烷、0 - (3，4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基甲基二乙氧基硅烷、丫-環(huán)氧丙氧基丙基甲 基二異丙氧基硅烷、6-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基甲基二異丙氧基硅烷、丫-環(huán)氧丙氧基丙 基乙基二甲氧基硅烷、0-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基乙基二甲氧基硅烷、丫-環(huán)氧丙氧基丙 基乙基二乙氧基硅烷、0-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基乙基二乙氧基硅烷、丫-環(huán)氧丙氧基丙 基乙基^異丙氧基硅烷、0 -(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基乙基^異丙氧基硅烷、0 -(3,4-環(huán) 氧基環(huán)己基）丙基=甲氧基硅烷、丫-環(huán)氧丙氧基乙基=甲氧基硅烷等。
[0116] 上述物質(zhì)中，為了提高交聯(lián)密度、提高耐化學藥品性和絕緣特性，優(yōu)選使用n= 1、 1=0的丫-環(huán)氧丙氧基丙基S甲氧基硅烷、0-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基S甲氧基硅烷、 丫 -環(huán)氧丙氧基丙基二乙氧基硅烷、0 - (3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基二乙氧基硅烷、丫 -環(huán)氧 丙氧基丙基S異丙氧基硅烷、0-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）乙基S異丙氧基硅烷、0-(3,4-環(huán) 氧基環(huán)己基）丙基=甲氧基硅烷、丫-環(huán)氧丙氧基乙基=甲氧基硅烷。此外，從量產(chǎn)性的觀 點考慮，特別優(yōu)選使用R7為甲基的丫-環(huán)氧丙氧基丙基S甲氧基硅烷、0-(3,4-環(huán)氧基環(huán) 己基）乙基二甲氧基硅烷、0 - (3,4-環(huán)氧基環(huán)己基）丙基二甲氧基硅烷、丫-環(huán)氧丙氧基乙 基=甲氧基硅烷。
[0117] 上述聚硅氧烷除了通式（3)及（4)表示的硅烷化合物W外還可W含有其他硅烷化 合物作為共聚成分。作為其他硅烷化合物，可舉出二乙氧基二甲基硅烷、二乙氧基二苯基娃 燒、四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷等。
[0118] 此外，聚硅氧烷中，來自通式（4)表示的含有環(huán)氧基的硅烷化合物的構成單元的 含量優(yōu)選相對于作為聚硅氧烷的共聚成分的硅烷化合物的全部構成單元為0. 1摩爾％~ 40摩爾％。若為0. 1摩爾％ ^上，則能夠得到抑制了有機半導體涂液的凹陷的良好的涂布 性，更優(yōu)選為1摩爾％W上。
[0119] 上述聚硅氧烷可W通過例如W下方法得到。將包括含有環(huán)氧基的硅烷化合物在內(nèi) 的全部硅烷化合物溶解在溶劑中，向其中經(jīng)1~180分鐘添加酸催化劑及水后，于室溫~ 80°C進行水解反應1~180分鐘。水解反應時的溫度更優(yōu)選為室溫~55°C。將該反應液于 50°CW上、溶劑的沸點W下的溫度下加熱1~100小時，進行縮合反應，由此可W得到含有 環(huán)氧基的聚硅氧烷。在該情況下，為了在通式（4)表示的含有環(huán)氧基的硅烷化合物的環(huán)氧 基上加成水而形成二醇，除了必須加入與全部硅烷化合物中的烷氧基等量的水W外，還必 須添加與環(huán)氧基等量W上的水。
[0120] 對于組合物含有（a)通式（1)表示的金屬馨合物和化）重均分子量為1000W上 的聚合物，可W通過單獨進行下述分析手段或組合復數(shù)種下述分析手段來判定：元素分析、 核磁共振分析、紅外光譜分析、X射線光電子能譜法等各種有機?無機分析手段。 陽121] 作為（C)溶劑沒有特別限定，具體可舉出乙二醇單甲基酸、乙二醇單乙酸、丙二醇 單甲基酸、丙二醇單乙基酸、丙二醇單正下基酸、丙二醇單叔下基酸、乙二醇二甲基酸、乙二 醇二乙基酸、乙二醇二下基酸、二乙二醇乙基甲基酸等酸類，乙二醇單乙酸乙酸醋、丙二醇 單甲酸乙酸醋、乙酸丙醋、乙酸下醋、乙酸異下醋、乙酸3-甲氧基下醋、乙酸3-甲基-3-甲 氧基下醋、乳酸甲醋、乳酸乙醋、乳酸下醋等乙酸醋類，乙酷丙酬、甲基丙基酬、甲基下基酬、 甲基異下基酬、環(huán)戊酬、2-庚酬等酬類，下醇、異下醇、戊醇、4-甲基-2-戊醇、3-甲基-2-下 醇、3-甲基-3-甲氧基下醇、二丙酬醇等醇類，甲苯、二甲苯等芳香族控類。所述溶劑單獨使 用或使用2種W上均可。
[0122] 本發(fā)明的組合物優(yōu)選進一步含有（d)4官能硅烷、或使4官能硅烷進行水解、縮合 而得到的4官能硅烷低聚物（W下，稱作"4官能硅烷或4官能硅烷低聚物")。通過含有4官 能硅烷或4官能硅烷低聚物，可W于更低的溫度形成高密度的膜。作為4官能硅烷，具體而 言可舉出四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四異丙氧基硅烷、四叔下氧基硅烷等。作為4官能 硅烷低聚物，具體而言可舉出Meth}dSilicate51、MethylSilicate53A、Eth}dSilicate 40、Eth}dSilicate48、EMS485(W上為商品名，COLCOATCO. ,LTD.制）、MSilicate51(商 品名，多摩化學工業(yè)（株）制）等。
[0123] 本發(fā)明的組合物還可W進一步含有（e)粒子。從絕緣膜的平坦性的觀點考慮，（e) 粒子的粒徑優(yōu)選為IOOnmW下，進一步優(yōu)選為50nmW下。所謂粒徑，是指W數(shù)平均計的平 均粒徑，將粒子干燥后進行燒結，測定得到的粒子的比表面積，之后將粒子假設為球，由比 表面積求出平均粒徑。所使用的設備沒有特別限定，可使用ASAP2020 (Micromeritics公司 審IJ)等。此外，從與聚硅氧烷的相容性的觀點考慮，優(yōu)選為溶膠狀態(tài)。作為（e)粒子的具體 例，可舉出二氧化娃粒子、二氧化鐵粒子、鐵酸領粒子、氧化錯粒子、硫酸領粒子等。
[0124] 本發(fā)明的組合物還可W進一步含有（f)利用光產(chǎn)生酸的化合物（W下，稱為"光酸 產(chǎn)生劑")。作為（f)光酸產(chǎn)生劑，可舉出鐵鹽化合物、含有面素的化合物、重氮酬化合物、重 氮甲燒化合物、諷化合物、橫酸醋化合物、橫酷亞胺化合物等為例。
[0125] 作為鐵鹽化合物的具體例，可舉出重氮鐵鹽、錠鹽、艦鐵鹽、梳鹽、鱗鹽、氧鐵鹽 等。作為優(yōu)選的鐵鹽，可舉出二苯基艦鐵S氣甲橫酸鹽（diphenyliodoniumtriflate)、 二苯基艦鐵巧橫酸鹽、二苯基艦鐵十二烷基苯橫酸鹽、=苯基梳=氣甲橫酸鹽（商品名 "TPS-105"，MidoriKagakuCo.，Ltd.制）、4-叔下基苯基二苯基梳S氣甲橫酸鹽（商品 名"WPAG-339"，和光純藥工業(yè)（株）制）、4-甲氧基苯基二苯基梳S氣甲橫酸鹽（商品名 "WPAG-370"，和光純藥工業(yè)（株）制）、全氣下基橫酸S苯基梳鹽（tri地en^sulfonium nonaflate)(商品名"TPS-109"，MidoriKagakuCo. ,Ltd.制）、S苯基梳六氣錬酸鹽、S苯 基梳糞橫酸鹽、（徑基苯基）芐基甲基梳甲苯橫酸鹽等。
[0126] 作為含有面素的化合物的具體例，可舉出含有面代烷基的控化合物、含有面代燒 基的雜環(huán)狀化合物等。作為優(yōu)選的含有面素的化合物，可舉出1,1-雙（4-氯苯基）-2,2， 2-=氯乙燒、2-苯基-4,6-雙氯甲基）-S-=嗦、2-糞基-4,6-雙氯甲基）-S- = 嗦等。 陽127] 作為重氮酬化合物的具體例，可舉出1,3-二酬-2-重氮化合物、重氮苯釀化合物、 重氮糞釀化合物等。優(yōu)選的重氮酬化合物可舉出1,2-糞釀二疊氮基-4-橫酸與2,2,3,4， 4'-五徑基二苯甲酬形成的醋、1，2-糞釀二疊氮基-4-橫酸與1，1，I-S(4-?基苯基）乙 燒形成的醋等。
[0128] 作為重氮甲燒化合物的具體例，可舉出雙（S氣甲基橫酷基）重氮甲燒、雙（環(huán)己 基橫酷基）重氮甲燒、雙（苯基橫酷基）重氮甲燒、雙（對甲苯基橫酷基）重氮甲燒、雙（2， 4-二甲苯基橫酷基）重氮甲燒、雙（對氯苯基橫酷基）重氮甲燒、甲基橫酷基-對甲苯橫酷 基重氮甲燒、環(huán)己基橫酷基（1,1-二甲基乙基橫酷基）重氮甲燒、雙（1,1-二甲基乙基橫酷 基）重氮甲燒、苯基橫酷基（苯甲酯基）重氮甲燒等。
[0129] 作為諷化合物的具體例，可舉出0-酬諷化合物、0-橫酷基諷化合物等。作為 優(yōu)選的化合物，可舉出4-S苯甲酯甲基諷、2,4,6-S甲基苯基苯甲酯甲基諷（mesityl 地enacylsul化ne)、雙（苯基橫酷基）甲燒等。
[0130] 作為橫酸醋化合物的例子，可舉出烷基橫酸醋、面代烷基橫酸醋、芳基橫酸醋、亞 氨基橫酸醋等。作為具體例，可舉出苯偶姻甲苯橫酸醋化enzointosylate)、焦倍酪甲橫酸 醋（pyrogallolt;rimes5date)、9，10-二乙氧基蔥-2-橫酸硝基芐基醋等。
[0131] 作為橫酷亞胺化合物的具體例，可舉出N-(S氣甲基橫酷氧基）下二酷亞胺、 N-(S氣甲基橫酷氧基）鄰苯二甲酯亞胺、N-(S氣甲基橫酷氧基）二苯基馬來酷亞胺、 N-(S氣甲基橫酷氧基）雙環(huán)[2.2. 1]庚-5-締-2,3-二甲酯亞胺、N-(S氣甲基橫酷 氧基）-7-氧雜雙環(huán)[2.2. 1]庚-5-締-2, 3-二甲酯亞胺、N-(S氣甲基橫酷氧基）雙環(huán) [2. 2. 1]庚燒-5,6-氧基-2, 3-二甲酯亞胺、N- (S氣甲基橫酷氧基）糞基二甲酯亞胺、 N-(精腦橫酷氧基）下二酷亞胺、N-(精腦橫酷氧基）鄰苯二甲酯亞胺、N-(精腦橫酷氧基） 二苯基馬來酷亞胺、N-(精腦橫酷氧基）雙環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二甲酯亞胺、N-(精 腦橫酷氧基）-7-氧雜雙環(huán)[2.2. 1]庚-5-締-2,3-二甲酯亞胺、N-(精腦橫酷氧基）雙環(huán) [2. 2.U庚燒-5，6-氧基-2，3-二甲酯亞胺、N-(精腦橫酷氧基）糞基二甲酯亞胺、N- (4-甲 基苯基橫酷氧基）下二酷亞胺、N-(4-甲基苯基橫酷氧基）鄰苯二甲酯亞胺、N-(4-甲基苯 基橫酷氧基）二苯基馬來酷亞胺、N-(4-甲基苯基橫酷氧基）雙環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2， 3-二甲酯亞胺、N-(4-甲基苯基橫酷氧基）-7-氧雜雙環(huán)[2.2. 1]庚-5-締-2,3-二甲酯亞 胺、N-(4-甲基苯基橫酷氧基）雙環(huán)[2.2. 1]庚燒-5,6-氧基-2,3-二甲酯亞胺、N-(4-甲基 苯基橫酷氧基）糞基二甲酯亞胺、N-(2-S氣甲基苯基橫酷氧基）下二酷亞胺、N-(2-S氣 甲基苯基橫酷氧基）鄰苯二甲酯亞胺、N-(2-S氣甲基苯基橫酷氧基）二苯基馬來酷亞胺、 N-(2-S氣甲基苯基橫酷氧基）雙環(huán)[2.2. 1]庚-5-締-2,3-二甲酯亞胺、N-(2-S氣甲基 苯基橫酷氧基）-7-氧雜雙環(huán)[2.2. 1]庚-5-締-2,3-二甲酯亞胺、N-(2-S氣甲基苯基橫 酷氧基）雙環(huán)[2.2. 1]庚燒-5,6-氧基-2,3-二甲酯亞胺、N-(2-S氣甲基苯基橫酷氧基） 糞基二甲酯亞胺、N-(4-氣苯基橫酷氧基）下二酷亞胺、N-(2-氣苯基橫酷氧基）鄰苯二甲 酷亞胺、N-(4-氣苯基橫酷氧基）二苯基馬來酷亞胺、N-(4-氣苯基橫酷氧基）雙環(huán)巧.2. 1] 庚-5-締-2, 3-二甲酯亞胺、N-(4-氣苯基橫酷氧基）-7-氧雜雙環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2， 3-二甲酯亞胺、N-(4-氣苯基橫酷氧基）雙環(huán)[2.2. 1]庚燒-5,6-氧基-2,3-二甲酯亞胺、 N-(4-氣苯基橫酷氧基）糞基二甲酯亞胺等。
[0132] 除上述化合物W外，作為（f)光酸產(chǎn)生劑，可舉出5-降冰片締-2, 3-二簇酷亞 胺基S氣甲橫酸醋（商品名"NDI-105"，MidoriKagakuCo. ,Ltd.制）、5-降冰片締-2， 3-二簇酷亞胺基甲苯橫酸醋（商品名"NDI-101"，MidoriKagakuCo. ,Ltd.制）、4-甲基 苯基橫酷基氧基亞氨基-a- (4-甲氧基苯基）乙臘（商品名"PAI-101"，MidoriKagaku Co.，Ltd.制）、S氣甲基橫酷基氧基亞氨基-a-(4-甲氧基苯基）乙臘（商品名"PAI-105"， MidoriKagakuCo.，Ltd.制）、9-精腦橫酷基氧基亞氨基-a-4-甲氧基苯基乙臘（商品 名"PAI-106"，MidoriKagakuCo. ,Ltd.制）、1，8-糞二甲酯亞胺基下燒橫酸醋（商品名 "NAI-1004"，MidoriKagakuCo. ,Ltd.制）、1，8-糞二甲酯亞胺基甲苯橫酸醋（商品名 "NAI-l〇r'，MidoriKagakuCo. ,Ltd.制）、1，8-糞二甲酯亞胺基S氣甲橫酸醋（商品名 "NAI-105"，MidoriKagakuCo. ,Ltd.制）、1，8-糞二甲酯亞胺基九氣下燒橫酸醋（商品名 "NAI-109"，MidoriKagakuCo. ,Ltd.制）等。上述物質(zhì)中，特別優(yōu)選TPS-105、WPAG-339、 WPAG-370、TPS-109、二苯基艦鐵巧橫酸鹽、NDI-105、PAI-101、NAI-105。
[0133] 進而優(yōu)選將（f)光酸產(chǎn)生劑與（g)敏化劑組合使用。因為光退色反應的原因，（g) 敏化劑不產(chǎn)生著色，所W即使殘留在柵極絕緣膜中也能夠維持高透明性，并且能夠?qū)崿F(xiàn)高 靈敏度化。作為敏化劑，沒有特別限定，可使用已知的材料，特別優(yōu)選為9,10-二取代蔥系 化合物。 陽134] 作為9,10-二取代蔥系化合物，可舉出9,10-二苯基蔥、9,10-雙（4-甲氧基苯基） 蔥、9,10-雙苯基甲娃烷基）蔥、9,10-二甲氧基蔥、9,10-二乙氧基蔥、9,10-二丙氧基 蔥、9,10-二下氧基蔥、9,10-二戊氧基蔥、2-叔下基-9,10-二下氧基蔥、9,10-雙（S甲基 甲娃烷基乙烘基）蔥等。上述物質(zhì)中，特別優(yōu)選的化合物為9,10-二甲氧基蔥、9,10-二乙 氧基恩、9,10- ^丙氧基恩、9,10- ^了氧基恩。
[0135] 本發(fā)明的組合物根據(jù)需要可W含有粘度調(diào)整劑、表面活性劑、穩(wěn)定劑等。 陽136] 作為表面活性劑，例如，可舉出氣系表面活性劑、有機娃系表面活性劑、聚環(huán)氧燒 系表面活性劑、丙締酸系表面活性劑等。 陽137] 作為氣系表面活性劑的具體例，可舉出1，1，2, 2-四氣辛基（1，1，2, 2-四氣丙基） 酸、1，1，2,2-四氣辛基己基酸、八乙二醇二（1，1，2,2-四氣下基）酸、六乙二醇（1，1，2,2， 3, 3-六氣戊基）酸、八丙二醇二（1，1，2, 2-四氣下基）酸、六丙二醇二（1，1，2, 2, 3, 3-六 氣戊基）酸、全氣十二烷基橫酸鋼、1，1，2, 2,8,8,9,9,10,10-十氣十二燒、1，1，2, 2, 3, 3-六 氣癸燒、N-巧-(全氣辛燒橫酷胺）丙基]-N，N'-二甲基-N-簇基亞甲基錠甜菜堿、全氣燒 基橫酷胺丙基S甲基錠鹽、全氣烷基-N-乙基橫酷基甘氨酸鹽、憐酸雙（N-全氣辛基橫酷 基-N-乙基氨基乙基）醋、單全氣烷基乙基憐酸醋等。此外，作為市售品，可舉出Mega化C F142D、同F(xiàn)172、同F(xiàn)173、同F(xiàn)183( W上，大日本油墨化學工業(yè)（株）制）、Eftop EF301、同 303、同352(新秋田化成（株）制）、Fluorad FC-430、同F(xiàn)C-43U住友3M(株）制））、As址i Guard AG710、Su;rflon S-382、同SC-101、同SC-102、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同 SC-106(旭硝子（株）制）、BM-1000、BM-1100(裕商（株）制）、NBX-15、FTX-218((株）