金屬膜21露出。
[0065]然后，如圖3所示，從貫通孔23a填充用于構(gòu)成凸塊下金屬層16?19以及屏蔽電極22的金屬材料。該方法并不特別限定，在整個面成膜了金屬膜之后，可通過利用剝離(lift-off)法除去貫通孔外的金屬膜的方法等的適當方法來進行。
[0066]然后，形成圖1(a)所示的凸塊24。如此，能夠獲得彈性波裝置I。
[0067]另外，上述彈性波裝置I的制造方法為一例，制造彈性波裝置I的方法本身并未特別限定。不過，在上述制造方法中，由于凸塊下金屬層16?19由與屏蔽電極22相同的金屬材料構(gòu)成，因此能夠以相同的工序來形成。因此，可起到制造工序的簡化以及成本降低的效果。
[0068]此外，在本實施方式中，如前所述，金屬膜21與金屬膜12?15同樣地，由與構(gòu)成凸塊下金屬層16?19以及屏蔽電極22的金屬的密接性方面優(yōu)異的材料構(gòu)成。因此，能夠提高屏蔽電極22相對于金屬膜21的密接性。因此，能夠遍及設置有屏蔽電極22的部分中的整個區(qū)域地有效提尚電磁屏蔽效應。
[0069]在圖6中示出本發(fā)明的第I實施方式的彈性波裝置和比較例的彈性波裝置的共模隔離特性。本發(fā)明的第I實施方式的彈性波裝置的結(jié)構(gòu)設為:發(fā)送側(cè)的頻帶為704?716MHz、接收側(cè)的頻帶為734?746MHz的通信標準Bandl7的平衡型雙工器。在比較例中，除了省略貫通孔以及屏蔽電極22之外，設為與本發(fā)明的第I實施方式的彈性波裝置相同。另外，在圖6中，虛線表示本發(fā)明的第I實施方式，實線表示比較例。
[0070]由圖6可知，根據(jù)本發(fā)明的實施方式，與比較例相比，發(fā)送側(cè)以及接收側(cè)的頻帶中的衰減量較大，共模隔離特性方面優(yōu)異。
[0071]另外，在上述實施方式中，雖然說明了應用于移動電話的雙工器的實施方式，但本發(fā)明并不限定于雙工器。即，一般可以適用于在壓電基板上設置有多個彈性波元件部分的彈性波裝置。
[0072]因此，第I彈性波元件部分以及第2彈性波元件部分并不限于帶通濾波器、低通濾波器、高通濾波器、帶阻濾波器，也可以是諧振器、彈性波延遲線等的具有多種功能的元件部分。
[0073]此外，在上述實施方式中，雖然第1、第2彈性波元件部分為彈性表面波元件部分，但也可以為彈性邊界波元件部分、體彈性波元件部分。
[0074]符號說明
[0075]I...彈性波裝置
[0076]2...壓電基板
[0077]3、4…第1、第2電極構(gòu)造
[0078]5?8...電極焊盤
[0079]11...支承框
[0080]11a...隔壁部
[0081]Ilb.…貫通溝槽
[0082]Ilx…凹狀溝槽
[0083]12?15…金屬膜
[0084]16?19...凸塊下金屬層
[0085]20、21…金屬膜
[0086]22...屏蔽電極
[0087]23...覆蓋層
[0088]23a...貫通孔
[0089] 24.??凸塊
【主權(quán)項】
1.一種彈性波裝置，其特征在于，具備: 壓電基板； 第I電極構(gòu)造，其設置在所述壓電基板上，且構(gòu)成第I彈性波元件部分； 第2電極構(gòu)造，其設置在所述壓電基板上，且構(gòu)成第2彈性波元件部分； 支承框，其按照將設置有所述第I彈性波元件部分以及所述第2彈性波元件部分的部分包圍的方式設置在所述壓電基板上；和 覆蓋層，其設置在所述支承框上，且構(gòu)成第I彈性波元件部分、第2彈性波元件部分所面對的第I中空部、第2中空部， 所述支承框具有對所述第I彈性波元件部分和所述第2彈性波元件部分進行區(qū)域劃分的隔壁部，在設置于該隔壁部的溝槽，設置有由導電性材料構(gòu)成的屏蔽電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波裝置，其中， 所述屏蔽電極被設置在將所述支承框的所述隔壁部進行上下貫通的貫通溝槽的內(nèi)側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彈性波裝置，其中， 所述屏蔽電極被設置為達到所述隔壁部的全長。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的彈性波裝置，其中， 在所述支承框的一部分，與所述第I電極構(gòu)造或者所述第2電極構(gòu)造電連接的凸塊下金屬層被設置為從該支承框的上表面向上方突出，該凸塊下金屬層和所述屏蔽電極由相同的材料構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項所述的彈性波裝置，其中， 在所述壓電基板上構(gòu)成至少一個第3彈性波元件部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項所述的彈性波裝置，其中， 所述第I彈性波元件部分為接收濾波器部，所述第2彈性波元件部分為發(fā)送濾波器部，從而構(gòu)成雙工器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1?6中任一項所述的彈性波裝置，其中， 所述屏蔽電極被連接至接地電位。
8.一種彈性波裝置的制造方法，是權(quán)利要求1?7中任一項所述的彈性波裝置的制造方法，其特征在于，包括: 準備壓電基板的工序； 在所述壓電基板上形成所述第I電極構(gòu)造以及所述第2電極構(gòu)造的工序； 在所述壓電基板上按照具有所述隔壁部的方式來形成所述支承框的工序； 在所述支承框上按照具有所述第I中空部、第2中空部的方式來設置所述覆蓋層的工序；和 在所述支承框的隔壁部設置所述屏蔽電極的工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的彈性波裝置的制造方法，其中， 形成所述屏蔽電極的工序包括: 在所述支承框的所述隔壁部，形成在所述隔壁部的上表面的一部分敞開的凹狀溝槽或者貫通所述隔壁部的貫通溝槽的工序；和 在所述凹狀溝槽或者所述貫通溝槽埋入所述導電性材料來形成所述屏蔽電極的工序。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的彈性波裝置的制造方法，其中， 在所述支承框上設置了所述覆蓋層之后形成從所述覆蓋層至所述隔壁部的凹狀溝槽或者貫通溝槽，由此來進行在所述隔壁部形成所述凹狀溝槽或者所述貫通溝槽的工序。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的彈性波裝置的制造方法，其中， 所述彈性波裝置的制造方法還包括: 在形成從所述覆蓋層至所述隔壁部的凹狀溝槽或者貫通溝槽之際，形成貫通所述覆蓋層而到達所述支承框的凸塊下金屬層用貫通孔的工序；和 在所述凹狀溝槽或者貫通溝槽填充所述導電性材料來形成屏蔽電極的工序中，向所述凸塊下金屬層用貫通孔也填充相同的導電性材料來形成凸塊下金屬層的工序。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的彈性波裝置的制造方法，其中， 所述彈性波裝置的制造方法還包括:在所述凸塊下金屬層上形成用于與外部電連接的凸塊的工序。
13.根據(jù)權(quán)利要求8?12中任一項所述的彈性波裝置的制造方法，其中， 作為所述第I彈性波元件部分而構(gòu)成接收濾波器部，作為所述第2彈性波元件部分而構(gòu)成發(fā)送濾波器部，由此獲得雙工器。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種可抑制彈性波元件部分間的電磁場耦合的彈性波裝置。彈性波裝置(1)在壓電基板(2)上形成有第1電極構(gòu)造(3)以及第2電極構(gòu)造(4)，由第1電極構(gòu)造(3)以及第2電極構(gòu)造(4)分別構(gòu)成了第1、第2彈性波元件部分，按照包圍第1彈性波元件部分以及第2彈性波元件部分的方式在壓電基板(2)上形成有支承框(11)，該支承框(11)具有對第1彈性波元件部分和第2彈性波元件部分進行區(qū)域劃分的隔壁部(11a)，在設置于該隔壁部(11a)的溝槽，設置有由導電性材料構(gòu)成的屏蔽電極(22)。
【IPC分類】H03H9-72, H03H9-25, H03H3-08
【公開號】CN104662797
【申請?zhí)枴緾N201380049377
【發(fā)明人】稻手謙二
【申請人】株式會社村田制作所
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2013年8月2日
【公告號】US20150194948, WO2014050307A1