5)發(fā)揮功能。然后，控制部42將與推定出的轉(zhuǎn)速Re —致的旋轉(zhuǎn)指令發(fā)送給驅(qū)動部18，并控制成使送風(fēng)機(jī)16以該轉(zhuǎn)速Re進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0063]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，可以根據(jù)壓力計(jì)24測量出的激光介質(zhì)的壓力來判別激光振蕩器40的運(yùn)轉(zhuǎn)模式，并根據(jù)與該運(yùn)轉(zhuǎn)模式對應(yīng)的轉(zhuǎn)速R與壓力P之間的關(guān)系來推定送風(fēng)機(jī)16的轉(zhuǎn)速。由此，能夠更高精度地推定送風(fēng)機(jī)16的轉(zhuǎn)速。其結(jié)果，能夠更安全且更迅速地重新開始空轉(zhuǎn)狀態(tài)的送風(fēng)機(jī)16的運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0064]接著，參照圖7對本發(fā)明的又一其他實(shí)施方式的激光振蕩器60進(jìn)行說明。另外，對與上述的實(shí)施方式同樣的要素賦予相同的符號，并省略詳細(xì)的說明。激光振蕩器60具備:諧振器部12、激光介質(zhì)流路14、送風(fēng)機(jī)16、驅(qū)動部18、存儲部22、壓力計(jì)24、控制部62、停電檢測部64以及不間斷電源66。
[0065]停電檢測部64檢測向激光振蕩器60整體供給的主電力的停電以及復(fù)電。另外，停電檢測部64也可以檢測在激光振蕩器60的一部分(例如，包括驅(qū)動部18和/或送風(fēng)機(jī)16的部分)發(fā)生的停電/復(fù)電。不間斷電源66是在發(fā)生了停電時(shí)，可以至少對控制部62供給電力的應(yīng)急用電源。
[0066]發(fā)生停電時(shí)，停止向送風(fēng)機(jī)16的電力供給，其結(jié)果，送風(fēng)機(jī)16成為空轉(zhuǎn)。之后，當(dāng)激光振蕩器60的電力復(fù)電時(shí)，為了安全且迅速地控制正在空轉(zhuǎn)的送風(fēng)機(jī)16，需要以復(fù)電時(shí)的送風(fēng)機(jī)16的轉(zhuǎn)速重新開始送風(fēng)機(jī)16的運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0067]接著，對本實(shí)施方式的激光振蕩器60功能進(jìn)行說明。當(dāng)通過停電檢測部64檢測出停電時(shí)，控制部62取得最近(例如，剛停電前或剛停電后)通過壓力計(jì)24測量出的激光介質(zhì)的壓力。然后，控制部62作為上述的運(yùn)轉(zhuǎn)模式判別部48來發(fā)揮功能，根據(jù)取得的壓力來判別激光振蕩器60的運(yùn)轉(zhuǎn)模式。接著，控制部62作為上述的關(guān)系選擇部50來發(fā)揮功能，選擇與判別出的運(yùn)轉(zhuǎn)模式對應(yīng)的、轉(zhuǎn)速R與壓力P之間的關(guān)系。
[0068]停電后，當(dāng)通過停電檢測部64檢測出復(fù)電時(shí)，控制部62取得最近通過壓力計(jì)24測量出的激光介質(zhì)的壓力。然后，控制部62作為上述的轉(zhuǎn)速推定部46來發(fā)揮功能，根據(jù)選擇的關(guān)系來推定復(fù)電時(shí)的送風(fēng)機(jī)16轉(zhuǎn)速Re。
[0069]然后，控制部62將與推定出的轉(zhuǎn)速Re —致的旋轉(zhuǎn)指令發(fā)送給驅(qū)動部18，并控制成以該轉(zhuǎn)速Re重新開始送風(fēng)機(jī)16的運(yùn)轉(zhuǎn)。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，當(dāng)在激光振蕩器60的運(yùn)轉(zhuǎn)中意外發(fā)生停電，之后復(fù)電時(shí)，可以安全且迅速地控制在復(fù)電時(shí)空轉(zhuǎn)的送風(fēng)機(jī)16。此夕卜，根據(jù)本實(shí)施方式，設(shè)有不間斷電源66，因此無需等待復(fù)電后的控制部62的啟動時(shí)間，能夠迅速地重新啟動激光振蕩器60。
[0070]另外，敘述了在上述的激光振蕩器40以及60中作為運(yùn)轉(zhuǎn)模式，具有通常模式、高輸出模式以及待機(jī)模式這3個運(yùn)轉(zhuǎn)模式的情況。然而，除了這3個運(yùn)轉(zhuǎn)模式外，還可以存在多個運(yùn)轉(zhuǎn)模式。
[0071]例如，作為其他運(yùn)轉(zhuǎn)模式，可以設(shè)定相當(dāng)于從待機(jī)模式向通常模式(或從通常模式向待機(jī)模式)轉(zhuǎn)移期間的狀態(tài)、以及從通常模式向高輸出模式(或從高輸出模式向通常模式)轉(zhuǎn)移期間的狀態(tài)的轉(zhuǎn)移模式。
[0072]當(dāng)激光振蕩器40、60處于這樣的轉(zhuǎn)移模式時(shí)，激光介質(zhì)的壓力P與送風(fēng)機(jī)16的轉(zhuǎn)速R之間的關(guān)系同圖6所示的3個關(guān)系不同。因此，為了從激光介質(zhì)的壓力P高精度地推定送風(fēng)機(jī)16的轉(zhuǎn)速R，需要預(yù)先將對應(yīng)于轉(zhuǎn)移模式的壓力P與轉(zhuǎn)速R之間的關(guān)系存儲在存儲部22中。
[0073]作為一具體例，作為待機(jī)模式與通常模式之間的轉(zhuǎn)移模式，設(shè)定第I轉(zhuǎn)移模式和第2轉(zhuǎn)移模式。例如，第I轉(zhuǎn)移模式是激光介質(zhì)的狀態(tài)接近待機(jī)模式的轉(zhuǎn)移模式，第2轉(zhuǎn)移模式是激光介質(zhì)的狀態(tài)比第I轉(zhuǎn)移模式接近通常模式的轉(zhuǎn)移模式。此時(shí)，分別將與第I轉(zhuǎn)移模式以及第2轉(zhuǎn)移模式對應(yīng)的壓力P與轉(zhuǎn)速R之間的關(guān)系存儲在存儲部22中。
[0074]與第I轉(zhuǎn)移模式對應(yīng)的壓力P與轉(zhuǎn)速R之間的關(guān)系位于圖6的實(shí)線52與點(diǎn)劃線56之間的區(qū)域，并且能夠成為更靠近點(diǎn)劃線56的曲線圖。此外，與第2轉(zhuǎn)移模式對應(yīng)的壓力P與轉(zhuǎn)速R之間的關(guān)系位于圖6的實(shí)線52與點(diǎn)劃線56之間的區(qū)域，并且能夠成為比第I轉(zhuǎn)移模式的曲線圖更靠近實(shí)線52的曲線圖。
[0075]同樣地，作為通常模式與高輸出模式之間的轉(zhuǎn)移模式，設(shè)定第3轉(zhuǎn)移模式以及第4轉(zhuǎn)移模式。例如，第3轉(zhuǎn)移模式是激光介質(zhì)的狀態(tài)靠近通常模式的轉(zhuǎn)移模式，第4轉(zhuǎn)移模式是激光介質(zhì)的狀態(tài)比第3轉(zhuǎn)移模式靠近高輸出模式的轉(zhuǎn)移模式。此時(shí)，分別將與第3轉(zhuǎn)移模式以及第4轉(zhuǎn)移模式對應(yīng)的壓力P與轉(zhuǎn)速R之間的關(guān)系存儲在存儲部22中。
[0076]與第3轉(zhuǎn)移模式對應(yīng)的壓力P與轉(zhuǎn)速R之間的關(guān)系位于圖6的實(shí)線52與雙點(diǎn)劃線54之間的區(qū)域，并且能夠成為更靠近實(shí)線52的曲線圖。此外，與第4轉(zhuǎn)移模式對應(yīng)的壓力P與轉(zhuǎn)速R之間的關(guān)系位于圖6的實(shí)線52與雙點(diǎn)劃線54之間的區(qū)域，并且能夠成為比第3轉(zhuǎn)移模式的曲線圖靠近雙點(diǎn)劃線54的曲線圖。
[0077]以下，對在激光振蕩器60中設(shè)定了第I?第4轉(zhuǎn)移模式時(shí)的動作進(jìn)行說明。當(dāng)通過停電檢測部64檢測出停電時(shí)，控制部62取得最近通過壓力計(jì)24測量出的激光介質(zhì)的壓力。接著，控制部62作為運(yùn)轉(zhuǎn)模式判別部48來發(fā)揮功能，對照所取得的壓力值與停電時(shí)設(shè)定的壓力控制目標(biāo)值。
[0078]在此，在轉(zhuǎn)移模式時(shí)發(fā)生了停電時(shí)，停電時(shí)設(shè)定的壓力控制目標(biāo)值是運(yùn)轉(zhuǎn)模式的轉(zhuǎn)移目標(biāo)的壓力控制目標(biāo)值。具體而言，若從通常模式向高輸出模式轉(zhuǎn)移時(shí)發(fā)生了停電，則設(shè)定高輸出模式的壓力控制目標(biāo)值(第2目標(biāo)值β)。同樣地，若從通常模式向待機(jī)模式轉(zhuǎn)移時(shí)發(fā)生了停電，則設(shè)定待機(jī)模式的壓力控制目標(biāo)值(第3目標(biāo)值γ)。
[0079]若從通常模式向高輸出模式轉(zhuǎn)移時(shí)發(fā)生了停電，則控制部62對照所取得的壓力值與第2目標(biāo)值B。此時(shí)，所取得的壓力值未成為第2目標(biāo)值B(或B的±10%)，因此控制部62可以判定運(yùn)轉(zhuǎn)模式是通常模式與高輸出模式之間的轉(zhuǎn)移模式。
[0080]接著，控制部62計(jì)算所取得的壓力值與第2目標(biāo)值B的差δρ。然后，控制部62根據(jù)該差S Ρ來判別是第3轉(zhuǎn)移模式還是第4轉(zhuǎn)移模式。
[0081]例如，當(dāng)該差δ卩在預(yù)先決定的第I范圍(xl ( δ χ2)內(nèi)時(shí)，控制部62判別成第3轉(zhuǎn)移模式，另一方面，當(dāng)該差δ ρ在第2范圍(χ3彡δ P彡x4、且x4<xl)內(nèi)時(shí)，控制部62判別成第4轉(zhuǎn)移模式。
[0082]接著，控制部62作為關(guān)系選擇部50來發(fā)揮功能，選擇與判別出的運(yùn)轉(zhuǎn)模式對應(yīng)的關(guān)系。例如，控制部62當(dāng)判別為第3轉(zhuǎn)移模式時(shí)，從預(yù)先存儲在存儲部22中的多個關(guān)系中選擇與第3轉(zhuǎn)移模式對應(yīng)的關(guān)系，并從存儲部22讀出其數(shù)據(jù)。
[0083]然后，當(dāng)通過停電檢測部64檢測出復(fù)電時(shí)，控制部62取得最近通過壓力計(jì)24測量出的激光介質(zhì)的壓力，作為轉(zhuǎn)速推定部46發(fā)揮功能，根據(jù)與第3轉(zhuǎn)移模式對應(yīng)的關(guān)系來推定復(fù)電時(shí)的送風(fēng)機(jī)16的轉(zhuǎn)速Re。
[0084]如上所述，通過除了通常模式、高輸出模式以及待機(jī)模式外，還設(shè)定多個轉(zhuǎn)移模式，假定即使激光振蕩器40、60的轉(zhuǎn)移模式時(shí)發(fā)生了停電等，也能夠在復(fù)電時(shí)安全且迅速地重新開始送風(fēng)機(jī)16的運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0085]接著，參照圖8，對本發(fā)明的又一其他實(shí)施方式的激光振蕩器70進(jìn)行說明。另外，對與上述的實(shí)施方式同樣的要素賦予相同的符號，并省略詳細(xì)的說明。激光振蕩器70具備:諧振器部12、激光介質(zhì)流路14、送風(fēng)機(jī)16、驅(qū)動部18、存儲部22、壓力計(jì)24、溫度計(jì)72以及控制部74。
[0086]將溫度計(jì)72設(shè)置在激光介質(zhì)流路14內(nèi)的預(yù)先決定的位置76，測量激光介質(zhì)流路14內(nèi)的激光介質(zhì)的溫度，將與溫度相關(guān)的數(shù)據(jù)發(fā)送給控制部74?？刂撇?4將接收到的與溫度相關(guān)的數(shù)據(jù)存儲在存儲部22中。控制部74具有與上述的實(shí)施方式同樣的轉(zhuǎn)速推定部36的功能，對驅(qū)動部18進(jìn)行控制。
[0087]在本實(shí)施方式中，設(shè)有與激光介質(zhì)流路14連通的激光介質(zhì)供給用流路80以及激光介質(zhì)排出用流路82。激光介質(zhì)供給用流路80與設(shè)置在激光振蕩器70的外部的激光介質(zhì)供給源連接，經(jīng)由該激光介質(zhì)供給用流路80將激光介質(zhì)從激光介質(zhì)供給源供給到激光介質(zhì)流路14。此外，激光介質(zhì)流路14內(nèi)的激光介質(zhì)經(jīng)由激光介質(zhì)排出用流路82向激光介質(zhì)流路14的外部排出。
[0088]激光振蕩器70還具備用于將激光介質(zhì)流路14相對于外部密閉的密閉機(jī)構(gòu)84。在本實(shí)施方式中，密閉機(jī)構(gòu)84是閥機(jī)構(gòu)，具有:可開閉激光介質(zhì)供給用流路80的閥86、可開閉激光介質(zhì)排出用流路82的閥88以及驅(qū)動閥86和88的閥開閉器90。閥開閉器90根據(jù)來自控制部74的指令使閥86以及88開閉。
[0089]激光振蕩器70還具備分別測量激光介質(zhì)供給用流路80以及激光介質(zhì)排出用流路82中的激光介質(zhì)的流量的流量計(jì)92。流量計(jì)92將測量出的與流量相關(guān)的數(shù)據(jù)發(fā)送給控制部74。控制部74將接收到的與流量相關(guān)的數(shù)據(jù)存儲在存儲部22中。
[0090]接著，對本實(shí)施方式的激光振蕩器70的功能進(jìn)行說明。與上述的實(shí)施方式同樣地，從降低激光振蕩器70的消耗電力的觀點(diǎn)出發(fā)，控制部74根據(jù)激光振蕩器70的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，停止向送風(fēng)機(jī)16的電力供給，停止送風(fēng)機(jī)16的運(yùn)轉(zhuǎn)。此時(shí)，控制部74向閥開閉器90發(fā)送指令，閉鎖閥86以及88，密閉激光介質(zhì)流路