照包圍設(shè)置有上述第I彈性波元件部分的部分以及設(shè)置有第2彈性波元件部分的部分的方式，設(shè)置有支承框
Ilo
[0040]如圖1(b)所示，支承框11具有整體為大致矩形框狀的形狀。并且，支承框11具有對(duì)第I電極構(gòu)造3和第2電極構(gòu)造4進(jìn)行區(qū)域劃分、換言之對(duì)第I彈性波元件部分和第2彈性波元件部分進(jìn)行區(qū)域劃分的隔壁部11a。如圖1(b)所示，隔壁部Ila被設(shè)置在第I電極構(gòu)造3與第2電極構(gòu)造4之間。隔壁部Ila按照連結(jié)矩形框狀的支承框11的彼此對(duì)置的一對(duì)邊的方式，且以與剩余的一對(duì)邊平行的方式延伸。另外，隔壁也可以不與剩余的一對(duì)邊平行地延伸，而通過(guò)折彎形狀或曲線形狀以連結(jié)矩形框狀的支承框11的彼此對(duì)置的一對(duì)邊的方式延伸。另外，隔壁部Ila也不一定要與矩形框狀的支承框11相接。
[0041]上述支承框11能夠由Si02、Al2O3等的絕緣性陶瓷或合成樹(shù)脂來(lái)形成。
[0042]另外，在上述電極焊盤(pán)5?8之上層疊有金屬膜12?15。該金屬膜12?15是為了提高與之后形成的凸塊下金屬層16?19的密接性而設(shè)置的。金屬膜12?15能夠根據(jù)構(gòu)成凸塊下金屬層16?19的金屬而以適當(dāng)?shù)慕饘賮?lái)形成。另外，金屬膜12?15也不一定是必要的。
[0043]在上述隔壁部Ila形成有貫通溝槽lib。另外，在設(shè)置有隔壁部Ila的部分，如圖1(a)所示層疊有金屬膜20、21。金屬膜20由與電極焊盤(pán)5?8相同的材料來(lái)形成。此外，若金屬膜21由與前述的金屬膜12?15相同的金屬來(lái)形成，則期望也能夠以相同的工序來(lái)制造金屬膜。不過(guò)，也可以由不同的金屬來(lái)形成。
[0044]在上述隔壁部11a，按照與金屬膜21面對(duì)的方式形成有貫通溝槽lib。貫通溝槽Ilb被形成為達(dá)到隔壁部Ila的全長(zhǎng)。不過(guò)，貫通溝槽Ilb也可以按照不達(dá)到隔壁部Ila的全長(zhǎng)的方式，在隔壁部Ila的長(zhǎng)度方向上局部地形成有多個(gè)。
[0045]貫通溝槽Ilb被設(shè)置為:從隔壁部Ila的上表面至下表面，使金屬膜21露出。
[0046]不過(guò)，也可以如圖4所示的本實(shí)施方式的第I變形例那樣，取代貫通溝槽Ilb而形成在上表面敞開(kāi)的凹狀溝槽llx。凹狀溝槽Ilx被設(shè)置為不到達(dá)隔壁部Ila的下表面。
[0047]優(yōu)選，期望如本實(shí)施方式那樣形成貫通溝槽lib。由此，能夠提高后述的電磁屏蔽效應(yīng)。特別是，在本實(shí)施方式中，在下方設(shè)置有金屬膜21，金屬膜21和屏蔽電極22的密接性得以提高。因此，能夠進(jìn)一步提高電磁屏蔽效應(yīng)。進(jìn)而，如果屏蔽電極22被連接至接地電位，則可更進(jìn)一步獲得電磁屏蔽效應(yīng)，故優(yōu)選。
[0048]在上述貫通溝槽Ilb內(nèi)設(shè)置有由與凸塊下金屬層16?19相同的金屬構(gòu)成的屏蔽電極22。在本實(shí)施方式中，屏蔽電極22由與凸塊下金屬層16?19相同的金屬材料構(gòu)成。不過(guò)，也可以由其他的金屬材料來(lái)形成。
[0049]如上述，支承框11具有某種程度的厚度。因此，隔壁部Ila也具有某種程度的高度方向的尺寸。優(yōu)選，隔壁部Ila的高度方向的尺寸比支承框11的高度方向的尺寸高。并且，在支承框11上設(shè)置有覆蓋層23。覆蓋層23能夠由氧化鋁等的絕緣性陶瓷或合成樹(shù)脂等來(lái)形成。
[0050]在覆蓋層23中形成有前述的凸塊下金屬層16?19以及屏蔽電極22可插入的貫通孔。如根據(jù)后述的制造方法可明確的那樣，在本實(shí)施方式中，在覆蓋層23形成了這些貫通孔之后，再形成前述的凸塊下金屬層16?19以及屏蔽電極22。
[0051]由于上述支承框11具有某種程度的厚度，因此當(dāng)將上述覆蓋層23層疊于支承框11的上表面時(shí)，形成有中空部B、C。即，形成了不會(huì)妨礙到第I彈性波元件部分以及第2彈性波元件部分的振動(dòng)的中空部B、Co
[0052]在上述凸塊下金屬層16?19上分別設(shè)置有凸塊24。
[0053]因此，本實(shí)施方式的彈性波裝置I是使凸塊24側(cè)與電路基板的安裝面對(duì)置，并通過(guò)倒裝芯片接合方法進(jìn)行表面安裝而獲得的。
[0054]在彈性波裝置I中，支承框11被設(shè)置為分別包圍第I彈性波元件部分以及第2彈性波元件部分，且在隔壁部Ila設(shè)置有上述屏蔽電極22，因此可以有效地抑制第I彈性波元件部分和第2彈性波元件部分的電磁場(chǎng)耦合。
[0055]另外，在上述實(shí)施方式中，在隔壁部Ila形成了上述金屬膜21。通過(guò)金屬膜21的形成，從而能夠以與凸塊下金屬層16?19相同的工序來(lái)進(jìn)行屏蔽電極22的形成。不過(guò)，如圖5(a)以及(b)所示的本實(shí)施方式的第2變形例那樣，上述金屬膜21在隔壁部Ila的長(zhǎng)度方向上無(wú)需遍及上述貫通溝槽Ilb的長(zhǎng)度方向的全長(zhǎng)來(lái)形成。圖5(a)以及(b)是相當(dāng)于上述實(shí)施方式的圖1(a)以及(b)的圖。圖5 (a)是相當(dāng)于沿著圖5(b)的D-D線的部分的彈性波裝置的剖視圖。如根據(jù)圖5(a)可明確的那樣，在沿著D-D線的剖面中，貫通溝槽Ilb沒(méi)有達(dá)到隔壁部11a。S卩，如圖5(b)所示，貫通溝槽Ilb的長(zhǎng)度比第I實(shí)施方式的情況短。并且，在沿著圖5(b)的D-D線的剖面部分，與凸塊下金屬層17連接的金屬膜13以及電極焊盤(pán)6超過(guò)設(shè)置有上述隔壁部I Ia的部分而延伸。不過(guò)，在設(shè)置有上述貫通溝槽I Ib的部分，與第I實(shí)施方式同樣地，在屏蔽電極22的下方設(shè)置有金屬膜21。
[0056]在本變形例中，如上述那樣，金屬膜13以及電極焊盤(pán)6使隔壁部Ila從設(shè)置有凸塊下金屬層17的一側(cè)延伸至相反側(cè)。這是由于，隔壁部的一側(cè)構(gòu)成了發(fā)送濾波器部，另一側(cè)構(gòu)成了接收濾波器部，作為與天線端子連接的布線圖案而使用的是金屬膜13以及電極焊盤(pán)6。即，金屬膜13以及電極焊盤(pán)6構(gòu)成了與天線端子連接的布線圖案，且在發(fā)送濾波器部和接收濾波器部中被公共化。由此，這種金屬膜13以及電極焊盤(pán)6需要與屏蔽電極22電絕緣。為此，上述貫通溝槽11b、即屏蔽電極22以及金屬膜21沒(méi)有在隔壁部Ila的長(zhǎng)度方向的全長(zhǎng)進(jìn)行設(shè)置。
[0057]本實(shí)施例的金屬膜21無(wú)需在隔壁部Ila的長(zhǎng)度方向的全長(zhǎng)進(jìn)行設(shè)置，而是局部地設(shè)置。此外，屏蔽電極22被設(shè)置在內(nèi)側(cè)的溝槽的一部分，在與天線端子連接的布線圖案中所含的金屬膜13以及電極焊盤(pán)6的上方，如圖4所示那樣也可以是不到達(dá)隔壁部Ila的下表面且在上表面敞開(kāi)的凹狀溝槽。在該情況下，金屬膜13以及電極焊盤(pán)6能夠與屏蔽電極22電絕緣，在具備連接第I電極構(gòu)造3和第2電極構(gòu)造4的布線電極的基礎(chǔ)上，可以提高電磁屏蔽效應(yīng)，故優(yōu)選。
[0058]其次，說(shuō)明上述彈性波裝置I的制造方法。
[0059]首先，如圖2(a)所示，在壓電基板2上形成第1、第2電極構(gòu)造3、4以及電極焊盤(pán)5?8。該形成方法并未特別限定，能使用蒸鍍、鍍敷或者濺射等的適當(dāng)方法。
[0060]其次，在電極焊盤(pán)5?8上形成上述金屬膜12?15。該金屬膜12?15的形成方法也能夠使用蒸鍍、鍍敷、濺射等的適當(dāng)方法。
[0061]然后，在壓電基板2上在整個(gè)面將構(gòu)成支承框11的材料進(jìn)行成膜，形成為給定的形狀。如此，形成圖2(b)所示的支承框11。為了獲得該給定的形狀，能夠使用光刻法等的適當(dāng)方法。例如，在光刻法中，只要在形成光致抗蝕劑之后進(jìn)行蝕刻以殘留圖1(b)所示的平面形狀的支承框11即可。
[0062]其次，如圖2(c)所示，在支承框11上層疊覆蓋層23。覆蓋層23的層疊可以通過(guò)合成樹(shù)脂薄膜的層疊、絕緣性陶瓷片的層疊等的適當(dāng)方法來(lái)進(jìn)行。
[0063]如圖2(d)所示，從俯視上述覆蓋層23的方向，通過(guò)激光等的加工方法來(lái)形成多個(gè)貫通孔23a。該多個(gè)貫通孔23a被設(shè)置為使位于下方的前述的金屬膜12?15或金屬膜21露出。此外，上述貫通孔之中設(shè)置于金屬膜21上的貫通孔，被設(shè)置為具有前述的貫通溝槽Ilb的平面形狀。
[0064]S卩，上述貫通孔23a被設(shè)置于覆蓋層23，但被貫通到與下方的支承框11的貫通孔23a相同的位置。由此，金屬膜12?15以及