lppm，其余雜質(zhì)均未檢出；
[0206] 所述金屬為:鋰、鈹、鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、銣、鍶、 鑰、銀、錦、艷、鎖、銘、鉛和袖。
[0207] 實(shí)施例15
[0208] -種四氟化硅的純化方法，所述純化方法如下：
[0209] (1)純化反應(yīng)物1為C1F，反應(yīng)溫度為-99°C，反應(yīng)壓力為-O.OIMPa，反應(yīng)百分比1為 49%，稀釋介質(zhì)為流量為1001711^11的氮?dú)?，催化劑?1^22(^，其余同實(shí)施例1步驟(1)。
[0210] (2)純化反應(yīng)物2為SiH4,使用冷凍抽真空方法純化，其余同實(shí)施例1步驟(2)。
[0211] 對四氟化硅精品氣進(jìn)行測試分析，可知其中：
[0212] 51卩4的純度2 99.999%;
[0213] 雜質(zhì)及含量：（SiF3)2〇 < 0 · 2ppm、CH4 < 0 · 2ppm、C2H6 < 0 · 2ppm、C3H8 < 0 · 2ppm、C2H2 < 0 · 2ppm、C2H4 < 0 · 2ppm、C0 < 0 · 2ppm、H2 < 0 · 2ppm、B < 0 · 2ppm、P < 0 · 2ppm、As < 0 · 2ppm、Se < 0.2ppm、H2S < 0.2ppm、S〇2 < 0.2ppm、N2〇< 0.2ppm，金屬每種分別 < 0.2ppm、〇2 < 0.5ppm、N2 < lppm、C〇2 < lppm、HF < 0 · 2ppm和HC1 < 0 · 2ppm，其余雜質(zhì)均未檢出；
[0214] 所述金屬為:鋰、鈹、鈉、鎂、錯、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、銣、鍶、 鑰、銀、錦、艷、鎖、銘、鉛和袖。
[0215] 實(shí)施例16
[0216] -種四氟化硅的純化方法，所述純化方法如下：
[0217] (1)純化反應(yīng)物1為0F2，反應(yīng)溫度為-199°C，反應(yīng)壓力為-0 · 09MPa，反應(yīng)百分比1為 0.0001 %，其余同實(shí)施例1步驟(1)。
[0218] (2)純化反應(yīng)物2為SiH4,使用冷凍抽真空方法純化，其余同實(shí)施例1步驟(2)。
[0219] 對四氟化硅精品氣進(jìn)行測試分析，可知其中：
[0220] 51卩4的純度2 99.999%;
[0221 ]雜質(zhì)及含量：（SiF3)2〇 < 0 · 2ppm、CH4 < 0 · 2ppm、C2H6 < 0 · 2ppm、C3H8 < 0 · 2ppm、C2H2 < 0 · 2ppm、C2H4 < 0 · 2ppm、C0 < 0 · 2ppm、H2 < 0 · 2ppm、B < 0 · 2ppm、P < 0 · 2ppm、As < 0 · 2ppm、Se < 0.2ppm、H2S < 0.2ppm、S〇2 < 0.2ppm、N2〇< 0.2ppm，金屬每種分別 < 0.2ppm、〇2 < 0.5ppm、N2 < lppm、C〇2 < lppm、HF < 0 · 2ppm和HC1 < 0 · 2ppm，其余雜質(zhì)均未檢出；
[0222] 所述金屬為:鋰、鈹、鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、銣、鍶、 鑰、銀、錦、艷、鎖、銘、鉛和袖。
[0223] 實(shí)施例17
[0224] -種四氟化硅的純化方法，所述純化方法如下：
[0225] (1)純化反應(yīng)物1為0F2，其余同實(shí)施例1步驟（1)。
[0226] (2)純化反應(yīng)物2為SiH4,使用冷凍抽真空方法純化，其余同實(shí)施例1步驟(2)。
[0227] 對四氟化硅精品氣進(jìn)行測試分析，，可知其中：
[0228] 51卩4的純度2 99.999%;
[0229] 雜質(zhì)及含量：（SiF3)2〇 < 0 · 2ppm、CH4 < 0 · 2ppm、C2H6 < 0 · 2ppm、C3H8 < 0 · 2ppm、C2H2 < 0 · 2ppm、C2H4 < 0 · 2ppm、C0 < 0 · 2ppm、H2 < 0 · 2ppm、B < 0 · 2ppm、P < 0 · 2ppm、As < 0 · 2ppm、Se < 0 · 2ppm、H2S < 0 · 2ppm、S〇2 < 0 · 2ppm、N2〇 < 0 · 2ppm，金屬每種 < 0 · 2ppm、〇2 < 0 · 5ppm、N2 < lppm、C〇2 < lppm、HF < 0 · 2ppm和HC1 < 0 · 2ppm，其余雜質(zhì)均未檢出；
[0230] 所述金屬為:鋰、鈹、鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、銣、鍶、 鑰、銀、錦、艷、鎖、銘、鉛和袖。
[0231] 實(shí)施例18
[0232] -種四氟化硅的純化方法，所述純化方法如下：
[0233] (1)純化反應(yīng)物1為0F2，反應(yīng)溫度為499°C，反應(yīng)壓力為0 · 0IMPa，反應(yīng)百分比1為 1%，稀釋介質(zhì)為流量為l〇〇L/min的空氣，催化劑為CeF220g，其余同實(shí)施例1步驟(1)。
[0234] (2)純化反應(yīng)物2為SiH4,使用冷凍抽真空方法純化，其余同實(shí)施例1步驟(2)。
[0235] 對四氟化硅精品氣進(jìn)行測試分析，可知其中：
[0236] SiF4的純度 2 99.9995%;
[0237] 雜質(zhì)及含量：（SiF3)2〇 < 0· lppm、CH4 < 0· lppm、C2H6 < 0· lppm、C3H8 < 0· lppm、C2H2 < 0 · lppm、C2H4 < 0 · lppm、C0 < 0 · lppm、H2 < 0 · lppm、B < 0 · lppm、P < 0 · lppm、As < 0 · lppm、Se < 0· lppm、H2S < 0· lppm、S〇2 < 0· lppm、N2〇< 0· lppm、金屬每種分別 < 0· lppm、〇2 < 0.5ppm、N2 < lppm、C〇2 < lppm、HF < 0 · lppm和HC1 < 0 · lppm，其余雜質(zhì)均未檢出；
[0238] 所述金屬為:鋰、鈹、鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、銣、鍶、 鑰、銀、錦、艷、鎖、銘、鉛和袖。
[0239] 實(shí)施例19
[0240] -種四氟化硅的純化方法，所述純化方法如下：
[0241] (1)純化反應(yīng)物1為C102，反應(yīng)溫度為-199°C，反應(yīng)壓力為-0 · 09MPa，反應(yīng)百分比1 為0.0001 %，其余同實(shí)施例1步驟(1)。
[0242] (2)純化反應(yīng)物2為SiH4，使用冷凍抽真空方法純化，其余同實(shí)施例1步驟(2)。
[0243] 對四氟化硅精品氣進(jìn)行測試分析，可知其中：
[0244] 51卩4的純度2 99.999%;
[0245] 雜質(zhì)及含量：（SiF3)2〇 < 0 · 2ppm、CH4 < 0 · 2ppm、C2H6 < 0 · 2ppm、C3H8 < 0 · 2ppm、C2H2 < 0 · 2ppm、C2H4 < 0 · 2ppm、C0 < 0 · 2ppm、H2 < 0 · 2ppm、B < 0 · 2ppm、P < 0 · 2ppm、As < 0 · 2ppm、Se < 0.2ppm、H2S < 0.2ppm、S〇2 < 0.2ppm、N2〇< 0.2ppm，金屬每種分別 < 0.2ppm、〇2 < 0.5ppm、N2 < lppm、C〇2 < lppm、HF < 0 · 2ppm和HC1 < 0 · 2ppm，其余雜質(zhì)均未檢出；
[0246] 所述金屬為:鋰、鈹、鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、銣、鍶、 鑰、銀、錦、艷、鎖、銘、鉛和袖。
[0247] 實(shí)施例20
[0248] -種四氟化硅的純化方法，所述純化方法如下：
[0249] (1)純化反應(yīng)物1為C102，其余同實(shí)施例1步驟(1)。
[0250] (2)純化反應(yīng)物2為SiH4，使用冷凍抽真空方法純化，其余同實(shí)施例1步驟(2)。
[0251 ]對四氟化硅精品氣進(jìn)行測試分析，可知其中：
[0252] SiF4的純度 2 99.9995%;
[0253] 雜質(zhì)及含量：（SiF3)2〇 < 0· lppm、CH4 < 0· lppm、C2H6 < 0· lppm、C3H8 < 0· lppm、C2H2 < 0 · lppm、C2H4 < 0 · lppm、C0 < 0 · lppm、H2 < 0 · lppm、B < 0 · lppm、P < 0 · lppm、As < 0 · lppm、Se < 0· lppm、H2S < 0· lppm、S〇2 < 0· lppm、N2〇< 0· lppm、金屬每種分別 < 0· lppm、〇2 < 0.5ppm、N2 < lppm、C〇2 < lppm、HF < 0 · lppm和HC1 < 0 · lppm，其余雜質(zhì)均未檢出；
[0254] 所述金屬為:鋰、鈹、鈉、鎂、錯、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、銣、鍶、 鑰、銀、錦、艷、鎖、銘、鉛和袖。
[0255] 實(shí)施例21
[0256] -種四氟化硅的純化方法，所述純化方法如下：
[0257] (1)純化反應(yīng)物1為Cl〇2,反應(yīng)溫度為1°C，反應(yīng)壓力為0.3MPa，反應(yīng)百分比1為 49%，稀釋介質(zhì)為流量為100L/min的氦氣，催化劑為AgCl 20g，其余同實(shí)施例1步驟(1)。
[0258] (2)使用冷凍抽真空方法純化，其余同實(shí)施例1步驟(2)。
[0259] 對四氟化硅精品氣進(jìn)行測試分析，可知其中：
[0260] SiF4的純度 2 99.999%;
[0261 ]雜質(zhì)及含量：（SiF3)2〇 < 0 · 2ppm、CH4 < 0 · 2ppm、C2H6 < 0 · 2ppm、C3H8 < 0 · 2ppm、C2H2 < 0 · 2ppm、C2H4 < 0 · 2ppm、C0 < 0 · 2ppm、H2 < 0 · 2ppm、B < 0 · 2ppm、P < 0 · 2ppm、As < 0 · 2ppm、Se < 0.2ppm、H2S < 0.2ppm、S〇2 < 0.2ppm、N2〇< 0.2ppm，金屬每種分別 < 0.2ppm、〇2 < 0.5ppm、N2 < lppm、C〇2 < lppm、HF < 0 · 2ppm和HC1 < 0 · 2ppm，其余雜質(zhì)均未檢出；
[0262] 所述金屬為:鋰、鈹、鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、銣、鍶、 鑰、銀、錦、艷、鎖、銘、鉛和袖。
[0263] 實(shí)施例22
[0264] -種四氟化硅的純化方法，所述純化方法如下：
[0265] (1)純化反應(yīng)物1為NF3，反應(yīng)溫度為-199°C，反應(yīng)壓力為-0 · 09MPa，反應(yīng)百分比1為 0.0001 %，其余同實(shí)施例1步驟(1)。
[0266] (2)使用冷凍抽真空方法純化，其余同實(shí)施例1步驟(2)。
[0267] 對四氟化硅精品氣進(jìn)行測試分析，可知其中：
[0268] SiF4的純度 2 99.9995%;
[0269] 雜質(zhì)及含量：（SiF3)2〇 < 0· lppm、CH4 < 0· lppm、C2H6 < 0· lppm、C3H8 < 0· lppm、C2H2 < 0 · lppm、C2H4 < 0 · lppm、C0 < 0 · lppm、H2 < 0 · lppm、B < 0 · lppm、P < 0 · lppm、As < 0 · lppm、Se < 0· lppm、H2S < 0· lppm、S〇2 < 0· lppm、N2〇< 0· lppm、金屬每種分別 < 0· lppm、〇2 < 0.5ppm、N2 < lppm、C〇2 < lppm、HF < 0 · lppm和HC1 < 0 · lppm，其余雜質(zhì)均未檢出；
[0270] 所述金屬為:鋰、鈹、鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅、鎵、銣、鍶、 鑰、銀、錦、艷、鎖、銘、鉛和袖。
[0271] 實(shí)施例23
[0272] -種四氟化硅的純化方法，所述純化方法如下：
[0273] (1)純化反應(yīng)物1為NF3，其余同實(shí)施例1步驟（1)。
[0274] (2)通過使用冷凍抽真空方法純化法純化，其余同實(shí)施例1步驟(2)。
[0275] 對四氟化硅精品氣進(jìn)行測試分析，可知其中：
[0276] 51卩4的純度2 99.999%;
[0277] 雜質(zhì)及含量：（SiF3)2〇 < 0 · 2ppm、CH4 < 0 · 2ppm、C2H6 < 0 · 2ppm、C3H8 < 0 · 2ppm、C2H2 < 0 · 2ppm、C2H4 < 0 · 2ppm、C0 < 0 · 2ppm、H2 < 0 · 2ppm、B