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一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12833834閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),包括載板(100)和MOSFET芯片(200),所述載板(100)上設(shè)置有凹槽(400);所述MOSFET芯片(200)的正面設(shè)置有源極導(dǎo)電片(201)和柵極導(dǎo)電片(202),背面設(shè)置有漏極導(dǎo)電片(203),其特征在于:所述凹槽(400)上設(shè)置有導(dǎo)電金屬層(300),所述導(dǎo)電金屬層(300)包括第一導(dǎo)電金屬層(301)和第二導(dǎo)電金屬層(302),所述第一導(dǎo)電金屬層(301)和第二導(dǎo)電金屬層(302)之間存在間隙;

所述源極導(dǎo)電片(201)與第一導(dǎo)電金屬層(301)、柵極導(dǎo)電片(202)與第二導(dǎo)電金屬層(302)之間分別設(shè)置有導(dǎo)電柱(303);

所述載板(100)上的導(dǎo)電金屬層(300)以及漏極導(dǎo)電片(203)上設(shè)置有保護(hù)層(400),所述保護(hù)層(400)上設(shè)置有焊盤,所述焊盤上設(shè)置有導(dǎo)電體(500)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一導(dǎo)電金屬層(301)和第二導(dǎo)電金屬層(302)之間的間距為10-30um。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一導(dǎo)電金屬層(301)和第二導(dǎo)電金屬層(302)的高度差為0-5um。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述導(dǎo)電柱(303)呈棱臺(tái)或圓臺(tái)狀,所述兩導(dǎo)電柱(303)的小端面分別與源極導(dǎo)電片(201)和柵極導(dǎo)電片(202)連接,其中,兩大端面分別與第一導(dǎo)電金屬層(301)和第二導(dǎo)電金屬層(302)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:還包括填充物(304),所述填充物(304)設(shè)置在導(dǎo)電金屬層(300)的上表面、MOSFET芯片(200)的正面以及導(dǎo)電柱(303)的外表面所形成的區(qū)域內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述焊盤包括源極焊盤(501)、柵極焊盤(502)和漏極焊盤(503),所述源極焊盤(501)和柵極焊盤(502)進(jìn)入導(dǎo)電金屬層(300)的深度小于等于導(dǎo)電金屬層(300)的厚度;所述漏極焊盤(503)與漏極導(dǎo)電片(203)相接觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管的封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述導(dǎo)電體(500)的形狀為焊接凸塊或焊接方形塊,通過三個(gè)導(dǎo)電體(500)分別與外界線路連接。

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