小、散熱性高的特點(diǎn),而且大大降低了生產(chǎn)成本和生產(chǎn)周期,同時(shí)提高了芯片的使用壽命。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例描述所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu)示意圖;

附圖中,各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:

100-載板,200-MOSFET芯片,201-源極導(dǎo)電片,202-柵極導(dǎo)電片,203-漏極導(dǎo)電片,300-導(dǎo)電金屬層,301-第一導(dǎo)電金屬層,302-第二導(dǎo)電金屬層,303-導(dǎo)電柱,304-填充物,400-凹槽,500-導(dǎo)電體,501-源極焊盤,502-柵極焊盤,503-漏極焊盤。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1所示,一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),包括載板100和MOSFET芯片200,載板100的中部有凹槽400結(jié)構(gòu),載板100的凹槽400上設(shè)置有導(dǎo)電金屬層300,導(dǎo)電金屬層300延伸至載板100的上表面,導(dǎo)電金屬層300包括第一導(dǎo)電金屬層301和第二導(dǎo)電金屬層302,且第一導(dǎo)電金屬層301和第二導(dǎo)電金屬層302之間存在間隙,該間隙的距離為10-30um;MOSFET芯片200的正面包括源極區(qū)和柵極區(qū),在源極區(qū)上設(shè)置有源極導(dǎo)電片201,在柵極區(qū)上設(shè)置有柵極導(dǎo)電片202;MOSFET芯片200的背面設(shè)置有漏極區(qū),在漏極區(qū)上設(shè)置有漏極導(dǎo)電片203。

源極導(dǎo)電片201和柵極導(dǎo)電片202分別設(shè)置在凹槽內(nèi),源極導(dǎo)電片201和柵極導(dǎo)電片202分別與第一導(dǎo)電金屬層301和第二導(dǎo)電金屬層302之間設(shè)置有導(dǎo)電柱303;源極導(dǎo)電片201和柵極導(dǎo)電片202分別通過導(dǎo)電柱303與第一導(dǎo)電金屬層301和第二導(dǎo)電金屬層302連接。

其中導(dǎo)電柱303呈棱臺(tái)或圓臺(tái)狀,兩導(dǎo)電柱303的小端面分別與源極導(dǎo)電片201和柵極導(dǎo)電片202連接,兩大端面分別與第一導(dǎo)電金屬層301和第二導(dǎo)電金屬層302連接。

凹槽400底部的上表面與MOSFET芯片200的上表面之間設(shè)置有填充物304,導(dǎo)電金屬層300的上表面、MOSFET芯片200的正面以及導(dǎo)電柱303的外表面所形成的區(qū)域內(nèi)設(shè)置有填充物304。

在載板100的上表面和漏極導(dǎo)電片203的上表面設(shè)置有保護(hù)層400,保護(hù)層400為一體化結(jié)構(gòu),與有源極導(dǎo)電片201和柵極導(dǎo)電片202相連的導(dǎo)電金屬層300的上表面以及漏極導(dǎo)電片203的上表面對(duì)應(yīng)的保護(hù)層400上分別設(shè)置有三個(gè)開口,在開口處設(shè)置有源極焊盤501、柵極焊盤502和漏極焊盤503,源極焊盤501和柵極焊盤502的底部與導(dǎo)電金屬層300接觸或進(jìn)入導(dǎo)電金屬層300內(nèi),且進(jìn)入的深度小于等于導(dǎo)電金屬層300的厚度;漏極焊盤503與漏極導(dǎo)電片203相接觸。

源極焊盤501、柵極焊盤502和漏極焊盤503上分別設(shè)置有導(dǎo)電體500,導(dǎo)電體500的形狀為焊接凸塊或焊接方形塊,通過三個(gè)導(dǎo)電體500分別與外界線路連接,實(shí)現(xiàn)信號(hào)的流動(dòng)。

本實(shí)施例中導(dǎo)電金屬層300未延伸至載板100的邊緣,使得保護(hù)層400將導(dǎo)電金屬層300包封,避免導(dǎo)電金屬層300與其他導(dǎo)電體接觸。

本實(shí)用新型源極導(dǎo)電片和柵極導(dǎo)電片分別通過導(dǎo)電金屬層與載板連接,減少漏源極的導(dǎo)通電阻;通過在導(dǎo)電金屬層與源極導(dǎo)電片和柵極導(dǎo)電片之間分別設(shè)置有導(dǎo)電柱,增加電流的導(dǎo)通效果;通過將焊盤設(shè)置在導(dǎo)電金屬層的內(nèi)部,提高焊盤的牢固性,該實(shí)用新型不僅具有封裝體積小、散熱性高的特點(diǎn),而且大大降低了生產(chǎn)成本和生產(chǎn)周期,同時(shí)提高了芯片的使用壽命。

以上內(nèi)容僅僅是對(duì)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)所作的舉例和說明,所屬本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代,只要不偏離實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)或者超越本權(quán)利要求書所定義的范圍,均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

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