基板盒清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對(duì)基板盒進(jìn)行清洗的基板盒清洗裝置，該基板盒是在對(duì)轉(zhuǎn)印電子部件的電路圖案時(shí)使用的掩模基板或晶片等半導(dǎo)體基板等基板進(jìn)行保管或者搬運(yùn)時(shí)使用的基板盒。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為這種基板盒清洗裝置，已知例如專利文獻(xiàn)I (日本特開2005-109523號(hào)公報(bào))中公開的基板盒清洗裝置。如圖22所示，在未設(shè)置基板的狀態(tài)下，該基板盒清洗裝置Sa對(duì)由底座Cb和覆蓋該底座Cb的殼Cs構(gòu)成且內(nèi)部容納基板(未圖示)的基板盒C進(jìn)行清洗?；搴星逑囱b置Sa具備形成潔凈的空間的室200，在該室200內(nèi)設(shè)置有清洗槽201，所述清洗槽201在將底座Cb和殼Cs各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件。清洗槽201具備:槽主體202，其具有向上方開放的開口 ；和蓋203，其對(duì)槽主體202的開口進(jìn)行開閉。在室200的外部設(shè)置有載置基板盒C的載置臺(tái)204。手臂機(jī)器人205利用把持柄207把持載置于載置臺(tái)204上的基板盒C并搬送到設(shè)置在室200的內(nèi)部的支承臺(tái)206。并且，手臂機(jī)器人205利用把持柄207把持被支承于支承臺(tái)206的基板盒C的殼Cs而搬送并放置于清洗槽201的槽主體202內(nèi)，將基板盒C的底座Cb搬送并放置于清洗槽201的蓋203上。然后，在將蓋203關(guān)閉的狀態(tài)下，殼Cs和底座Cb在槽主體202內(nèi)被清洗。若清洗完畢，則清洗槽201的蓋203被打開，手臂機(jī)器人205對(duì)基板盒C的底座Cb和殼Cs順次地進(jìn)行搬送，并在支承臺(tái)206上裝配成基板盒C。并且，手臂機(jī)器人205再次地將基板盒C從支承臺(tái)206上搬送到室200外的載置臺(tái)204上。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-109523號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]然而，在上述以往的基板盒清洗裝置Sa的清洗槽201中，基板盒C的殼Cs被放置在槽主體202內(nèi)，底座Cb被放置設(shè)置于蓋203。當(dāng)這樣地將一個(gè)部件安裝于蓋203而進(jìn)行清洗時(shí)，有時(shí)清洗液不容易充分地遍及安裝于蓋203的部件、特別是蓋側(cè)的表面，不一定能夠充分地進(jìn)行清洗。
[0008]本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的，提供基板盒清洗裝置，其能夠使基板盒的各部件在槽主體內(nèi)分離地進(jìn)行清洗，并能夠使清洗液均勻地遍布而可靠地進(jìn)行清洗。
[0009]用于解決課題的手段
[0010]本發(fā)明的基板盒清洗裝置為如下的結(jié)構(gòu):在未設(shè)置基板的狀態(tài)下對(duì)基板盒進(jìn)行清洗，該所述基板盒具備底座和覆蓋該底座的殼，并且在內(nèi)部容納上述基板，其中，該基板盒清洗裝置具備:室，其形成潔凈的空間；清洗槽，其設(shè)置在該室內(nèi)，在將上述基板盒的底座和殼各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件；和搬送機(jī)構(gòu)，其相對(duì)于清洗槽搬送上述基板盒的各部件，上述清洗槽具備:槽主體，其具有向上方敞開的開口 ；和能夠開閉的蓋，在搬送上述基板盒的各部件時(shí)，該蓋使該槽主體的開口打開，在清洗該各部件時(shí)，該蓋使該所述開口關(guān)閉，該基板盒清洗裝置還具備:旋轉(zhuǎn)板，其在所述清洗槽的槽主體的底部被設(shè)置成能夠以垂直方向的軸線為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部，其驅(qū)動(dòng)該旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)；多個(gè)底座支承桿，其豎立設(shè)置在上述旋轉(zhuǎn)板上，并在規(guī)定的高度位置處對(duì)上述底座的外緣的一部分進(jìn)行支承；和多個(gè)殼支承桿，其豎立設(shè)置于上述旋轉(zhuǎn)板上，并在與上述底座支承桿不同的規(guī)定的高度位置處對(duì)上述殼的外緣的一部分進(jìn)行支承。
[0011]由此，利用搬送機(jī)構(gòu)將底座和殼搬送到清洗槽中，底座被多個(gè)底座支承桿支承，殼被多個(gè)殼支承桿支承保持。此時(shí)，首先支承與高度低的支承桿對(duì)應(yīng)的部件，然后支承與高度高的支承桿對(duì)應(yīng)的部件。在該情況下，由于底座支承桿和殼支承桿在不同的規(guī)定的高度位置對(duì)各部件進(jìn)行支承，因此，在槽主體內(nèi)，底座和殼分別使它們的外表面和內(nèi)表面露出并且被保持成彼此分離。因此，在進(jìn)行清洗時(shí)，由于清洗液均勻地遍及底座和殼，因此能夠可靠地進(jìn)行清洗。即，在如以往那樣地將一個(gè)部件安裝于蓋而進(jìn)行清洗的情況下，清洗液不容易充分地遍及安裝于蓋的部件、特別是蓋側(cè)的表面，但根據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，由于能夠使各部件在槽主體內(nèi)分離而進(jìn)行清洗，因此能夠使清洗液均勻地遍及而可靠地進(jìn)行清洗。
[0012]并且，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，根據(jù)需要可以為如下的結(jié)構(gòu):上述清洗槽的多個(gè)底座支承桿和多個(gè)殼支承桿彼此豎立設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置。
[0013]由此，在清洗槽中，在底座和殼中的與高度低的支承桿對(duì)應(yīng)的部件的支承和解除支承中，與該高度低的支承桿對(duì)應(yīng)的部件及對(duì)其進(jìn)行搬送的搬送機(jī)構(gòu)的構(gòu)成要素變得位于比高度高的支承桿靠下的位置，但由于底座支承桿和殼支承桿彼此豎立設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置，因此能夠避免與該高度高的支承桿發(fā)生干擾，能夠可靠地搬送并支承保持各部件。
[0014]此外，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，根據(jù)需要可以為如下的結(jié)構(gòu):該基板盒清洗裝置具備控制部，該控制部對(duì)上述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行控制，并將支承和解除支承上述底座時(shí)的底座支承桿的停止位置與支承和解除支承上述殼時(shí)的殼支承桿的停止位置設(shè)定成相位不同。能夠與搬送機(jī)構(gòu)相應(yīng)地將底座支承桿的停止位置和殼支承桿的停止位置設(shè)定成相位不同，能夠容易地對(duì)各部件進(jìn)行支承和解除支承。
[0015]此外，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，根據(jù)需要可以為如下的結(jié)構(gòu):所述基板盒清洗裝置具備保持部，所述保持部被設(shè)置在上述清洗槽內(nèi)，在無需對(duì)上述底座和殼中的任一方的部件的外側(cè)面進(jìn)行清洗時(shí)，該保持部能夠以覆蓋該無需清洗的部件的外側(cè)面的方式保持該部件。
[0016]由此，在底座和殼中的任一方的外側(cè)面具有鎖定部等，該鎖定部將定位用的孔及各部件的裝配鎖定，存在這樣的情況:當(dāng)清洗時(shí)清洗液浸入到這些部件，烘干需要花費(fèi)很多時(shí)間，若在未干燥的狀態(tài)下放置，則存在內(nèi)部會(huì)生銹等不良影響，但根據(jù)污染狀態(tài)，有時(shí)不如不進(jìn)行清洗更好，但在該情況下，選擇性地使一個(gè)部件保持于保持部。由此，由于一個(gè)部件的外側(cè)面被覆蓋，因此清洗液能夠到達(dá)內(nèi)側(cè)面而進(jìn)行清洗，但清洗液被阻止浸入到外側(cè)面，最終不進(jìn)行清洗。
[0017]并且，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，根據(jù)需要可以為如下的結(jié)構(gòu):上述保持部被設(shè)置在上述清洗槽的蓋的背面，利用上述蓋的背面來覆蓋上述無需清洗的部件的外側(cè)面。由于利用蓋的背面，因此能夠使保持部的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易。
[0018]并且，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，根據(jù)需要可以為如下的結(jié)構(gòu):上述保持部具備吸附盤，該吸附盤吸附上述無需清洗的部件的外側(cè)面。由于通過吸附盤的吸附而進(jìn)行保持，因此能夠可靠地進(jìn)行保持。
[0019]并且，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，根據(jù)需要可以為如下的結(jié)構(gòu):該基板盒清洗裝置具備控制部，該控制部判定是否不需要對(duì)上述底座和殼中的至少任一方的部件的外側(cè)面進(jìn)行清洗，在判定為不需要時(shí)，利用上述搬送機(jī)構(gòu)將無需清洗的部件搬送到上述保持部。
[0020]預(yù)先通過在清洗基板盒前進(jìn)行的與清洗有關(guān)的程序設(shè)計(jì)、或者利用傳感器來檢測(cè)基板盒的型式及形狀等而進(jìn)行控制部的是否無需清洗的判定。并且，控制部根據(jù)該確認(rèn)而使無需清洗的部件搬送并保持于保持部。由于通過控制部的確認(rèn)而選擇性地進(jìn)行，因此能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化。
[0021]發(fā)明效果
[0022]根據(jù)本發(fā)明的基板盒清洗裝置，在底座和殼被搬送到清洗槽中時(shí)，首先支承與高度低的支承桿對(duì)應(yīng)的部件，然后支承與高度高的支承桿對(duì)應(yīng)的部件，但由于底座支承桿和殼支承桿在不同的規(guī)定的高度位置對(duì)各部件進(jìn)行支承，因此，在槽主體內(nèi)，底座和殼分別使它們的外表面和內(nèi)表面露出、并且保持成彼此分離。因此，在進(jìn)行清洗時(shí)，由于清洗液均勻地遍及底座和殼，因此能夠可靠地進(jìn)行清洗。即，在如以往那樣地將一個(gè)部件安裝于蓋而進(jìn)行清洗的情況下，清洗液不容易充分地遍及安裝于蓋的部件、特別是蓋側(cè)的表面，但根據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，由于能夠使各部件在槽主體內(nèi)分離而進(jìn)行清洗，因此能夠使清洗液均勻地遍及而可靠地進(jìn)行清洗。
【附圖說明】
[0023]圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的側(cè)剖視圖。
[0024]圖2是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的俯視剖視圖。
[0025]圖3是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的橫剖視圖。
[0026]圖4是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的主視圖。
[0027]圖5是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的載置臺(tái)的立體圖。
[0028]圖6A是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的支承臺(tái)的立體圖。
[0029]圖6B是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的支承臺(tái)對(duì)基板盒進(jìn)行支承的狀態(tài)的圖。
[0030]圖7是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的支承臺(tái)和把持機(jī)構(gòu)與其作用一同示出的圖。
[0031]圖8A是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其一)。
[0032]圖SB是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其二)。
[0033]圖SC是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其三)。
[0034]圖8D是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其四)。
[0035]圖SE是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其五)。
[0036]圖9是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽(第二清洗槽)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0037]圖1OA是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對(duì)外部殼進(jìn)行支承的狀態(tài)的俯視圖。
[0038]圖1OB是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對(duì)外部殼進(jìn)行支承的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0039]圖1lA是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對(duì)外部底座進(jìn)行支承的狀態(tài)的俯視圖。
[0040]圖1lB是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗