14。
[0091]接著，當(dāng)重新開始送風(fēng)機16的運轉(zhuǎn)時，控制部74取得最近通過壓力計24測量出的壓力，從存儲部22讀出圖4所示的轉(zhuǎn)速R與壓力P的關(guān)系。然后，控制部74作為轉(zhuǎn)速推定部36來發(fā)揮功能，根據(jù)壓力和關(guān)系來推定送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速。
[0092]在此，在本實施方式中，為了更高精度地推定送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速，控制部74根據(jù)溫度計72測量出的激光介質(zhì)的溫度和流量計92測量出的激光介質(zhì)的流量，來修正壓力計24測量出的壓力值。以下，對該功能進行說明。
[0093]圖4所示的轉(zhuǎn)速R與壓力P的關(guān)系根據(jù)激光介質(zhì)流路14內(nèi)的激光介質(zhì)的溫度而發(fā)生變化。因此，為了更高精度地推定送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速，需要根據(jù)激光介質(zhì)流路14內(nèi)的激光介質(zhì)的溫度來修正壓力計24測量出的壓力值，并根據(jù)修正后的壓力值推定送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速。例如，存儲部22預(yù)先存儲表示激光介質(zhì)的溫度與該溫度的壓力修正值的對應(yīng)關(guān)系的數(shù)據(jù)表。
[0094]控制部74使用該數(shù)據(jù)表和溫度計72測量出的激光介質(zhì)的溫度，來修正壓力計24測量出的壓力值。然后，控制部74將修正后的壓力值應(yīng)用到上述關(guān)系中，來推定送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速。如上所述，在本實施方式中，控制部74作為根據(jù)激光介質(zhì)的溫度修正測量出的激光介質(zhì)的壓力的第I修正部94發(fā)揮功能。
[0095]此外，圖4所示的轉(zhuǎn)速R與壓力P的關(guān)系根據(jù)向激光介質(zhì)流路14內(nèi)供給/排出的激光介質(zhì)的流量而發(fā)生變化。因此，為了更高精度地推定送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速，需要根據(jù)向激光介質(zhì)流路14供給/排出的激光介質(zhì)的流量來修正壓力計24測量出的壓力值，并根據(jù)修正后的壓力值推定送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速。
[0096]例如，存儲部22預(yù)先存儲表示向激光介質(zhì)流路14供給/排出的激光介質(zhì)的流量與該流量的壓力修正值的對應(yīng)關(guān)系的數(shù)據(jù)表?？刂撇?4使用該數(shù)據(jù)表和流量計92測量出的流量，來修正壓力計24測量出的壓力值。然后，控制部74將修正后的壓力值應(yīng)用到上述關(guān)系中，來推定送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速。如上所述，在本實施方式中，控制部74作為根據(jù)激光介質(zhì)的流量修正測量出的激光介質(zhì)的壓力的第2修正部96發(fā)揮功能。
[0097]如上所述，在本實施方式中，根據(jù)激光介質(zhì)的溫度以及流量來修正推定出的送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速，由此能夠更高精度地推定空轉(zhuǎn)時的送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速。
[0098]此外，根據(jù)本實施方式，當(dāng)使送風(fēng)機16的運轉(zhuǎn)停止時，控制部74通過密閉機構(gòu)84來密閉激光介質(zhì)流路14。由此，能夠降低激光介質(zhì)流路14內(nèi)的激光介質(zhì)的壓力的變動。其結(jié)果，壓力計24能夠準(zhǔn)確地測量激光介質(zhì)的壓力，從而能夠更高精度地推定空轉(zhuǎn)的送風(fēng)機的轉(zhuǎn)速。
[0099]另外，在上述的實施方式中敘述了在位置26( S卩，相當(dāng)于位置A)設(shè)置壓力計24，并根據(jù)該位置26的轉(zhuǎn)速R與壓力P的關(guān)系(圖4的關(guān)系)來推定送風(fēng)機16的轉(zhuǎn)速的情況。然而，并不局限于此，也可以將壓力計24設(shè)置在例如包括圖2所示的位置B、C以及D的激光介質(zhì)流路14的任何位置。此時，將設(shè)有壓力計24的位置的轉(zhuǎn)速R與壓力P的關(guān)系存儲在存儲部22中。
[0100]此外，在上述的實施方式中敘述了將流量計92設(shè)置在激光介質(zhì)供給用流路80以及激光介質(zhì)排出用流路82上的情況。然而，并不局限于此，也可以將流量計92設(shè)置在激光介質(zhì)流路內(nèi)的任何位置上。
[0101]此外，也可以將圖7所示的停電檢測部64組合到圖5所示的激光振蕩器40中。此時，空轉(zhuǎn)檢測部44例如監(jiān)視送風(fēng)機16的電壓，停電檢測部64監(jiān)視激光振蕩器60的主電力。并且，控制部42根據(jù)從空轉(zhuǎn)檢測部44以及停電檢測部64發(fā)送的信號來判斷送風(fēng)機16的空轉(zhuǎn)，接著，重新開始空轉(zhuǎn)狀態(tài)的送風(fēng)機16的運轉(zhuǎn)。
[0102]此外，為了便于說明，將激光振蕩器10、40、60以及70作為分別具備相互不同的構(gòu)成要素(空轉(zhuǎn)檢測部44、運轉(zhuǎn)模式判別部48、關(guān)系選擇部50、停電檢測部64、溫度計72、密閉機構(gòu)84、流量計92、第I修正部94、第2修正部96)的部件進行了說明。然而，激光振蕩器可以具備所有這些構(gòu)成要素，或者，也可以具備這些構(gòu)成要素的任何組合。
[0103]以上，通過發(fā)明的實施方式對本發(fā)明進行了說明，但上述的實施方式并不對請求專利保護的范圍的發(fā)明進行限定。此外，也可以將在本發(fā)明的實施方式中說明的特征的組合形式包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。然而，并不一定所有的這些特征的組合都是發(fā)明的解決手段所必須的。并且，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白也可以對上述的實施方式增加各種變更或改良。
[0104]此外，應(yīng)當(dāng)注意在權(quán)利要求書、說明書以及附圖中所示的裝置、系統(tǒng)、程序以及方法中的動作、順序、步驟、工序以及階段等的各處理的執(zhí)行順序，只要沒有特別明示“之前”、“在先”等，或者不是在后面的處理中使用前面的處理的輸出，則可以通過任意的順序來實現(xiàn)。關(guān)于權(quán)利要求書、說明書以及附圖中的動作過程，即使為了便于說明而使用“首先”、“接著”等進行說明，也并不表示必須以該順序?qū)嵤?br>【主權(quán)項】
1.一種激光振蕩器，其特征在于，具備: 諧振器部，其生成激光； 激光介質(zhì)流路，其向所述諧振器部導(dǎo)入激光介質(zhì)，并且從該諧振器部排出該激光介質(zhì)； 送風(fēng)機，其使所述激光介質(zhì)在所述激光介質(zhì)流路中流動； 驅(qū)動部，其驅(qū)動所述送風(fēng)機； 控制部，其控制所述驅(qū)動部； 壓力計，其測量所述激光介質(zhì)流路的預(yù)先決定的位置的所述激光介質(zhì)的壓力；以及轉(zhuǎn)速推定部，其根據(jù)所述預(yù)先決定的位置的所述激光介質(zhì)的壓力與所述送風(fēng)機的轉(zhuǎn)速之間的預(yù)先決定的關(guān)系、所述壓力計測量出的所述激光介質(zhì)的壓力，來推定所述送風(fēng)機的轉(zhuǎn)速， 當(dāng)停止向所述送風(fēng)機的電力供給，所述送風(fēng)機進行空轉(zhuǎn)時，所述控制部對所述驅(qū)動部進行控制，以便以所述轉(zhuǎn)速推定部推定出的所述轉(zhuǎn)速重新開始所述送風(fēng)機的運轉(zhuǎn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩器，其特征在于， 還具備能夠在停電時向所述控制部供給電力的不間斷電源。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光振蕩器，其特征在于， 還具備存儲所述預(yù)先決定的關(guān)系的存儲部。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的激光振蕩器，其特征在于， 所述預(yù)先決定的關(guān)系包括分別與所述激光振蕩器的多個運轉(zhuǎn)模式對應(yīng)的多個關(guān)系， 所述激光振蕩器還具備: 運轉(zhuǎn)模式判別部，其對照停止向所述送風(fēng)機的電力供給時所述壓力計測量出的所述激光介質(zhì)的壓力與停止向所述送風(fēng)機的電力供給時的所述激光介質(zhì)的壓力控制目標(biāo)值，來判別所述運轉(zhuǎn)模式；以及 關(guān)系選擇部，其從所述多個關(guān)系中選擇出與所述運轉(zhuǎn)模式判別部判別出的所述運轉(zhuǎn)模式對應(yīng)的所述關(guān)系， 所述轉(zhuǎn)速推定部根據(jù)所述關(guān)系選擇部選擇出的所述關(guān)系來推定所述送風(fēng)機的轉(zhuǎn)速。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項所述的激光振蕩器，其特征在于， 還具備檢測所述送風(fēng)機是否正在進行空轉(zhuǎn)的空轉(zhuǎn)檢測部， 當(dāng)通過所述空轉(zhuǎn)檢測部檢測出所述送風(fēng)機的空轉(zhuǎn)結(jié)束時，所述控制部對所述驅(qū)動部進行控制，以所述轉(zhuǎn)速推定部推定出的所述轉(zhuǎn)速重新開始所述送風(fēng)機的運轉(zhuǎn)。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項所述的激光振蕩器，其特征在于， 還具備檢測停電以及復(fù)電的停電檢測部， 當(dāng)通過所述停電檢測部檢測出復(fù)電時，所述控制部對所述驅(qū)動部進行控制，以所述轉(zhuǎn)速推定部推定出的所述轉(zhuǎn)速重新開始所述送風(fēng)機的運轉(zhuǎn)。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項所述的激光振蕩器，其特征在于， 還具備:密閉所述激光介質(zhì)流路的密閉機構(gòu)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光振蕩器，其特征在于， 所述密閉機構(gòu)具有能夠開閉地閉鎖與所述激光介質(zhì)流路連通的其他流路的閥機構(gòu)， 在停止向所述送風(fēng)機的電力供給的期間，所述控制部閉鎖所述閥機構(gòu)。9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任一項所述的激光振蕩器，其特征在于，還具備: 溫度計，其測量所述激光介質(zhì)的溫度；以及 第I修正部，其根據(jù)所述溫度計測量出的所述激光介質(zhì)的溫度來修正所述壓力計測量出的所述激光介質(zhì)的壓力， 所述轉(zhuǎn)速推定部根據(jù)所述第I修正部修正后的所述壓力來推定所述送風(fēng)機的轉(zhuǎn)速。10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項所述的激光振蕩器，其特征在于，還具備: 流量計，其測量所述激光介質(zhì)的流量；以及 第2修正部，其根據(jù)所述流量計測量出的所述激光介質(zhì)的流量，來修正所述壓力計測量出的所述激光介質(zhì)的壓力， 所述轉(zhuǎn)速推定部根據(jù)所述第2修正部修正后的所述壓力來推定所述送風(fēng)機的轉(zhuǎn)速。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種具備送風(fēng)機的激光振蕩器。提供一種可更廉價且更高精度地推定出空轉(zhuǎn)狀態(tài)的送風(fēng)機的轉(zhuǎn)速的激光振蕩器。激光振蕩器具備：諧振器部、激光介質(zhì)流路、送風(fēng)機、驅(qū)動部、控制部、用于測量激光介質(zhì)流路的預(yù)先決定的位置的激光介質(zhì)的壓力的壓力計、根據(jù)壓力計測量出的激光介質(zhì)的壓力、位置的激光介質(zhì)的壓力與送風(fēng)機的轉(zhuǎn)速的預(yù)先決定的關(guān)系來推定送風(fēng)機的轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)速推定部。當(dāng)向送風(fēng)機的電力供給停止而送風(fēng)機進行空轉(zhuǎn)時，控制部對驅(qū)動部進行控制，以便以轉(zhuǎn)速推定部推定出的轉(zhuǎn)速重新開始送風(fēng)機的運轉(zhuǎn)。
【IPC分類】H01S3/02
【公開號】CN105098568
【申請?zhí)枴緾N201510207961
【發(fā)明人】前田道德
【申請人】發(fā)那科株式會社
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年4月28日
【公告號】DE102015006192A1, US20150340836