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具有翅片式有源圖案和柵極節(jié)點(diǎn)的半導(dǎo)體裝置的制造方法_5

文檔序號(hào):9262325閱讀:來源:國(guó)知局
第二翅片式有源圖案120上。
[0341]第二柵電極310與第一接觸件510分開第二距離L2。從第二柵電極310到第一接觸件510的第二距離L2比從第一柵電極210到第一接觸件510的第一距離LI大。
[0342]如所示,第一柵電極210設(shè)置在第二柵電極310和第一接觸件510之間。
[0343]第五柵電極360與第一接觸件510分開第四距離L4。從第五柵電極360到第一接觸件510的第四距離L4比從第四柵電極260到第一接觸件510的第三距離L3大。距離L2可以基本等于距離L4。
[0344]如所示,第四柵電極260設(shè)置在第五柵電極360和第一接觸件510之間。
[0345]在根據(jù)本發(fā)明的某些實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置中,第二柵電極310和第五柵電極360中的每個(gè)可以是圖2中所示的斷裂晶體管的柵極端子。因此,第二柵電極310和第五柵電極360可以連接到高電壓線WP。
[0346]第三柵電極410和第六柵電極460中的每個(gè)可以沿第二方向Y延伸。第三柵電極410和第六柵電極460中的每個(gè)與第一翅片式有源圖案110交叉,但不與第二翅片式有源圖案120交叉。
[0347]第三柵電極410和第六柵電極460中的每個(gè)形成在第一翅片式有源圖案110上,但未形成在第二翅片式有源圖案120上。
[0348]第二柵電極310設(shè)置在第三柵電極410和第一柵電極210之間,第五柵電極360設(shè)置在第六柵電極460和第四柵電極260之間。
[0349]在根據(jù)本發(fā)明的第十三實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置13中,第三柵電極410和第六柵電極460可以是電浮置柵電極。同樣地,第三柵電極410和第六柵電極460可以是虛設(shè)柵電極。
[0350]第二接觸件520可以將第一柵電極210連接到圖2中所示的字線WL。
[0351]第三接觸件530可以將第二柵電極310連接到圖2中所示的高電壓線WP。
[0352]第四接觸件550可以將第四柵電極260連接到圖2中所示的字線WL。
[0353]第五接觸件560可以將第五柵電極360連接到圖2中所示的高電壓線WP。
[0354]如圖22中所示,沒有形成電連接到位于第一柵電極210和第二柵電極310的之間的第一翅片式有源圖案110的接觸件。換言之,位于第一柵電極210和第二柵電極310之間的第一翅片式有源圖案110沒有電連接到諸如字線(WL)或位線(BL)的布線、提供電信號(hào)的布線等。
[0355]類似地,沒有形成電連接到位于第四柵電極260和第五柵電極360之間的第一翅片式有源圖案110的接觸件。換言之,位于第四柵電極260和第五柵電極360之間的第一翅片式有源圖案110沒有電連接到諸如字線(WL)或位線(BL)的布線、提供電信號(hào)的布線等。
[0356]在根據(jù)本發(fā)明的第十三實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置13中,第三柵電極410可以覆蓋第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部。另外,第六柵電極460可以覆蓋第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部。第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部從第一柵電極210的一側(cè)表面沿第一方向X突出。此外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部從第四柵電極260的一側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0357]在圖22中描繪的結(jié)構(gòu)可以形成連接到同一位線的兩個(gè)反熔絲存儲(chǔ)單元。
[0358]現(xiàn)在將參照?qǐng)D23至圖25來描述根據(jù)本發(fā)明的第十四實(shí)施例至第十六實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置。為了簡(jiǎn)明起見,以下將主要側(cè)重于與圖22的實(shí)施例的不同來描述第十四至十六實(shí)施例。
[0359]圖23是根據(jù)本發(fā)明的第十四實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置14的布局視圖。圖24是根據(jù)本發(fā)明的第十五實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置15的布局視圖。圖25是根據(jù)本發(fā)明的第十六實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置16的布局視圖。
[0360]參照?qǐng)D23,在根據(jù)本發(fā)明的第十四實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置14中,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部沒有從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0361]另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部沒有從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0362]例如,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部位于第一柵電極210下面并與第一柵電極210疊置。另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部位于第四柵電極260下面并與第四柵電極260疊置。
[0363]參照?qǐng)D24,在根據(jù)本發(fā)明的第十五實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置15中,第一翅片式有源圖案I1的端部中的一個(gè)端部沒有從第二柵電極310的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0364]另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部沒有從第五柵電極360的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0365]例如,第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部位于第二柵電極310下面并與第二柵電極310疊置。另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部位于第五柵電極360下面并與第五柵電極360疊置。
[0366]因此,與根據(jù)本發(fā)明的第十三實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置13不同,根據(jù)本發(fā)明的第十五實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置15不包括第三柵電極410和第六柵電極460。
[0367]參照?qǐng)D25,在根據(jù)本發(fā)明的第十六實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置16中,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部沒有從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0368]另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部沒有從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0369]第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部沒有從第二柵電極310的側(cè)表面沿第一方向X突出。另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部沒有從第五柵電極360的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0370]例如,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部位于第一柵電極210下面并與第一柵電極210疊置。另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部位于第四柵電極260下面并與第四柵電極260疊置。
[0371]此外,第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部位于第二柵電極310下面并與第二柵電極310疊置。另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部位于第五柵電極360下面并與第五柵電極360疊置。
[0372]因此,與根據(jù)本發(fā)明的第十三實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置13不同,根據(jù)本發(fā)明的第十六實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置16不包括第三柵電極410和第六柵電極460。
[0373]現(xiàn)在將參照?qǐng)D26來描述本發(fā)明的第十七實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置。為了簡(jiǎn)明起見,下面將主要側(cè)重于與圖22的實(shí)施例的不同來描述第十七實(shí)施例。
[0374]圖26是根據(jù)本發(fā)明的第十七實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置17的布局視圖。
[0375]參照?qǐng)D26,根據(jù)本發(fā)明的第十七實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置17還包括第三翅片式有源圖案130。
[0376]通過場(chǎng)絕緣層105 (見圖4)限定的第三翅片式有源圖案130可以沿第一方向X延伸。另外,第一翅片式有源圖案110至第三翅片式有源圖案130可沿第二方向Y布置。
[0377]第三翅片式有源圖案130可包括沿第一方向X延伸的長(zhǎng)側(cè)和沿第二方向Y延伸的短側(cè)。因此,第三翅片式有源圖案130可以包括在第一方向X上彼此分離的兩個(gè)端部。
[0378]第一接觸件510形成在第三翅片式有源圖案130上并電連接到第一翅片式有源圖案110至第三翅片式有源圖案130。
[0379]第一柵電極210和第四柵電極260中的每個(gè)與第三翅片式有源圖案130交叉。另夕卜,第一柵電極210和第四柵電極260中的每個(gè)形成在第三翅片式有源圖案130上。
[0380]第二柵電極310和第五柵電極360不與第三翅片式有源圖案130交叉。第二柵電極310和第五柵電極360中的每個(gè)未形成在第三翅片式有源圖案130上。
[0381]在根據(jù)本發(fā)明的第十七實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置17中,第三翅片式有源圖案130的端部中的一個(gè)端部從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。此外,第三翅片式有源圖案130的端部中的另一端部從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0382]在圖26中,第一翅片式有源圖案110設(shè)置在第二翅片式有源圖案120與第三翅片式有源圖案130之間。然而,本發(fā)明不限于此。
[0383]現(xiàn)在將參照?qǐng)D27至圖29來描述根據(jù)本發(fā)明的第十八實(shí)施例至第二十實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置。為了簡(jiǎn)明起見,下面將主要側(cè)重于與圖26的實(shí)施例的不同來描述第十八實(shí)施例至第二十實(shí)施例。
[0384]圖27是根據(jù)本發(fā)明的第十八實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置18的布局視圖。圖28是根據(jù)本發(fā)明的第十九實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置19的布局視圖。圖29是根據(jù)本發(fā)明的第二十實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置20的布局視圖。
[0385]參照?qǐng)D27,在根據(jù)本發(fā)明的第十八實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置18中,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的一個(gè)端部沒有從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0386]此外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的另一端部沒有從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0387]例如,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的一個(gè)端部位于第一柵電極210下面并與第一柵電極210疊置。
[0388]另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的另一端部位于第四柵電極260下面并與第四柵電極260疊置。
[0389]參照?qǐng)D28,在根據(jù)本發(fā)明的第十九實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置19中,第一翅片式有源圖案I1的端部中的一個(gè)端部沒有從第二柵電極310的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0390]另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部沒有從第五柵電極360的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0391]例如,第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部位于第二柵電極310下面并且與第二柵電極310疊置。另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部位于第五柵電極360下面并與第五柵電極360疊置。
[0392]因此,與根據(jù)本發(fā)明的第十七實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置17不同,根據(jù)本發(fā)明的第十九實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置19不包括第三柵電極410和第六柵電極460。
[0393]參照?qǐng)D29,在根據(jù)本發(fā)明的第二十實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置20中,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的一個(gè)端部沒有從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0394]另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的另一端部沒有從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0395]第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部沒有從第二柵電極310的側(cè)表面沿第一方向X突出。另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部沒有從第五柵電極360的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0396]現(xiàn)在將參照?qǐng)D30描述根據(jù)本發(fā)明的第二十一實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置。為簡(jiǎn)明起見,下面將主要側(cè)重于與圖26的實(shí)施例的不同來描述第二^^一實(shí)施例。
[0397]圖30是根據(jù)本發(fā)明的第二十一實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置21的布局視圖。
[0398]參照?qǐng)D30,在根據(jù)本發(fā)明的第二十一實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置21中,第二柵電極310和第五柵電極360中的每個(gè)與第三翅片式有源圖案130交叉。也就是說,第二柵電極310和第五柵電極360中的每個(gè)形成在第三翅片式有源圖案130上。
[0399]第三柵電極410和第六柵電極460中的每個(gè)與第三翅片式有源圖案130交叉。第三柵電極410和第六柵電極460中的每個(gè)形成在第三翅片式有源圖案130上。
[0400]在根據(jù)本發(fā)明的第二十一實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置21中,第三柵電極410可以覆蓋第三翅片式有源圖案130的端部中的一個(gè)端部。另外,第六柵電極460可以覆蓋第三翅片式有源圖案130的端部中的另一端部。
[0401]現(xiàn)在將參照?qǐng)D31至圖33來描述根據(jù)本發(fā)明的第二十二實(shí)施例至第二十四實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置。為簡(jiǎn)明起見,下面將主要側(cè)重于與圖30的不同來描述第二十二實(shí)施例至第二十四實(shí)施例。
[0402]圖31是根據(jù)本發(fā)明的第二十二實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置22的布局視圖。圖32是根據(jù)本發(fā)明的第二十三實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置23的布局視圖。圖33是根據(jù)本發(fā)明的第二十四實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置24的布局視圖。
[0403]參照?qǐng)D31,在根據(jù)本發(fā)明的第二十二實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置22中,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部沒有從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0404]另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部沒有從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0405]參照?qǐng)D32,在根據(jù)本發(fā)明的第二十三實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置23中,第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的一個(gè)端部沒有從第二柵電極310的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0406]另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的另一端部沒有從第五柵電極360的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0407]參照?qǐng)D33,在根據(jù)本發(fā)明的第二十四實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置24中,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部沒有從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部沒有從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0408]第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的一個(gè)端部沒有從第二柵電極310的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0409]另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部和第三翅片式有源圖案130的端部中的另一端部沒有從第五柵電極360的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0410]現(xiàn)在將參照?qǐng)D34來描述根據(jù)本發(fā)明的第二十五實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置。為簡(jiǎn)明起見,下面將主要側(cè)重于與圖22的實(shí)施例的不同來描述第二十五實(shí)施例。
[0411]圖34是根據(jù)本發(fā)明的第二十五實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置25的布局視圖。
[0412]參照?qǐng)D34,在根據(jù)本發(fā)明的第二十五實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置25中,第二柵電極310與第一翅片式有源圖案110交叉,但不與第二翅片式有源圖案120交叉。
[0413]第二柵電極310形成在第一翅片式有源圖案110上,但未形成在第二翅片式有源圖案120上。
[0414]另一方面,第五柵電極360與第二翅片式有源圖案120交叉,但不與第一翅片式有源圖案110交叉。
[0415]第五柵電極360形成在第二翅片式有源圖案120上,但未形成在第一翅片式有源圖案HO上。
[0416]第三柵電極410與第一翅片式有源圖案110交叉,但不與第二翅片式有源圖案120交叉。第三柵電極410形成在第一翅片式有源圖案110上,但未形成在第二翅片式有源圖案120上。
[0417]第六柵電極460與第二翅片式有源圖案120交叉,但不與第一翅片式有源圖案110交叉。第六柵電極460形成在第二翅片式有源圖案120上,但未形成在第一翅片式有源圖案110上。
[0418]如圖34中所示,未形成電連接到位于第一柵電極210和第二柵電極310之間的第一翅片式有源圖案110的接觸件。位于第一柵電極210和第二柵電極310之間的第一翅片式有源圖案110未電連接到諸如字線(WL)或位線(BL)的布線、提供電信號(hào)的布線等。
[0419]這樣,未形成電連接到位于第四柵電極260和第五柵電極360之間的第二翅片式有源圖案120的接觸件。位于第四柵電極260和第五柵電極360之間的第二翅片式有源圖案120未電連接到諸如字線(WL)或位線(BL)的布線、提供電信號(hào)的布線等。
[0420]在根據(jù)本發(fā)明的第二十五實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置25中,第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部可被第三柵電極410覆蓋。然而,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部可以從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0421]另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部可被第六柵電極460覆蓋。然而,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部從第一柵電極210的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0422]現(xiàn)在將參照?qǐng)D35至圖37來描述根據(jù)本發(fā)明的第二十六實(shí)施例至第二十八實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置。為簡(jiǎn)明起見,下面將主要側(cè)重于與圖34的實(shí)施例的不同來描述第二十六實(shí)施例至第二十八實(shí)施例。
[0423]圖35是根據(jù)本發(fā)明的第二十六實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置26的布局視圖。圖36是根據(jù)本發(fā)明的第二十七實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置27的布局視圖。圖37是根據(jù)本發(fā)明的第二十八實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置28的布局視圖。
[0424]參照?qǐng)D35,在根據(jù)本發(fā)明的第二十六實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置26中,第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部被第三柵電極410覆蓋,但第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部沒有從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0425]另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部被第六柵電極460覆蓋,但第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部沒有從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0426]參照?qǐng)D36,在根據(jù)本發(fā)明的第二十七實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置27中,第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部沒有從第二柵電極310的側(cè)表面沿第一方向X突出,但第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0427]第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部沒有從第五柵電極360的側(cè)表面在第一方向X上突出,但是第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0428]因此,與根據(jù)本發(fā)明的第二十五實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置25不同,根據(jù)本發(fā)明的第二十七實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置27不包括第三柵電極410和第六柵電極460。
[0429]參照?qǐng)D37,在根據(jù)本發(fā)明的第二十八實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置28中,第一翅片式有源圖案110的端部中的一個(gè)端部沒有從第二柵電極310的側(cè)表面沿第一方向X突出。另外,第一翅片式有源圖案110的端部中的另一端部沒有從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0430]第二翅片式有源圖案120的端部中的一個(gè)端部沒有從第五柵電極360的側(cè)表面在第一方向X上突出。另外,第二翅片式有源圖案120的端部中的另一端部沒有從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。
[0431]現(xiàn)在將參照?qǐng)D38來描述根據(jù)本發(fā)明的第二十九實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置。為簡(jiǎn)明起見,下面將主要側(cè)重于與圖34的實(shí)施例的不同來描述第二十九實(shí)施例。
[0432]圖38是根據(jù)本發(fā)明的第二十九實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置29的布局視圖。
[0433]參照?qǐng)D38,根據(jù)本發(fā)明的第二十九實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置29還包括第三翅片式有源圖案130。
[0434]通過場(chǎng)絕緣層105 (見圖4)所限定的第三翅片式有源圖案130可以沿第一方向X延伸。另外,第一翅片式有源圖案110至第三翅片式有源圖案130沿第二方向Y布置。
[0435]第三翅片式有源圖案130可以包括沿第一方向X延伸的長(zhǎng)側(cè)和沿第二方向Y延伸的短側(cè)。因此,第三翅片式有源圖案130可以包括在第一方向X上彼此分離的兩個(gè)端部。
[0436]第一接觸件510形成在第三翅片式有源圖案130上并電連接到第一翅片式有源圖案110至第三翅片式有源圖案130。
[0437]第一柵電極210和第四柵電極260中的每個(gè)與第三翅片式有源圖案130交叉。另夕卜,第一柵電極210和第四柵電極260中的每個(gè)形成在第三翅片式有源圖案130上。
[0438]第二柵電極310和第五柵電極360不與第三翅片式有源圖案130交叉。第二柵電極310和第五柵電極360中的每個(gè)未形成在第三翅片式有源圖案130上。
[0439]在根據(jù)本發(fā)明的第二十九實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置29中,第三翅片式有源圖案130的端部中的一個(gè)端部從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出。此外,第三翅片式有源圖案130的端部中的另一端部從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0440]在圖38中,第三翅片式有源圖案130設(shè)置在第一翅片式有源圖案110和第二翅片式有源圖案120之間。然而,本發(fā)明不限于此。
[0441]現(xiàn)在將參照?qǐng)D39至圖41來描述根據(jù)本發(fā)明的第三十實(shí)施例至第三十二實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置。為簡(jiǎn)明起見,下面將主要側(cè)重于與圖26的實(shí)施例的不同來描述第三十實(shí)施例至第三十二實(shí)施例。
[0442]圖39是根據(jù)本發(fā)明的第三十實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置30的布局視圖。圖40是根據(jù)本發(fā)明的第三十一實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置31的布局視圖。圖41是根據(jù)本發(fā)明的第三十二實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置32的布局視圖。
[0443]參照?qǐng)D39,在根據(jù)本發(fā)明的第三十實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置30中,第三翅片式有源圖案130的端部中的一個(gè)端部沒有從第一柵電極210的側(cè)表面沿第一方向X突出,第三翅片式有源圖案130的端部中的另一端部沒有從第四柵電極260的側(cè)表面在第一方向X上突出。
[0444]第一翅片式有源圖案110和第二翅片式有源圖案120與上面參照?qǐng)D3
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