彈性波裝置及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及例如雙工器等的多個(gè)彈性波元件所構(gòu)成的彈性波裝置及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，彈性波裝置被廣泛應(yīng)用于移動(dòng)電話的雙工器。例如，在下述的專利文獻(xiàn)I中公開了如下的雙工器，即，在同一壓電基板上具備構(gòu)成發(fā)送濾波器的彈性波元件部分和構(gòu)成接收濾波器的彈性波元件部分。在專利文獻(xiàn)I中，在發(fā)送濾波器部分與接收濾波器部分之間設(shè)置有屏蔽電極。
[0003]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-98551號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]在專利文獻(xiàn)I所記載的雙工器中，在發(fā)送濾波器與接收濾波器之間形成有屏蔽電極。由此，發(fā)送濾波器與接收濾波器之間的電磁場(chǎng)耦合被抑制。由此，可謀求隔離特性的改口 ο
[0008]然而，在專利文獻(xiàn)I所記載的雙工器中，雖然設(shè)置有上述屏蔽電極，但無法充分地抑制電磁場(chǎng)耦合，隔離特性依然是不充分的。
[0009]本發(fā)明的目的在于，提供一種可以更有效地抑制彈性波元件部分間的電磁場(chǎng)耦合的彈性波裝置及其制造方法。
[0010]用于解決課題的手段
[0011]本發(fā)明所涉及的彈性波裝置具有:壓電基板；和被設(shè)置在壓電基板上的第1、第2電極構(gòu)造。第1、第2電極構(gòu)造分別具有第1、第2彈性波元件部分。此外，在本發(fā)明中，在壓電基板上設(shè)置有支承框。支承框被設(shè)置為包圍設(shè)置有上述第I彈性波元件部分以及第2彈性波元件部分的部分。
[0012]在本發(fā)明中，在上述支承框上設(shè)置有覆蓋層。覆蓋層構(gòu)成了第1、第2彈性波元件部分所面對(duì)的第1、第2中空部。
[0013]上述支承框具有對(duì)第I彈性波元件部分和第2彈性波元件部分進(jìn)行區(qū)域劃分的隔壁部，但在設(shè)置于該隔壁部的溝槽設(shè)置有由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的屏蔽電極。
[0014]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的某特定方面，屏蔽電極被設(shè)置在對(duì)支承框的隔壁部進(jìn)行上下貫通的貫通溝槽的內(nèi)側(cè)。優(yōu)選，屏蔽電極被設(shè)置為達(dá)到隔壁部的全長(zhǎng)。
[0015]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的進(jìn)一步的其他的特定方面，在所述支承框的一部分，與所述第I電極構(gòu)造或者所述第2電極構(gòu)造電連接的凸塊下金屬層被設(shè)置為從該支承框的上表面向上方突出，該凸塊下金屬層和所述屏蔽電極由相同的材料構(gòu)成。
[0016]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的另外的特定方面，在壓電基板上構(gòu)成了至少一個(gè)第3彈性波元件部分。
[0017]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的進(jìn)一步的另外的特定方面，所述第I彈性波元件部分為接收濾波器部，所述第2彈性波元件部分為發(fā)送濾波器部，從而構(gòu)成了雙工器。
[0018]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的進(jìn)一步另外的特定的方面，所述屏蔽電極被連接至接地電位。
[0019]本發(fā)明的彈性波裝置的制造方法是制造按照本發(fā)明所構(gòu)成的彈性波裝置的方法。本發(fā)明的制造方法具備:準(zhǔn)備壓電基板的工序；在所述壓電基板上形成所述第I電極構(gòu)造以及所述第2電極構(gòu)造的工序；在所述壓電基板上按照具有所述隔壁部的方式來形成所述支承框的工序；在所述支承框上按照具有所述第1、第2中空部的方式來設(shè)置所述覆蓋層的工序；和在所述支承框的隔壁部設(shè)置所述屏蔽電極的工序。
[0020]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的制造方法的某特定方面，形成所述屏蔽電極的工序具備:在所述支承框的所述隔壁部，形成在所述隔壁部的上表面的一部分敞開的凹狀溝槽或者貫通所述隔壁部的貫通溝槽的工序；和在所述凹狀溝槽或者所述貫通溝槽埋入所述導(dǎo)電性材料來形成所述屏蔽電極的工序。
[0021]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的制造方法的其他的特定方面，在所述支承框上設(shè)置了所述覆蓋層之后形成從所述覆蓋層至所述隔壁部的凹狀溝槽或者貫通溝槽，由此來進(jìn)行在所述隔壁部形成所述凹狀溝槽或者所述貫通溝槽的工序。
[0022]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的制造方法的進(jìn)一步的其他的特定方面，還具備:在形成從所述覆蓋層至所述隔壁部的凹狀溝槽或者貫通溝槽之際，形成貫通所述覆蓋層并到達(dá)所述支承框的凸塊下金屬層用貫通孔的工序；和在所述凹狀溝槽或者貫通溝槽填充所述導(dǎo)電性材料來形成屏蔽電極的工序中，向所述凸塊下金屬層用貫通孔也填充相同的導(dǎo)電性材料來形成凸塊下金屬層的工序。
[0023]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的制造方法的進(jìn)一步的其他的特定方面，還具備:在所述凸塊下金屬層上形成用于與外部電連接的凸塊的工序。
[0024]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的制造方法的進(jìn)一步的其他的特定方面，作為所述第I彈性波元件部分而構(gòu)成接收濾波器部，作為所述第2彈性波元件部分而構(gòu)成發(fā)送濾波器部，由此獲得雙工器。
[0025]發(fā)明效果
[0026]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置中，由于支承框具有隔壁部，并在該隔壁部的溝槽設(shè)置有由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的屏蔽電極，因此可以有效地抑制第I彈性波元件部分和第2彈性波元件部分的電磁場(chǎng)耦合。
【附圖說明】
[0027]圖1 (a)是本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的正面剖視圖，圖1 (b)是除掉覆蓋層以及凸塊后的彈性波裝置的示意性俯視圖。
[0028]圖2(a)?圖2(d)是用于說明本發(fā)明的第I實(shí)施方式的彈性波裝置的制造方法的各示意性正面剖視圖。
[0029]圖3是用于說明本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的制造方法的示意性正面剖視圖。
[0030]圖4是本發(fā)明的第I實(shí)施方式的第I變形例所涉及的彈性波裝置的正面剖視圖。
[0031]圖5(a)是本發(fā)明的第I實(shí)施方式的第2變形例所涉及的彈性波裝置的正面剖視圖，圖5(b)是除掉覆蓋層以及凸塊后的彈性波裝置的示意性俯視圖。
[0032]圖6是關(guān)于共模隔離特性而在本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置和比較例的彈性波裝置中進(jìn)行比較后的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
【具體實(shí)施方式】
[0033]以下，參照附圖來說明本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，由此使本發(fā)明變得明了。
[0034]圖1 (a)是本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的正面剖視圖。此外，圖1 (b)是在本實(shí)施方式的彈性波裝置I中除去后述的凸塊以及覆蓋層后的構(gòu)造的俯視圖。另外，圖1(a)是與沿著圖1(b)的A-A線的部分相當(dāng)?shù)牟糠值恼嫫室晥D。
[0035]另外，本實(shí)施方式的彈性波裝置I被用作移動(dòng)電話的雙工器。
[0036]彈性波裝置I具有壓電基板2。壓電基板2能夠由1^了&03或LiNbO 3等壓電單晶、或者壓電陶瓷、或者在主面上設(shè)置有壓電性薄膜的基板來構(gòu)成。
[0037]在壓電基板2上形成有第I電極構(gòu)造3和第2電極構(gòu)造4。第I電極構(gòu)造3包含IDT電極、迂回布線。第I電極構(gòu)造3被設(shè)置為構(gòu)成作為第I彈性波元件部分的發(fā)送濾波器。由該第I電極構(gòu)造3形成的發(fā)送濾波器的具體構(gòu)成并未特別限定。例如，只要構(gòu)成梯型電路結(jié)構(gòu)的帶通濾波器等的適當(dāng)濾波器即可。按照與第I電極構(gòu)造3電連接的方式設(shè)置有電極焊盤5、6。
[0038]另一方面，第2電極構(gòu)造4構(gòu)成了作為第2彈性波元件部分的接收濾波器。此外，第2電極構(gòu)造4也包含IDT電極、迂回布線等。在本實(shí)施方式中，由第2電極構(gòu)造4構(gòu)成了接收濾波器。因此，第2電極構(gòu)造4被設(shè)置為構(gòu)成梯型電路結(jié)構(gòu)的帶通濾波器、縱耦合諧振器型電路結(jié)構(gòu)的帶通濾波器等的適當(dāng)濾波器。與第2電極構(gòu)造4電連接的電極焊盤7、8被設(shè)置在壓電基板2上。
[0039]在本實(shí)施方式中，由第I電極構(gòu)造3以及第2電極構(gòu)造4分別構(gòu)成了上述第1、第2彈性波元件部分。在此，第I彈性波元件部分以及第2彈性波元件部分包含至少一個(gè)彈性表面波元件。因此，需要不妨礙彈性表面波元件振動(dòng)用的空間。為此，按