付于搬送機構60。搬送機構60按外部殼Ms、內部殼Ns、內部底座Nb、外部底座Mb的順序將這些部件從支承臺20搬送到各自對應的第一清洗槽40內和第二清洗槽50內。通過控制部100的控制使把持機構61在一個水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個軸方向上移動而定位，并使把持柄70在另一水平方向(X軸方向)上移動，由此進行把持機構61對部件的把持。在該情況下，能夠利用把持柄70的一對柄單體71、71來把持所有的部件。即，把持柄70的一對柄單體71具備卡定部73、74、75、76，所述卡定部73、74、75、76與外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內部容器N的內部底座Nb和內部殼Ns的各把持部的形狀分別相應地對它們進行卡定，因此對各部件的把持變得可靠。在圖7、圖1OB和圖17A中示出了外部殼Ms的把持狀態(tài)，在圖1lB和圖17B中示出了外部底座Mb的把持狀態(tài)，在圖12B和圖18A中示出了內部殼Ns的保持狀態(tài)，在圖13B和圖18B中示出了內部底座Nb的把持狀態(tài)。
[0094]在該情況下，如下地進行第一清洗槽40對外部殼Ms和外部底座Mb的接收。如圖1OA和圖1OB所示，控制部100首先驅動第一旋轉板44旋轉并使其停止在規(guī)定的旋轉位置，使得能夠利用外部殼支承桿47來支承外部殼Ms的角部。在該狀態(tài)下，把持外部殼Ms的把持柄70下降到第一清洗槽40內而使外部殼Ms支承于外部殼支承桿47，然后上升。在該情況下，外部殼Ms由于被支承于高度較低的外部殼支承桿47，因此變成與把持柄70 —同地位于比高度較高的外部底座支承桿46靠下的位置，但由于外部底座支承桿46和外部殼支承桿47彼此豎立地設置在旋轉方向的不同位置，因此能夠避免與該高度較高的外部底座支承桿46發(fā)生干擾，能夠可靠地搬送并支承保持外部殼Ms。
[0095]接著，如圖1lA所示，控制部100驅動第一旋轉板44旋轉并使其停止在規(guī)定的旋轉位置，使得能夠利用外部底座支承桿46來支承外部底座Mb的角部。即，多個外部底座支承桿46和多個外部殼支承桿47彼此豎立地設置在旋轉方向的不同位置，因此在旋轉方向上相位錯開45°。搬送機構60只能夠使把持機構61在一個水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個軸方向上移動，無法改變外部底座Mb的方向及把持柄70的方向。但是，通過將外部底座支承桿46的停止位置和外部殼Ms的支承桿的停止位置設定成相位不同，能夠進行各支承桿相對于搬送機構60的位置調整，因此能夠使外部底座Mb可靠地支承于外部底座支承桿46。
[0096]另一方面，如下地進行第二清洗槽50對內部殼Ns和內部底座Nb的接收。如圖12A和圖12B所示，控制部100首先驅動第二旋轉板54旋轉并使其停止在規(guī)定的旋轉位置，使得能夠利用內部殼支承桿57來支承內部殼Ns的角部。在該狀態(tài)下，把持內部殼Ns的把持柄70下降到第二清洗槽50內而使內部殼Ns支承于內部殼支承桿57，然后上升。在該情況下，由于內部殼Ns被支承于高度較低的內部殼支承桿57，因此變成與把持柄70 —同地位于比高度較高的內部底座支承桿56靠下的位置，但由于內部底座支承桿56和內部殼支承桿57彼此豎立地設置在旋轉方向的不同位置，因此能夠避免與該高度較高的內部底座支承桿56發(fā)生干擾，能夠可靠地搬送并支承保持內部殼Ns。
[0097]接著，如圖13A所示，控制部100驅動第二旋轉板54旋轉并使其停止在規(guī)定的旋轉位置，使得能夠利用內部底座支承桿56來支承內部底座Nb的角部。即，多個內部底座支承桿56和多個內部殼支承桿57彼此豎立地設置在旋轉方向的不同位置，因此在旋轉方向上相位錯開45°。搬送機構60只能夠使把持機構61在一個水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個軸方向上移動，無法改變內部底座Nb的方向及把持柄70的方向。但是，通過將內部底座支承桿56的停止位置和內部殼Ns的支承桿的停止位置設定成相位不同，能夠進行各支承桿相對于搬送機構60的位置調整，因此能夠使內部底座Nb可靠地支承于內部底座支承桿56。
[0098]如圖14A、圖14B、圖15A和圖15B所示，若搬送機構60按外部殼Ms、內部殼Ns、內部底座Nb、外部底座Mb的順序將這些部件從支承臺20向各自對應的第一清洗槽40內和第二清洗槽50內搬送完畢，如圖2所示，把持柄70待機于待機位置Q。并且，如圖1所示，在第一清洗槽40和第二清洗槽50中，蓋43、53被關閉，外部容器M和內部容器N的各部件被清洗。在該情況下，由于外部容器M和內部容器N分別在各自的清洗槽40、50中被清洗，因此，能夠防止附著于暴露在外部空氣中的外部容器M上的污染物質對內部容器N造成二次污染的情況，相應地能夠提高清洗精度。
[0099]此外，如圖15A和圖15B所示，在第一清洗槽40中，由于外部底座支承桿46和外部殼支承桿47在不同的規(guī)定的高度位置處對各部件進行支承，因此，在槽主體42內，外部底座Mb和外部殼Ms分別使它們的外表面和內表面露出，并且被保持成彼此分離。因此，在進行清洗時，由于清洗液均勻地遍布于外部底座Mb和外部殼Ms，因此能夠可靠地進行清洗。
[0100]另一方面，如圖14A和圖14B所示，由于在第二清洗槽50中內部底座支承桿56和內部殼支承桿57也在不同的規(guī)定的高度位置處對各部件進行支承，因此，在槽主體52內，內部底座Nb和內部殼Ns分別使它們的外表面和內表面露出，并且被保持成彼此分離。因此，在進行清洗時，由于清洗液均勻地遍布于內部底座Nb和內部殼Ns，因此能夠可靠地進行清洗。
[0101]S卩，在如以往那樣地將一個部件安裝于蓋43、53而進行清洗的情況下，清洗液不容易充分地遍布于安裝于蓋43、53上的部件的特別是靠蓋43、53側的表面，但根據(jù)本發(fā)明的結構，由于能夠使各部件在槽主體42、52內分離地進行清洗，因此，能夠使清洗液均勻地遍布而可靠地進行清洗。
[0102]在該外部容器M和內部容器N的各部件的清洗過程中，從清洗單元80的噴射嘴81向處于待機位置Q的把持柄70噴射氣體，進行把持柄70的清洗。有時由于把持各部件而使附著于各部件的污染物質轉移而附著并污染把持柄70，但能夠通過該噴射嘴81的氣體噴射來凈化。因此，能夠防止把持柄70在把持并搬送清洗后的各部件時將被凈化了的各部件再次污染的情況。此外，由于在清洗各部件時進行把持柄70的清洗，因此能夠在每次清洗各部件時進行清洗，能夠可靠地防止清洗后的各部件被污染。此外，由于從噴射嘴81噴射氣體而使附著于把持柄70的污染物質脫落，因此能夠可靠地去除污染物質。并且，由于被去除的污染物質借助排氣扇82被排出到室10外，因此能夠始終使室10內保持潔凈。
[0103]若外部容器M和內部容器N的各部件的清洗完畢，則根據(jù)與上述相反的工序，首先，第一清洗槽40和第二清洗槽50的蓋43、53被打開，通過搬送機構60而這次按外部底座Mb、內部底座Nb、內部殼Ns、外部殼Ms的順序從這些部件所對應的第一清洗槽40內和第二清洗槽50內搬送到支承臺20并裝配起來。如上述那樣，通過控制部100的控制而使把持機構61在一個水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個軸方向上移動而定位，并使把持柄70在另一水平方向(X軸方向)移動，從而進行把持機構61對部件的把持。在該情況下，能夠利用把持柄70的一對柄單體71、71來把持所有的部件。此外，把持柄70的一對柄單體71具備卡定部73、74、75、76，所述卡定部73、74、75、76與外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內部容器N的內部底座Nb和內部殼Ns的各把持部的形狀分別相應地對它們進行卡定，因此各部件的把持變得可靠。
[0104]在該情況下，如下地進行第一清洗槽40中的外部底座Mb和外部殼Ms的取出。首先，如圖1lA所示，控制部100驅動第一旋轉板44旋轉并使其停止在規(guī)定的旋轉位置，使得能夠利用把持柄70來把持外部底座Mb。在該狀態(tài)下，把持柄70下降并把持外部底座Mb，然后上升。接著，如圖1OA所示，控制部100驅動第一旋轉板44旋轉并使其停止在規(guī)定的旋轉位置，使得能夠利用把持柄70來把持外部殼Ms。即，多個外部底座支承桿46和多個外部殼支承桿47彼此豎立地設置在旋轉方向的不同位置，因此在旋轉方向上相位錯開45°。在該狀態(tài)下，把持柄70下降并把持外部殼Ms，然后上升。在該情況下，由于外部殼Ms被支承于高度較低的外部殼支承桿47，因此與把持柄70 —同地從比高度較高的外部底座支承桿46靠下的位置起上升，但由于外部底座支承桿46和外部殼支承桿47彼此豎立地設置在旋轉方向的不同位置，因此能夠避免與該高度較高的外部底座支承桿46發(fā)生干擾，能夠可靠地取出外部殼Ms。
[0105]另一方面，如下地進行第二清洗槽50中的內部底座Nb和內部殼Ns的取出。首先，如圖13A所示，控制部100驅動第二旋轉板54旋轉并使其停止在規(guī)定的旋轉位置，使得能夠利用把持柄70來把持內部底座Nb。在該狀態(tài)下，把持柄70下降并把持內部底座Nb，然后上升。接著，如圖12A所示，控制部100驅動第二旋轉板54旋轉并使其停止在規(guī)定的旋轉位置，使得能夠利用把持柄70來把持內部殼Ns。即，多個內部底座支承桿56和多個內部殼支承桿57彼此豎立地設置在旋轉方向的不同位置，因此在旋轉方向上相位錯開45°。在該狀態(tài)下，把持柄70下降并把持內部殼Ns，然后上升。在該情況下，由于內部殼Ns被支承于高度較低的內部殼支承桿57，因此與把持柄70 —同地從比高度較高的內部底座支承桿56靠下的位置上升，但由于內部底座支承桿56和內部殼支承桿57彼此豎立地設置在旋轉方向的不同位置，因此能夠避免與該高度較高的內部底座支承桿56發(fā)生干擾，能夠可靠地取出內部殼Ns。
[0106]這樣，從各清洗槽40、50中順次取出的外部底座Mb、內部底座Nb、內部殼Ns、外部殼Ms經(jīng)與上述相反的工序而在支承臺20上被裝配起來，并且作為基板盒C被支承于支承臺20 (參照圖SE)。在該狀態(tài)下，插銷驅動部21被驅動而使基板盒C被鎖定，外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內部容器N的內部底座Nb和內部殼Ns各部件變得不能脫離。并且，室10的