43—起配置在例如片狀基板FB的搬送路徑桶機(jī)構(gòu)DRM的圓筒構(gòu)件CYL與處理滾筒32之間。預(yù)備加工裝置44具有例如第一加工裝置44A、第二加工裝置44B及第三加工裝置44C，一連串預(yù)備加工步驟是分擔(dān)進(jìn)行。
[0114]上述處理裝置40之中，例如TFT層形成裝置42的第一形成裝置42A、第一洗凈裝置41A、第二洗凈裝置41B、發(fā)光層形成裝置45的第三形成裝置45C是沿著第I方向(本實(shí)施形態(tài)中第I方向?yàn)閄方向)配置。又，TFT層形成裝置42的第二形成裝置42B、圓筒構(gòu)件CYL、處理滾筒32、發(fā)光層形成裝置45的第二形成裝置45B是沿著X方向配置。再者，TFT層形成裝置42的第三形成裝置42C、干燥裝置43、發(fā)光層形成裝置45的第一形成裝置45A是沿著X方向配置。
[0115]又，例如TFT層形成裝置42的第一形成裝置42A、圓筒構(gòu)件CYL、第三形成裝置42C是沿著第2方向(本實(shí)施形態(tài)中為與X方向交叉的Y方向)配置。又，例如洗凈裝置41A及41B與干燥裝置43是沿著Y方向配置。又，預(yù)備加工裝置44與層壓裝置46是沿著Y方向配置。再者，發(fā)光層形成裝置45的第一形成裝置45A、處理滾筒32、第三形成裝置45C是沿著Y方向配置。如上述，搬送裝置30及處理裝置40是沿著X方向及Y方向配置，因此密集配置成從X方向及Y方向觀察時(shí)各裝置彼此重疊部分變多。
[0116]以上述方式構(gòu)成的基板處理裝置FPA是借助控制部CONT的控制以滾動(dòng)條方式制造有機(jī)EL組件、液晶顯示組件等顯示組件(電子組件)。以下，說(shuō)明使用上述構(gòu)成的基板處理裝置FPA制造顯示組件的步驟。
[0117]首先，將在軸構(gòu)件11卷繞成滾動(dòng)條狀的帶狀的片狀基板FB安裝于基板供應(yīng)部SU的供應(yīng)端口 10內(nèi)的支承部12。又，將卷繞在軸構(gòu)件13的帶狀的保護(hù)基板PB安裝于基板供應(yīng)部SU的供應(yīng)端口 10內(nèi)的支承部14。再者，將回收用的軸構(gòu)件21安裝于基板回收部CL的回收端口 20內(nèi)的支承部22。
[0118]控制部CONT在此狀態(tài)下通過(guò)支承部12使軸構(gòu)件11旋轉(zhuǎn)，從基板供應(yīng)部SU送出該片狀基板FB。從基板供應(yīng)部SU送出的片狀基板FB，是從基板處理部PR的供應(yīng)口 SUa供應(yīng)至腔室CB內(nèi)?？刂撇緾ONT將供應(yīng)至腔室CB內(nèi)的片狀基板FB搬送至搬送裝置30并同時(shí)借助各處理裝置40對(duì)該片狀基板FB進(jìn)行處理。此外，預(yù)先于在軸構(gòu)件11卷繞成滾動(dòng)條狀的片狀基板FB的前端部及終端部，粘貼用以使片狀基板FB往處理裝置FPA的自動(dòng)裝載變?nèi)菀椎膶?dǎo)頭片亦可。
[0119]借助此動(dòng)作，供應(yīng)至基板處理部PR的片狀基板FB是借助第一洗凈裝置41A洗凈，借助導(dǎo)引滾筒Rl導(dǎo)引至桶機(jī)構(gòu)DRM的第一圓筒部CY1。片狀基板FB，是以被處理面Fp分別朝向TFT層形成裝置42的第一形成裝置42A、第二形成裝置42B及第三形成裝置42C的方式，以豎立狀態(tài)卷繞纏掛在第一圓筒部CYl。在卷繞纏掛在第一圓筒部CYl的片狀基板FB的被處理面Fp，借助該TFT層形成裝置42(例如，處理部Al，BI及Cl)形成TFT組件或配線等。
[0120]經(jīng)過(guò)第一圓筒部CYl的片狀基板FB是從干燥裝置43的+Z側(cè)的插入口43a供應(yīng)至干燥裝置43的內(nèi)部，例如施加加熱處理等干燥處理。干燥處理后的片狀基板FB是從干燥裝置43的+Z側(cè)的排出口43c搬出。搬出的片狀基板FB是借助例如導(dǎo)引滾筒R2往一Y方向?qū)б?，借助?dǎo)引滾筒R3往一 X方向?qū)б?。?jīng)過(guò)導(dǎo)引滾筒R3的片狀基板FB是借助導(dǎo)引滾筒R4往斜下方向(+X方向且往一 Z側(cè)傾斜的方向)導(dǎo)引，借助導(dǎo)引滾筒R5往一 X方向?qū)б?br>[0121]經(jīng)過(guò)導(dǎo)引滾筒R5的片狀基板FB是以豎立狀態(tài)卷繞纏掛在桶機(jī)構(gòu)DRM的第二圓筒部CY2。在卷繞纏掛在第二圓筒部CY2的片狀基板FB的被處理面Fp，借助該TFT層形成裝置42(例如，處理部A2，B2及C2)重疊形成必要層的TFT組件或配線等。
[0122]經(jīng)過(guò)第二圓筒部CY2的片狀基板FB是從干燥裝置43的一Z側(cè)的插入口 43b供應(yīng)至干燥裝置43的內(nèi)部，例如再次施加加熱處理等干燥處理。干燥處理后的片狀基板FB是從干燥裝置43的一Z側(cè)的排出口43d搬出。搬出的片狀基板FB是借助例如導(dǎo)引滾筒R6供應(yīng)至預(yù)備加工裝置44。預(yù)備加工裝置44，在例如第一加工裝置44A?第三加工裝置44C，在片狀基板FB形成絕緣膜或電洞注入層或電子注入層等。
[0123]預(yù)備加工后的片狀基板FB是通過(guò)例如導(dǎo)引滾筒R7導(dǎo)引至處理滾筒32。片狀基板FB，是以被處理面Fp分別朝向發(fā)光層形成裝置45的第一形成裝置45A、第二形成裝置45B及第三形成裝置45C的方式，以豎立狀態(tài)卷繞纏掛在處理滾筒32。在卷繞纏掛在處理滾筒32的片狀基板FB的被處理面Fp，借助該發(fā)光層形成裝置45形成發(fā)光層等。
[0124]經(jīng)過(guò)處理滾筒32的片狀基板FB是供應(yīng)至層壓裝置46，在被處理面Fp粘貼保護(hù)基板PB。粘貼保護(hù)基板PB后的片狀基板FB是從例如回收口 CLa回收至基板回收部CL?；厥罩粱寤厥詹緾L的片狀基板FB是在回收端口 20內(nèi)的軸構(gòu)件21卷繞成滾動(dòng)條狀。在軸構(gòu)件21卷繞有既定量的片狀基板FB后，將片狀基板FB例如切斷，將卷繞有片狀基板FB的軸構(gòu)件21從支承部22移除。在該支承部22安裝例如未卷繞片狀基板FB的新的軸構(gòu)件21。
[0125]控制部CONT是借助進(jìn)行上述處理，對(duì)片狀基板FB的被處理面Fp形成組件。
[0126]如上述，根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，在片狀基板FB卷繞在桶機(jī)構(gòu)DRM的第一圓筒部CYl的外周面的一部分后，該片狀基板FB的搬送方向轉(zhuǎn)換向第二圓筒部CY2，該片狀基板FB卷繞在第二圓筒部CY2，對(duì)卷繞在第一圓筒部CYl的一部分的被處理面Fp進(jìn)行第一處理且對(duì)卷繞在第二圓筒部CY2的一部分的被處理面Fp進(jìn)行第二處理，因此可對(duì)片狀基板FB高密度進(jìn)行處理。由此，可謀求基板處理裝置FPA的省空間化。
[0127]此外，在圖5及圖6所示的基板處理裝置FPA，在處理滾筒32，片狀基板FB僅卷繞一次，但與桶機(jī)構(gòu)DRM的圓筒構(gòu)件CYL同樣地，以具備第I圓筒部與第2圓筒部的二段圓筒部構(gòu)成，在各圓筒部卷繞片狀基板FB亦可。再者，此構(gòu)成中，將發(fā)光層形成裝置45配置在第I圓筒部與第2圓筒部亦可。此外，以二段圓筒部構(gòu)成處理滾筒32的情形，如圖7所示的導(dǎo)引滾筒R4，R5，使用各旋轉(zhuǎn)中心軸傾斜的二個(gè)導(dǎo)引滾筒使片狀基板FB折返亦可。
[0128](第五實(shí)施形態(tài))
[0129]接著，說(shuō)明本發(fā)明第五實(shí)施形態(tài)。本實(shí)施形態(tài)中，桶機(jī)構(gòu)的構(gòu)成與第四實(shí)施形態(tài)不同，因此以桶機(jī)構(gòu)的構(gòu)成為中心進(jìn)行說(shuō)明。圖9是顯示本實(shí)施形態(tài)的桶機(jī)構(gòu)DRM2的構(gòu)成的立體圖。
[0130]上述實(shí)施形態(tài)中，是以第一圓筒部CYl與第二圓筒部CY2形成為單一的圓筒構(gòu)件CYL的構(gòu)成為例進(jìn)行說(shuō)明，但第五實(shí)施形態(tài)中，如圖9所示，是顯示第一圓筒部CYl與第二圓筒部CY2形成為不同的圓筒構(gòu)件(例如，第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2)的構(gòu)成。
[0131]如圖9所示，第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2是以在Z方向分離的狀態(tài)配置。第一圓筒構(gòu)件Cl的+Z側(cè)的端面Cla與第二圓筒構(gòu)件C2的一 Z側(cè)的端面C2a彼此面對(duì)。旋轉(zhuǎn)軸SF的中心線是設(shè)成在第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2之間共通(在XY面內(nèi)相同位置)。
[0132]圖9所示的構(gòu)成中，在例如第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2之間，徑不同。具體而言，第一圓筒構(gòu)件Cl的徑Dl大于第二圓筒構(gòu)件C2的徑D2。如上述，借助第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2具有不同的徑，可調(diào)整搬送路徑的路徑長(zhǎng)度。
[0133]旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)ACT2為能使第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2分別獨(dú)立旋轉(zhuǎn)的構(gòu)成亦可。又，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)ACT2為僅使第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2中的一個(gè)旋轉(zhuǎn)的構(gòu)成亦可。
[0134]根據(jù)圖9所示的構(gòu)成，經(jīng)過(guò)例如導(dǎo)引滾筒R21的片狀基板FB卷繞張?jiān)O(shè)在第一圓筒部CY1，通過(guò)導(dǎo)引滾筒(轉(zhuǎn)換部)R22及R23導(dǎo)引至第二圓筒部CY2。卷繞張?jiān)O(shè)在第二圓筒部CY2后的片狀基板FB是通過(guò)導(dǎo)引滾筒R24導(dǎo)引。
[0135]第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2的直徑的差異，可取決于配置在各圓筒構(gòu)件Cl，C2的周圍的各種處理裝置的加工形態(tài)或加工條件、加工部(加工頭部等)的設(shè)置尺寸等產(chǎn)生。
[0136]本實(shí)施形態(tài)中，由于連續(xù)的片狀基板FB從第一圓筒構(gòu)件Cl搬送至第二圓筒構(gòu)件C2，因此各圓筒構(gòu)件Cl，C2的直徑不同的情形，必須與該直徑的差異量對(duì)應(yīng)使旋轉(zhuǎn)速度(rpm)亦產(chǎn)生差異。
[0137]又，在第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2分別、或任一個(gè)圓筒構(gòu)件設(shè)置旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)用的馬達(dá)的情形，在從片狀基板FB的與第一圓筒構(gòu)件Cl接觸的部分至與第二圓筒構(gòu)件C2接觸的部分之間，可賦予既定張力。
[0138]此外，圖9所示的構(gòu)成中，第一圓筒構(gòu)件Cl配置在一Z側(cè)，第二圓筒構(gòu)件C2配置在+Z側(cè)，但并不限于此，第一圓筒構(gòu)件Cl配置在+Z側(cè)，第二圓筒構(gòu)件C2配置在一 Z側(cè)亦可。
[0139](第六實(shí)施形態(tài))
[0140]接著，說(shuō)明本發(fā)明第六實(shí)施形態(tài)。本實(shí)施形態(tài)中，桶機(jī)構(gòu)的構(gòu)成與上述實(shí)施形態(tài)不同，因此以桶機(jī)構(gòu)的構(gòu)成為中心進(jìn)行說(shuō)明。圖1O是顯示本實(shí)施形態(tài)的桶機(jī)構(gòu)DRM3的構(gòu)成的立體圖。
[0141]如圖10所示，本實(shí)施形態(tài)的桶機(jī)構(gòu)DRM3的構(gòu)成是相對(duì)第一圓筒部(加工用基準(zhǔn)面)CYl配置有分離的多個(gè)第二圓筒部(加工用基準(zhǔn)面)。具體而言，桶機(jī)構(gòu)DRM3的構(gòu)成是相對(duì)第一圓筒部CYl配置有二個(gè)第二圓筒部CY21，CY22。本實(shí)施形態(tài)中，第一圓筒部CYl與第二圓筒部CY21，CY22是形成為不同的圓筒構(gòu)件(例如，第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C21，C22)。
[0142]桶機(jī)構(gòu)DRM3的構(gòu)成是在第一圓筒構(gòu)件Cl的+Z側(cè)配置有二個(gè)第二圓筒構(gòu)件C21及C22。二個(gè)第二圓筒構(gòu)件C21及C22是形成為例如相同的徑D4及D5。第一圓筒構(gòu)件Cl的徑D3是形成為大于此等徑D4及D5。
[0143]如圖10所示，第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C21及C22是以在Z方向分離的狀態(tài)配置。第一圓筒構(gòu)件Cl的+Z側(cè)的端面Cla與第二圓筒構(gòu)件C21及C22的一 Z側(cè)的端面C21a及C22a彼此面對(duì)。第一圓筒構(gòu)件Cl及第二圓筒構(gòu)件C21，C22分別具有個(gè)別的旋轉(zhuǎn)軸SFl及SF21，SF22。旋轉(zhuǎn)軸SF1、旋轉(zhuǎn)軸SF21及旋轉(zhuǎn)軸SF22是配置成彼此平行。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)ACT3能控制第一圓筒構(gòu)件Cl、第二圓筒構(gòu)件C21及C22分別獨(dú)立旋轉(zhuǎn)。
[0144]根據(jù)圖10所示的構(gòu)成，經(jīng)過(guò)例如導(dǎo)引滾筒R31的片狀基板FB卷繞張?jiān)O(shè)在第一圓筒部CYl，通過(guò)作為轉(zhuǎn)換部的導(dǎo)引滾筒R32及R33(必要時(shí)設(shè)置追加的導(dǎo)引滾筒)導(dǎo)引至Z方向的上段的第二圓筒部CY2。卷繞張?jiān)O(shè)在第二圓筒部CY2后的片狀基板FB是通過(guò)導(dǎo)引滾筒R34卷繞張?jiān)O(shè)在第二圓筒部CY22，之后，是通過(guò)導(dǎo)引滾筒R35導(dǎo)引。圖10所示的構(gòu)成中，第一圓筒構(gòu)件Cl配置在一Z側(cè)，第二圓筒構(gòu)件C21及C22配置在+Z側(cè)，但并不限于此，第一圓筒構(gòu)件Cl配置在+Z側(cè)，第二圓筒構(gòu)件C21及C22配置在一 Z側(cè)亦可。
[0145](第七實(shí)施形態(tài))
[0146]接著，說(shuō)明本發(fā)明第七實(shí)施形態(tài)。本實(shí)施形態(tài)中，桶機(jī)構(gòu)的構(gòu)成與上述實(shí)施形態(tài)不同，因此以桶機(jī)構(gòu)的構(gòu)成為中心進(jìn)行說(shuō)明。圖11是顯示本實(shí)施形態(tài)的桶機(jī)構(gòu)DRM4的構(gòu)成的立體圖。
[0147]如圖11所示，本實(shí)施形態(tài)的桶機(jī)構(gòu)DRM4，設(shè)有第一圓筒構(gòu)件Cl、第二圓筒構(gòu)件C2及第三圓筒構(gòu)件C3 ο此等第一圓筒構(gòu)件Cl、第二圓筒構(gòu)件C2及第三圓筒構(gòu)件C3是在Z方向三段配置。本實(shí)施形態(tài)中，片狀基板FB是掛架在第一圓筒構(gòu)件Cl的外周面即第一圓筒部CY1、第二圓筒構(gòu)件C2的外周面即第二圓筒部CY2、及第三圓筒構(gòu)件C3的外周面即第三圓筒部CY3，被施加一連串加工處理。
[0148]第一圓筒構(gòu)件Cl、第二圓筒構(gòu)件C2、第三圓筒構(gòu)件C3是以在Z方向分離的狀態(tài)配置。第一圓筒構(gòu)件Cl、第二圓筒構(gòu)件C2、第三圓筒構(gòu)件C3的相鄰的端面彼此面對(duì)。旋轉(zhuǎn)軸SF是設(shè)成在第一圓筒構(gòu)件Cl、第二圓筒構(gòu)件C2、第三圓筒構(gòu)件C3之間共軸(在XY面內(nèi)的位置相同)。
[0149]第一圓筒構(gòu)件Cl、第二圓筒構(gòu)件C2、第三圓筒構(gòu)件C3是形成為例如徑相等。桶機(jī)構(gòu)DRM4具有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)ACT4。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)ACT4為使例如三個(gè)圓筒構(gòu)件C1，C2，C3—體旋轉(zhuǎn)的構(gòu)成、或驅(qū)動(dòng)使其等個(gè)別旋轉(zhuǎn)的構(gòu)成亦可，為使第一圓筒構(gòu)件Cl與第二圓筒構(gòu)件C2分別獨(dú)立旋轉(zhuǎn)的構(gòu)成亦可。又，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)ACT4為以馬達(dá)