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超薄封裝元件的制作工藝的制作方法

文檔序號(hào):11100828閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1. 一種超薄封裝元件的制作工藝,其特征在于,包括如下步驟:

a、框架設(shè)計(jì)制造

采用金屬作為底板,在底板上通過(guò)干膜光刻掩膜,按順序分別電鍍厚度控制在

0.03~0.05um的Au層、厚度60~80um的Ni層和厚度1.5~3umAg層,形成組裝功能區(qū),用于芯片的安裝和焊線(xiàn)的焊點(diǎn);

b、裝片

采用共晶或銀膠或絕緣膠中的任一種裝片工藝,完成芯片安裝;

c、焊線(xiàn)

采用球焊工藝進(jìn)行焊接;

d、等離子清洗

進(jìn)行等離子清洗,保證產(chǎn)品在塑封前的表面清潔;

e、塑封固化

產(chǎn)品裝入塑封模具,加入環(huán)氧樹(shù)脂包裹成型,使產(chǎn)品內(nèi)部的芯片和焊線(xiàn)能夠安全地保護(hù),塑封后的產(chǎn)品經(jīng)過(guò)高溫150~175℃烘烤4~8小時(shí),使環(huán)氧樹(shù)脂內(nèi)部結(jié)構(gòu)能夠充分反應(yīng);

f、化學(xué)去框架底板

產(chǎn)品放進(jìn)腐蝕液中進(jìn)行腐蝕,框架底板材料在腐蝕液中被腐蝕掉,而與底板接觸的鍍金層由于耐腐蝕性未被腐蝕,去除框架底板后產(chǎn)品的底部全部露出鍍金層凸點(diǎn),用于產(chǎn)品后續(xù)與PCB板之間的焊接;

g、切割分離

將去除底板后的產(chǎn)品粘貼在UV上,按照產(chǎn)品設(shè)計(jì)的尺寸大小及外露的鍍金層凸點(diǎn)之間的間距采用切割設(shè)備進(jìn)行切割分離,切割后進(jìn)行UV照射并使產(chǎn)品從UV上分離開(kāi),通過(guò)清洗并干燥烘干;

h、測(cè)試、包裝

根據(jù)產(chǎn)品的電性規(guī)定設(shè)定測(cè)試程序進(jìn)行電性能參數(shù)測(cè)試,通過(guò)測(cè)試合格產(chǎn)品按照印章內(nèi)容要求MARK打印,并對(duì)測(cè)試打印后產(chǎn)品進(jìn)行外觀(guān)檢測(cè)通過(guò)后進(jìn)行編帶包裝,形成合格成品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄封裝元件的制作工藝,其特征在于:所述步驟a中底板為厚度0.1mm的銅板或不銹鋼板材料通過(guò)多層電鍍方式制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄封裝元件的制作工藝,其特征在于:所述步驟b

采用銀膠、絕緣膠工藝的產(chǎn)品裝片后需進(jìn)行加溫?zé)Y(jié),燒結(jié)后進(jìn)行等離子清洗去除燒結(jié)過(guò)程中的銀膠、絕緣膠產(chǎn)生的揮發(fā)物。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超薄封裝元件的制作工藝,其特征在于:所述步驟c中球焊工藝中選用金線(xiàn)、合金線(xiàn)或者銅線(xiàn)等焊接材料,采用合金線(xiàn)和銅線(xiàn)生產(chǎn)在焊接過(guò)程中增加氮?dú)浠旌蠚膺M(jìn)行保護(hù),防止球氧化造成焊接不良。

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