機發(fā)光層、電子傳輸層和第二電極，所述第二電極與所述第二電極走線電極導(dǎo)通。
[0061 ]自第一電極向上方向，在第一電極上依次形成空穴傳輸層、有機發(fā)光層、電子傳輸層和第二電極，第二電極與第二電極走線電極搭接在一起，使所述第二電極與所述第二電極走線電極導(dǎo)通，進(jìn)而得到有機電致發(fā)光顯示器件。
[0062]本申請實施例還提供了一種有機電致發(fā)光顯示器件，結(jié)合圖3a和3b，對本申請實施例提供的有機電致發(fā)光顯示器件的結(jié)構(gòu)進(jìn)行描述。圖3a為為本申請實施例提供的OLED的透明基板上的電極層示意圖，圖3b為圖3a中提供的OLED沿AA’方向的切面圖。
[0063]有機電致發(fā)光顯示器件包括透明基板31，位于透明基板31上的第一電極32、第一電極走線電極33、第二電極走線電極34，以及位于第一電極31上的空穴傳輸層35，位于空穴傳輸層35上的有機發(fā)光層36,位于有機發(fā)光層36上的電子傳輸層37和位于電子傳輸層37上的第二電極38，且第二電極38與第二電極走線電極34導(dǎo)通。
[0064]透明基板31可以為玻璃基板、塑料基板或樹脂基板，位于所述透明基板31上形成有第一電極32、第一電極走線電極33和第二電極走線電極34，第一電極32與第一電極走線電極33導(dǎo)通。
[0065]第一電極走線電極33和第二電極走線電極34的結(jié)構(gòu)相同，所述第一電極走線電極33和第二電極走線電極34均包括三層導(dǎo)電層，自所述透明基板向上依次為第一導(dǎo)電層301、第二導(dǎo)電層302和第三導(dǎo)電層303,所述第一導(dǎo)電層301和所述第三導(dǎo)電層303與所述第一電極32的材料相同，即均為透明導(dǎo)電層，所述第二導(dǎo)電層302為金屬層。
[0066]其中，第一電極、所述第一電導(dǎo)電層和第三導(dǎo)電層均為ITO導(dǎo)電層或IZO導(dǎo)電層，所述第二導(dǎo)電層為銅層、銅合金層、銀層、銀合金層、鋁層、鋁合金層、鉻層、鑰層、鋅層或鎂層。本實施例優(yōu)選的，所述第一導(dǎo)電層厚度為50?300nm，包括端點值；所述第二導(dǎo)電層厚度為100?500nm，包括端點值；所述第三導(dǎo)電層厚度為5?lOOnm，包括端點值。
[0067]本申請實施例所提供的一種有機電致發(fā)光顯示器件及制作方法，首先自透明基板向上方向，在所述透明基板上依次形成第一透明導(dǎo)電層、金屬層、第二透明導(dǎo)電層和光刻膠層，且所述第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層相同；采用第一掩膜板對所述光刻膠層曝光顯影，并采用第一刻蝕液同時刻蝕所述第一透明導(dǎo)電層、金屬層和第二透明導(dǎo)電層，形成第一電極走線電極和第二電極走線電極；形成第一電極、以及自所述第一電極向上依次形成空穴傳輸層、有機發(fā)光層、電子傳輸層和第二電極，所述第二電極與所述第二電極走線電極導(dǎo)通。
[0068]本發(fā)明提供的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件的制作方法，對于第一電極走線電極和第二電極走線電極的制作過程僅需要一次曝光，而后對第一透明導(dǎo)電層、金屬層和第二透明導(dǎo)電層同步刻蝕形成第一電極走線電極和第二電極走線電極，避免了現(xiàn)有的分層曝光刻蝕造成偏位，而導(dǎo)致側(cè)蝕的現(xiàn)象。同時本發(fā)明提供的有機電致發(fā)光顯示器件的第三導(dǎo)電層有效保護(hù)第二導(dǎo)電層，提供第二導(dǎo)電層的抗氧化能力，并且由于第二導(dǎo)電層為金屬層，其電阻低，以及第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層均為高溫結(jié)晶形態(tài)薄膜，其電阻低，使得有機電致發(fā)光顯不器件的功耗降低。
[0069]對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種低功耗有機電致發(fā)光顯示器件的制作方法，其特征在于，包括步驟: 51、自透明基板向上方向，在所述透明基板上依次形成第一透明導(dǎo)電層、金屬層、第二透明導(dǎo)電層，并對所述第二透明導(dǎo)電層表面涂覆光刻膠，且所述第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層材料相同，且均為低溫非晶形態(tài)薄膜； 52、采用第一掩膜板進(jìn)行曝光顯影，并采用第一刻蝕液同時刻蝕所述第一透明導(dǎo)電層、金屬層和第二透明導(dǎo)電層，形成第一電極走線電極和第二電極走線電極； 53、形成第一電極，并對第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層進(jìn)行高溫退火； 54、自所述第一電極向上方向，在所述第一電極上依次形成空穴傳輸層、有機發(fā)光層、電子傳輸層和第二電極，所述第二電極與所述第二電極走線電極導(dǎo)通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件的制作方法，其特征在于，所述第一刻蝕液為磷酸、硝酸、醋酸和水溶液，或過硫酸鈉、磷酸和水溶液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件的制作方法，其特征在于，所述步驟S2還包括: 形成第一電極前期結(jié)構(gòu)，所述第一電極前期結(jié)構(gòu)包括具有第一電極形狀的所述第一透明導(dǎo)電層、金屬層和第二透明導(dǎo)電層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件的制作方法，其特征在于，所述步驟S3中形成所述第一電極具體包括: 去除剩余所述光刻膠，對所述透明基板朝向所述第一透明導(dǎo)電層一側(cè)的表面、所述第一透明導(dǎo)電層所述金屬層和所述第二透明導(dǎo)電層裸露的表面重新涂覆光刻膠，并采用第二掩膜板進(jìn)行曝光顯影，采用第二刻蝕液刻蝕掉所述第一電極前期結(jié)構(gòu)的第二透明導(dǎo)電層，采用第三刻蝕液刻蝕掉所述第一電極前期結(jié)構(gòu)的金屬層，形成所述第一電極。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件的制作方法，其特征在于，所述金屬層為銅層、銅合金層、銀層、銀合金層、鋁層、鋁合金層、鉻層、鑰層、鋅層或鎂層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件的制作方法，其特征在于，所述金屬層為銅層，所述第二刻蝕液為草酸和水溶液，所述第三刻蝕液為醋酸、雙氧水和水溶液。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件的制作方法，其特征在于，所述金屬層為銀層，所述第二刻蝕液為草酸和水溶液，所述第三刻蝕液為氨水、雙氧水和水溶液。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件的制作方法，其特征在于，所述金屬層為鋁層或鎂層，所述第二刻蝕液為草酸和水溶液，所述第三刻蝕液為氫氧化鈉和水溶液。
9.一種低功耗有機電致發(fā)光顯示器件，包括透明基板，以及位于所述透明基板上的第一電極、第一電極走線電極和第二電極走線電極，其特征在于，所述第一電極走線電極和第二電極走線電極均包括三層導(dǎo)電層，自所述透明基板向上依次為第一導(dǎo)電層、第二導(dǎo)電層和第三導(dǎo)電層，所述第一導(dǎo)電層和所述第三導(dǎo)電層與所述第一電極的材料相同，所述第二導(dǎo)電層為金屬層。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件，其特征在于，所述第一電導(dǎo)電層和第三導(dǎo)電層均為ITO導(dǎo)電層或IZO導(dǎo)電層，所述第二導(dǎo)電層為銅層、銅合金層、銀層、銀合金層、鋁層、鋁合金層、鉻層、鑰層、鋅層或鎂層。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件，其特征在于，所述透明基板為玻璃基板、塑料基板或樹脂基板。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的低功耗有機電致發(fā)光顯示器件，其特征在于，所述第一導(dǎo)電層厚度為50?300nm，包括端點值；所述第二導(dǎo)電層厚度為100?500nm，包括端點值；所述第三導(dǎo)電層厚度為5?lOOnm，包括端點值。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種低功耗有機電致發(fā)光顯示器件及制作方法，對于第一電極走線電極和第二電極走線電極的制作過程僅需要一次曝光，而后對第一透明導(dǎo)電層、金屬層和第二透明導(dǎo)電層同步刻蝕形成第一電極走線電極和第二電極走線電極，避免了現(xiàn)有的分層曝光刻蝕造成偏位，而導(dǎo)致側(cè)蝕的現(xiàn)象。同時本發(fā)明提供的有機電致發(fā)光顯示器件的第三導(dǎo)電層有效保護(hù)第二導(dǎo)電層，提供第二導(dǎo)電層的抗氧化能力，并且由于第二導(dǎo)電層為金屬層，其電阻低，以及第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層均為高溫結(jié)晶形態(tài)薄膜，其電阻低，使得有機電致發(fā)光顯示器件的功耗降低。
【IPC分類】H01L51-56, H01L27-32
【公開號】CN104681744
【申請?zhí)枴緾N201310627723
【發(fā)明人】謝志生, 蘇君海, 柯賢軍, 何基強, 李建華
【申請人】信利半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請日】2013年11月29日