醋）錯、四（乙酷乙酸甲醋） 錯、四（乙酷乙酸乙醋）錯、四（乙酷乙酸異丙醋）錯、四（乙酷乙酸叔下醋）錯、四（下酷 基乙酸乙醋）錯、四（2-甲基丙酷基乙酸乙醋）錯、四（苯甲酯基乙酸乙醋）錯、四（丙二 酸二乙醋）錯、四（甲基丙二酸二乙醋）錯、乙氧基錯雙（乙酷乙酸乙醋）單（乙酷乙酸異 丙醋）、乙氧基錯雙（乙酷乙酸乙醋）單（3,5-己二酬）、雙（乙酷乙酸乙醋）雙（乙酷乙 酸異丙醋）錯、S(乙酷乙酸乙醋）單（3, 5-己二酬）錯等。
[0082] 作為鐵馨合物，可舉出S乙氧基鐵（2,4-戊二酬）、S異丙氧基鐵（2,4-戊二酬）、 S乙氧基鐵（2,4-己二酬）、S乙氧基鐵（3, 5-己二酬）、S乙氧基鐵苯甲酯丙酬、S乙氧基 鐵乙酷乙酸甲醋、S異丙氧基鐵乙酷乙酸甲醋、S乙氧基鐵乙酷乙酸乙醋、S乙氧基鐵乙酷 乙酸異丙醋、=乙氧基鐵乙酷乙酸叔下醋、=乙氧基鐵下酷基乙酸乙醋、=乙氧基鐵苯甲酯 基乙酸乙醋、二乙氧基鐵雙（2,4-戊二酬）、二異丙氧基鐵雙（2,4-戊二酬）、二乙氧基鐵雙 (2,4-己二酬）、二乙氧基鐵雙（3,5-己二酬）、二乙氧基鐵雙（苯甲酯丙酬）、二乙氧基鐵 雙（乙酷乙酸甲醋）、二異丙氧基鐵雙（乙酷乙酸甲醋）、二乙氧基鐵雙（乙酷乙酸乙醋）、 二乙氧基鐵雙（乙酷乙酸異丙醋）、二乙氧基鐵雙（乙酷乙酸叔下醋）、二乙氧基鐵雙（下 酷基乙酸乙醋）、二乙氧基鐵雙（苯甲酯基乙酸乙醋）、乙氧基鐵S(2,4-戊二酬）、異丙氧 基鐵S化4-戊二酬）、乙氧基鐵S(2,4-己二酬）、乙氧基鐵S(3, 5-己二酬）、乙氧基鐵 S(苯甲酯丙酬）、乙氧基鐵S(乙酷乙酸甲醋）、異丙氧基鐵S(乙酷乙酸甲醋）、乙氧基 鐵S(乙酷乙酸乙醋）、乙氧基鐵S(乙酷乙酸異丙醋）、乙氧基鐵S(乙酷乙酸叔下醋）、 乙氧基鐵S(下酷基乙酸乙醋）、乙氧基鐵S(苯甲酯基乙酸乙醋）、四化4-戊二酬）鐵、 四化4-己二酬）鐵、四（3,5-己二酬）鐵、四（苯甲酯丙酬）鐵、四化6-二甲基-3, 5-庚 酬）鐵、四化2,6-S甲基-3, 5-庚酬）鐵、四（乙酷乙酸甲醋）鐵、四（乙酷乙酸甲醋） 鐵、四（乙酷乙酸乙醋）鐵、四（乙酷乙酸異丙醋）鐵、四（乙酷乙酸叔下醋）鐵、四（下酷 基乙酸乙醋）鐵、四（2-甲基丙酷基乙酸乙醋）鐵、四（苯甲酯基乙酸乙醋）鐵、四（丙二 酸二乙醋）鐵、四（丙二酸二辛醋）鐵、四（甲基丙二酸二乙醋）鐵、乙氧基鐵雙（乙酷乙 酸乙醋）單（3,5-己二酬）、雙（乙酷乙酸乙醋）雙（乙酷乙酸異丙醋）鐵、S(乙酷乙酸 乙醋）單（3, 5-己二酬）鐵等。
[0083]作為銅馨合物，可舉出二乙氧基銅（2,4-戊二酬）、二異丙氧基銅（2,4-戊二酬）、 二乙氧基銅（2,4-己二酬）、二乙氧基銅（3,5-己二酬）、二乙氧基銅苯甲酯丙酬、二乙氧 基銅乙酷乙酸甲醋、二異丙氧基銅乙酷乙酸甲醋、二乙氧基銅乙酷乙酸乙醋、二乙氧基銅乙 酷乙酸異丙醋、二乙氧基銅乙酷乙酸叔下醋、二乙氧基銅下酷基乙酸乙醋、二乙氧基銅苯甲 酷基乙酸乙醋、乙氧基銅雙（2,4-戊二酬）、異丙氧基銅雙（2,4-戊二酬）、乙氧基銅雙（2， 4-己二酬）、乙氧基銅雙（3, 5-己二酬）、乙氧基銅雙（苯甲酯丙酬）、乙氧基銅雙（乙酷乙 酸甲醋）、異丙氧基銅雙（乙酷乙酸甲醋）、乙氧基銅雙（乙酷乙酸乙醋）、乙氧基銅雙（乙 酷乙酸異丙醋）、乙氧基銅雙（乙酷乙酸叔下醋）、乙氧基銅雙（下酷基乙酸乙醋）、乙氧基 銅雙（苯甲酯基乙酸乙醋）、S化4-戊二酬）銅、S(2,4-己二酬）銅、S(3, 5-己二酬） 銅、S(苯甲酯丙酬）銅、S化6-二甲基-3,5-庚酬）銅、S化2,6-^甲基-3,5-庚酬） 銅、S(乙酷乙酸甲醋）銅、S(乙酷乙酸甲醋）銅、S(乙酷乙酸乙醋）銅、S(乙酷乙酸 異丙醋）銅、S(乙酷乙酸叔下醋）銅、S(下酷基乙酸乙醋）銅、S(2-甲基丙酷基乙酸 乙醋）銅、S(苯甲酯基乙酸乙醋）銅、S(丙二酸二乙醋）銅、S(丙二酸二辛醋）銅、S (甲基丙二酸二乙醋）銅等。
[0084] 作為儀馨合物，可舉出雙（2,4-戊二酬）儀、雙（乙酷乙酸乙醋）儀等。
[0085] 作為銘馨合物，可舉出S(2,4-戊二酬）銘、S(乙酷乙酸乙醋）銘等。
[0086] 作為儘馨合物，可舉出雙（2,4-戊二酬）儘（II)、雙（乙酷乙酸乙醋）儘（II)、S (2,4-戊二酬H孟（III)、s(乙酷乙酸乙醋H孟（III)等。
[0087] 作為鉆馨合物，可舉出S(2,4-戊二酬）鉆、S(乙酷乙酸乙醋）鉆等。 陽〇8引作為儀馨合物，可舉出雙（2,4-戊二酬）儀、雙（乙酷乙酸乙醋）儀等。
[0089] 作為銅馨合物，可舉出雙（2,4-戊二酬）銅、雙（乙酷乙酸乙醋）銅等。
[0090] 作為鋒馨合物，可舉出雙（2,4-戊二酬）鋒、雙（乙酷乙酸乙醋）鋒、S(2,4-戊 二酬）鋒等。
[0091] 作為嫁馨合物，可舉出S(乙酷乙酸乙醋）嫁等。
[0092] 作為釘馨合物，可舉出S(2,4-戊二酬）釘、S(乙酷乙酸乙醋）釘?shù)取?br>[0093] 作為鈕馨合物，可舉出雙（2,4-戊二酬）鈕、雙（乙酷乙酸乙醋）鈕等。
[0094] 作為給馨合物，可舉出四（2,4-戊二酬）給、四（乙酷乙酸乙醋）給等。
[0095] 作為銷馨合物，可舉出雙（2,4-戊二酬）銷、雙（乙酷乙酸乙醋）銷等。
[0096] (a)通式（1)表示的金屬馨合物例如可通過W下方法得到。在金屬醇鹽中滴入規(guī) 定量的配體后，通過加熱回流將來自醇鹽（a化oxide)的醇成分饋出，由此可化合成所期望 的金屬馨合物。此外，通過依次滴入2種W上的配體，可W獲得具有不同配體的金屬馨合 物。
[0097] 本發(fā)明的組合物含有化）重均分子量為1000W上的聚合物。所述重均分子量（Mw) 為通過GPC(Gel化rmeationC虹omatogra地y:凝膠滲透色譜法）測定的換算為聚苯乙締 的值。若Mw小于1000,則對制膜性所起到的效果小，難W形成品質良好的膜。Mw越大膜形 成性越好，故優(yōu)選。但是，若過大，則涂布工藝中的過濾器透過性可能惡化。因此，Mw優(yōu)選 為50萬W下，進一步優(yōu)選為20萬W下。
[009引此外，本發(fā)明的組合物中的化）重均分子量為1000W上的聚合物的含量，相對于 (a)通式（1)表示的金屬馨合物100重量份而言在5~90重量份的范圍內。通過為該范圍， 可W確保良好的膜形成性，可W同時實現(xiàn)將組合物適用于FET的柵極絕緣膜時的低闊值電 壓和低漏電流。若化）重均分子量為1000W上的聚合物的含量大于90重量份，則無法同 時實現(xiàn)將組合物適用于FET的柵極絕緣膜時的低闊值電壓和低漏電流，相反，若小于5重量 份，則膜形成性降低，難W得到品質良好的絕緣膜。較優(yōu)選的范圍是，相對于（a)通式（I) 表示的金屬馨合物100重量份而言，化）重均分子量為1000W上的聚合物的含量在5~60 重量份的范圍內。通過使聚合物的含量為60重量份W下，漏電流減少效果變得更加顯著。 更優(yōu)選的范圍是，相對于（a)通式（1)表示的金屬馨合物100重量份而言，化）重均分子量 為1000W上的聚合物的含量在10~60重量份的范圍內。通過使聚合物的含量為10重量 份W上，可W在不增加工藝數(shù)的情況下確保對于減少漏泄來說所必需的膜厚。更優(yōu)選的范 圍是，相對于（a)通式（1)表示的金屬馨合物100重量份而言，化）重均分子量為1000W 上的聚合物的含量在10~30重量份的范圍內。通過使聚合物的含量為30重量份W下，闊 值電壓的減少效果變得更加顯著。
[0099] 作為化）重均分子量為1000 W上的聚合物，優(yōu)選在重復單元中具有選自徑基、娃 燒醇基、簇基、氨基及琉基中的至少一種基團。所述官能團在組合物的熱固化時與金屬馨合 物反應，因此可W抑制漏電流，形成耐溶劑性也優(yōu)異的牢固的膜。作為所述聚合物，具體而 言可舉出纖維素、聚環(huán)氧乙燒、聚硅氧烷、聚酷亞胺、聚乙締醇、聚乙締基苯酪、聚苯乙締、聚 酷胺、聚碳酸醋、氣取代聚乙締及它們的衍生物、聚丙締酸衍生物、聚甲基丙締酸衍生物、及 含有它們的共聚物等。所述物質中，聚硅氧烷的絕緣性高，可W進行低溫固化，故較優(yōu)選。
[0100] 上述聚硅氧烷中，特別優(yōu)選至少W通式（3)表示的硅烷化合物及通式（4)表示的 含有環(huán)氧基的硅烷化合物作為共聚成分的聚硅氧烷。 陽W] R3mSi(0R4)4m做
[0102] 此處，R3表示氨、烷基、雜環(huán)基、芳基或鏈締基，存在復數(shù)個R3時，各個R3可W相同 也可W不同。R4表示氨、烷基、酷基或芳基，存在復數(shù)個R4時，各個R4可W相同也可W不同。 m表示1~3的整數(shù)。 陽10引尺5北掛(0護)4。1 (4)
[0104] 此處，R5表示在鏈的一部分上具有1個W上環(huán)氧基的烷基，存在復數(shù)個R5時，各個 R5可W相同也可W不同。R6表示氨、烷基、雜環(huán)基、芳基或鏈締基，存在復數(shù)個R6時，各個R6 可W相同也可W不同。R7表示氨、烷基、酷基或芳基，存在復數(shù)個R7時，各個R7可W相同也 可W不同。1表示0~2的整數(shù)，n表示1或2。其中，1+n《3。
[0105] R3~R7中的烷基、酷基及芳基的說明與上述R2中的說明相同。
[0106] 所謂r3及r6中的雜環(huán)基，表示例如由化喃環(huán)、贓晚環(huán)、酷胺環(huán)等在環(huán)內具有碳W外 的原子的脂肪族環(huán)衍生的基團，其可W具有取代基也可W不具有取代基。雜環(huán)基的碳原子 數(shù)沒有特別限定，優(yōu)選為2W上20W下的范圍。 陽107]所謂R3及R6中的鏈締基，表示例如乙締基、締丙基、下二締基等含有雙鍵的不飽和 脂肪族控基，其可W具有取代基也可W不具有取代基。鏈締基的碳原子數(shù)沒有特別限定，優(yōu) 選為2W上20W下的范圍。 陽10引所謂R5中的在鏈的一部分上具有環(huán)氧基的烷基，表示在鏈的一部分上具有由相鄰 的2個碳原子與1個氧原子鍵合而形成的3元環(huán)酸結構的烷基。其包括下述情況中的任一 種：利用烷基中主鏈（其為碳連接最長的部分）上含有的相鄰的2個碳原子的情況，和利用 主鏈W外的部分即所謂的側鏈上含有的相鄰的2個碳原子的情況。
[0109]通過引入通式（3)表示的硅烷化合物作為聚硅氧烷的共聚成分，能夠在保持可見 光區(qū)域中的高透明性的同時提高使用組合物而得到的膜的絕緣性、耐化學藥品性，并且能 夠形成絕緣膜內的阱（其是將組合物適用于FET的柵極絕緣膜時產生滯后的原因）較少的 絕緣膜。
[0110] 此外，若通式（3)中的m個r3中的至少1個為芳基，則絕緣膜的柔軟性提高，能夠 防止裂紋產生，故優(yōu)選。 陽111] 作為本發(fā)明中使用的通式（3)表示的硅烷化合物，具體可舉出乙締基=甲氧基娃 燒、乙締基二乙氧基硅烷、3-甲基丙締酷氧基丙基二甲氧基硅烷、3-甲基丙締酷氧基丙基 =乙氧基硅烷、甲基=甲氧基硅烷、甲基=乙氧基硅烷、乙基=甲氧基硅烷、乙基=乙氧基 硅烷、丙基二甲氧基硅烷、丙基二乙氧基硅烷、己基二甲氧基硅烷、十八烷基二甲氧基硅烷、 十八烷基=乙氧基硅烷、苯基=甲氧基硅烷、苯基=乙氧基硅烷、對甲苯基=甲氧基硅烷、 芐基=甲氧基硅烷、a-糞基=甲氧基硅烷、0-糞基=甲氧基硅烷、3-氨基丙基=乙氧基 硅烷、N- (2-氨基乙基）-3-氨基丙基S甲氧基硅烷、3-氯丙基S甲氧基硅烷、二甲基二甲氧 基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、二苯基二甲氧基硅烷、二苯基二乙氧基硅烷、甲基苯基二甲 氧基硅烷、甲基乙締基二甲氧基硅烷、甲基乙締基二乙氧基硅烷、3-氨基丙基甲基二甲氧基 硅烷、N- (2-氨基乙基）-3-氨基丙基甲基^甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基^甲氧基硅烷、3-氯 丙基甲基二乙氧基硅烷、環(huán)己基甲基二甲氧基硅烷、3-甲基丙締酷氧基丙基二甲氧基硅烷、 十八烷基甲基二甲氧基硅烷、二甲氧基硅烷、二氣乙基二甲氧基硅烷、二氣乙基二乙氧基娃 燒、=氣乙基=異丙氧基硅烷、=氣丙基=甲氧基硅烷、=氣丙基=乙氧基硅烷、=氣丙基 =異丙氧基硅烷、十屯氣癸基=甲氧基硅烷、十屯氣癸基=乙氧基硅烷、十屯氣癸基=異丙 氧基硅烷、十=氣辛基=乙氧基硅烷、十=氣辛基=甲氧基硅烷、十=氣辛基=異丙氧基娃 燒、二氣乙基甲基二甲氧基硅烷、二氣乙基甲基二乙氧基硅烷、二氣乙基甲基二異丙氧基娃 燒、=氣丙基甲基二甲氧基硅烷、=氣丙基甲基二乙氧基硅烷、=氣丙基甲基二異丙氧基娃 燒、十屯氣癸基甲基二甲氧基硅烷、十屯氣癸基甲基二乙氧基硅烷、十屯氣癸基甲基二異丙 氧基硅烷、十=氣辛基甲基二甲氧基硅烷、十=氣辛基甲基二乙氧基硅烷、十=氣辛基甲基 二異丙氧基硅烷、=氣乙基乙基二甲氧基硅烷、=氣乙基乙基二乙氧基硅烷、=氣乙基乙基 二異丙氧基硅烷、=氣丙基乙基二甲氧基硅烷、=氣丙基乙基二乙氧基硅烷、=氣丙基乙基 二異丙氧基硅烷、十屯氣癸基乙基二甲氧基硅烷、十屯氣癸基乙基二乙氧基硅烷、十屯氣癸 基乙基二異丙氧基硅烷、十=氣辛基乙基二乙氧基硅烷、十=氣辛基乙基二甲氧基硅烷、 十=氣辛基乙基二異丙氧基硅烷、對=氣苯基=乙氧基硅烷等。
[0112] 上述硅烷化合物中，為了提高交聯(lián)密度，提高耐化學藥品性和絕緣特性，優(yōu)選使用 Hl= 1的乙締基二甲氧基硅烷、乙締基二乙氧基硅烷、甲基二甲氧基硅烷、甲基二乙氧基娃 燒、乙基=甲氧基硅烷、乙基=乙氧基硅烷、丙基=甲氧基硅烷、丙基=乙氧基硅烷、己基= 甲氧基硅烷、十八烷基二甲氧基硅烷、十八烷基二乙氧基硅烷、苯基二甲氧基硅烷、對甲苯 基=甲氧基硅烷、芐基=甲氧基硅烷、a-糞基=甲氧基硅烷、0 -糞基=甲氧基硅烷、=氣 乙基=甲氧基硅烷、=甲氧基硅烷、對=氣苯基=乙氧基硅烷。此外，從量產性的觀點考慮， 特別優(yōu)選使用R2為甲基的乙締基=甲氧基硅烷、甲基=甲氧基硅烷、乙基=甲氧基硅烷、 丙基二甲氧基硅烷、己基二甲氧基硅烷、十八烷基二甲氧基硅烷、十八烷基二甲氧基硅烷、 苯基=甲氧基硅烷、對甲苯基=甲氧基硅烷、芐基=甲氧基硅烷、a-糞基=甲氧基硅烷、 P-糞基二甲氧基硅烷、二氣乙基二甲氧基硅烷、二甲氧基硅烷。
[0113] 此外，作為優(yōu)選例，可舉出組合2種W上的通式（3)表示的硅烷化合物。其中，通 過組合具有烷基的硅烷化合物和具有芳基的硅烷化合物，可W同時實現(xiàn)高絕緣性和用于防 止裂紋的柔軟性，故特別優(yōu)選。
[0114] 通過引入通式（4)表示的含有環(huán)氧基的硅烷化合物作為聚硅氧烷的共聚成分，可 W使向絕緣膜上涂布抗蝕劑、半導體涂液的涂布性良好。
[0115] 作為本發(fā)明中使用的通式（4)表示的含有環(huán)氧基的硅烷化合物，具體可舉出 丫-環(huán)氧丙氧基丙基S甲氧基硅烷、0 -(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基S甲氧基硅烷、丫 -環(huán)氧 丙氧基丙基S乙氧基硅烷、0 - (3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基S乙氧基硅烷、丫-環(huán)氧丙氧基丙 基S異丙氧基硅烷、0 - (3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基S異丙氧基硅烷、丫 -環(huán)氧丙氧基丙基甲 基二甲氧基硅烷、6-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基甲基二甲氧基硅烷、丫-環(huán)氧丙氧基丙基甲 基二乙氧基硅