等僅使三個(gè)圓筒構(gòu)件CI，C2，C3中的任一個(gè)強(qiáng)制旋轉(zhuǎn)的構(gòu)成亦可。
[0150]根據(jù)圖11所示的構(gòu)成，經(jīng)過(guò)例如導(dǎo)引滾筒R41的片狀基板FB卷繞張?jiān)O(shè)在第一圓筒部CY1，通過(guò)導(dǎo)引滾筒(轉(zhuǎn)換部)R42?R45導(dǎo)引至第二圓筒部CY2。卷繞張?jiān)O(shè)在第二圓筒部CY2后的片狀基板FB是通過(guò)導(dǎo)引滾筒(轉(zhuǎn)換部)R46?R49導(dǎo)引至第三圓筒部CY3。卷繞張?jiān)O(shè)在第三圓筒部CY3后的片狀基板FB是通過(guò)導(dǎo)引滾筒R50導(dǎo)引。如上述，本實(shí)施形態(tài)中，使在第一圓筒部CYl與第二圓筒部CY2之間的片狀基板FB的回繞的構(gòu)成在第二圓筒部CY2與第三圓筒部CY3之間亦同樣地反復(fù)構(gòu)成，因此能使使用桶機(jī)構(gòu)DRM4的處理步驟進(jìn)一步高密度化(處理裝置的設(shè)置底面積的減少)。
[0151]本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述實(shí)施形態(tài)，在不脫離本發(fā)明的趣旨的范圍內(nèi)可施加適當(dāng)變更。
[0152]例如，上述實(shí)施形態(tài)中，假設(shè)在三個(gè)圓筒部CYl，CY2，CY3各自的位置進(jìn)行對(duì)片狀基板的處理、加工，但例如在從第一圓筒部CYl至第二圓筒部CY2之間對(duì)片狀基板FB不進(jìn)行處理亦可。又，在具有作為方向轉(zhuǎn)換部的功能的導(dǎo)引滾筒的處進(jìn)行對(duì)片狀基板的處理亦可。
[0153]如圖12所示，借助導(dǎo)引滾筒R51導(dǎo)引至桶機(jī)構(gòu)DRM5的片狀基板FB卷繞張?jiān)O(shè)在第一圓筒部CYl，通過(guò)導(dǎo)引滾筒R52導(dǎo)引后，在至第二圓筒部CY2的路徑上，卷繞張?jiān)O(shè)在例如旋轉(zhuǎn)軸配置成水平(與XY平面平行)的導(dǎo)引滾筒R53。此處，可在例如導(dǎo)引滾筒R53設(shè)置加熱該片狀基板FB的加熱裝置(加熱干燥用的桶)。亦即，能將導(dǎo)引滾筒R53構(gòu)成為加熱桶。此情形，片狀基板FB之中卷繞張?jiān)O(shè)在導(dǎo)引滾筒R53的部分被加熱。如圖12所示，導(dǎo)引滾筒R53，為了將從導(dǎo)引滾筒R52以豎立狀態(tài)送來(lái)的片狀基板FB以豎立狀態(tài)送入導(dǎo)引滾筒R54，是成為賦予扭曲的配置。
[0154]例如，在使用涂布裝置等作為桶機(jī)構(gòu)DRM5中處理裝置40的情形，較佳為，對(duì)涂布處理后的片狀基板FB進(jìn)行干燥處理等，但在此種情形，可在導(dǎo)引滾筒(加熱處理用的旋轉(zhuǎn)桶)R53繞繞張?jiān)O(shè)涂布步驟后一刻的片狀基板并利用于干燥步驟。干燥處理后的片狀基板FB，是通過(guò)例如導(dǎo)引滾筒R54導(dǎo)引至第二圓筒部CY2，卷繞在第二圓筒部CY2之后，借助導(dǎo)引滾筒R55導(dǎo)引。
[0155]又，上述各說(shuō)明中，以將例如片狀基板FB以豎立狀態(tài)搬送的構(gòu)成為例進(jìn)行說(shuō)明，但并不限于此。例如，在桶機(jī)構(gòu)DRM及處理滾筒32的至少一個(gè)，將片狀基板FB的被處理面Fp以相對(duì)于水平面垂直或傾斜的狀態(tài)搬送，在搬送至桶機(jī)構(gòu)DRM及處理滾筒32的至少一個(gè)的搬送路徑上，將片狀基板FB的被處理面Fp配置成相對(duì)于水平面實(shí)質(zhì)上平行亦可。又，在片狀基板FB的搬送路徑，組合使片狀基板FB豎立的狀態(tài)與橫向的狀態(tài)亦可。
[0156]此外，在將片狀基板FB以非水平姿勢(shì)、例如將片狀基板FB的被處理面Fp以相對(duì)于水平面(XY平面)傾斜既定角度的狀態(tài)搬送或處理的情形，使桶機(jī)構(gòu)DRM的圓筒構(gòu)件CYL、處理滾筒32、導(dǎo)引滾筒Rl，R2，R6，R7，R8等的旋轉(zhuǎn)中心軸相對(duì)于Z方向傾斜即可。
[0157]本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述實(shí)施形態(tài)，在不脫離本發(fā)明的趣旨的范圍內(nèi)可施加適當(dāng)變更。
[0158]例如，除了上述實(shí)施形態(tài)的構(gòu)成之外，圖1、圖2、圖5、圖6所示的搬送裝置30，除了導(dǎo)引滾筒RlOl?R106、處理滾筒31及32之外，具有調(diào)整片狀基板FB的姿勢(shì)的姿勢(shì)調(diào)整滾筒亦可。
[0159]此姿勢(shì)調(diào)整滾筒，可配置在例如片狀基板FB的搬送路徑處理裝置40的上游側(cè)。又，在例如緊鄰處理裝置40的前方配置姿勢(shì)調(diào)整滾筒亦可。姿勢(shì)調(diào)整滾筒是配置成例如中心軸與Z方向平行，設(shè)成可在X方向、Y方向及Z方向移動(dòng)。又，姿勢(shì)調(diào)整滾筒是配置成例如中心軸相對(duì)于Z軸方向傾斜。此情形，借助使例如姿勢(shì)調(diào)整滾筒的傾斜或位置變化，可調(diào)整片狀基板FB的姿勢(shì)。
[0160]又，上述導(dǎo)引滾筒或處理滾筒、處理搬送滾筒兼用姿勢(shì)調(diào)整滾筒的構(gòu)成亦可。
[0161]又，上述實(shí)施形態(tài)中，以處理滾筒31、處理滾筒32形成為圓筒狀為例進(jìn)行說(shuō)明，但并不限于圓筒狀。例如，使處理滾筒31的形狀為橢圓或多角柱、或在處理滾筒31的表面的一部分形成曲率面亦可。此情形，較佳為，固定處理滾筒31、處理滾筒32，使片狀基板FB以接觸或非接觸方式在處理滾筒31，32的表面滑動(dòng)。
[0162]又，桶機(jī)構(gòu)DRM的圓筒構(gòu)件CYL亦同樣地，并不限于圓筒構(gòu)件。例如，替代圓筒構(gòu)件CYL，在各處理裝置40對(duì)片狀基板的被處理面進(jìn)行處理時(shí)，使用形成有能以曲率面導(dǎo)引被處理面的導(dǎo)引面的導(dǎo)引構(gòu)件、或形成有能平坦地導(dǎo)引被處理面的導(dǎo)引面的導(dǎo)引構(gòu)件亦可。此外，使用導(dǎo)引構(gòu)件的情形，較佳為，使片狀基板FB以接觸或非接觸方式滑動(dòng)。
[0163]又，在設(shè)置于基板供應(yīng)部SU的滾動(dòng)條狀的片狀基板FB的前端，以既定長(zhǎng)度粘貼具有與片狀基板FB相同程度的厚度且剛性較片狀基板高的導(dǎo)頭片亦可。如此，在將新的片狀基板FB的滾動(dòng)條安裝于基板供應(yīng)部SU時(shí)，亦可將片狀基板自動(dòng)裝填于處理裝置FPA4內(nèi)。
[0164]又，上述各說(shuō)明中，以將例如片狀基板FB以豎立狀態(tài)搬送的構(gòu)成為例進(jìn)行說(shuō)明，但并不限于此。例如，在處理滾筒31及處理滾筒32的至少一個(gè)，將片狀基板FB的被處理面Fp以相對(duì)于水平面垂直或傾斜的狀態(tài)搬送，在搬送至處理滾筒31及處理滾筒32的至少一個(gè)的搬送路徑上，將片狀基板FB的被處理面Fp配置成相對(duì)于水平面實(shí)質(zhì)上平行亦可。又，在片狀基板FB的搬送路徑，組合使片狀基板FB豎立的狀態(tài)與橫向的狀態(tài)亦可。
[0165]此外，在將片狀基板FB以非水平姿勢(shì)、例如將片狀基板FB的被處理面Fp以相對(duì)于水平面(XY平面)傾斜既定角度的狀態(tài)搬送或處理的情形，使處理滾筒31、處理滾筒32、導(dǎo)引滾筒1?101，1?102，1?103，1?104，1?8等的旋轉(zhuǎn)中心軸相對(duì)于2方向傾斜即可。
[0166]【主要組件符號(hào)說(shuō)明】
[0167]FB 片狀基板
[0168]SU 基板供應(yīng)部
[0169]PR 基板處理部
[0170]CB 腔室
[0171]CL 基板回收部
[0172]CONT 控制部
[0173]Fp 被處理面
[0174]DRM 桶機(jī)構(gòu)
[0175]CYL 圓筒構(gòu)件
[0176]CYl第一圓筒部
[0177]CY2第二圓筒部
[0178]ACT旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0179]Cl 第一圓筒構(gòu)件
[0180]C2 第二圓筒構(gòu)件
[0181]DRM ?DRM5 桶機(jī)構(gòu)
[0182]42A1,42A2,42B1,42B2,42C1,42C2 處理部
[0183]43 干燥裝置
[0184]FPA，F(xiàn)PA4，F(xiàn)PA2，F(xiàn)PA3 基板處理裝置
[0185]RlOl ?R106，R111 ?R114 導(dǎo)引滾筒
[0186]10 供應(yīng)端口
[0187]11,13,21,111,121 軸構(gòu)件
[0188]12,14,22,112,122 支承部
[0189]20 回收端口
[0190]30,130,230 搬送裝置
[0191]31,32處理滾筒
[0192]40，140，241 ?244 處理裝置
[0193]131,231?233處理搬送滾筒
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板處理裝置，其對(duì)具有可撓性的長(zhǎng)帶狀的片狀基板進(jìn)行處理，其特征在于，具備: 第一處理裝置，對(duì)被搬送于長(zhǎng)邊方向的所述片狀基板實(shí)施第一處理； 第二處理裝置，在與該第一處理裝置中的所述片狀基板的搬送方向交叉的方向錯(cuò)開(kāi)配置，對(duì)所述片狀基板實(shí)施第二處理； 第三處理裝置，具備設(shè)置成使所述片狀基板的二行分別通過(guò)的搬入排出部，且對(duì)所述第一處理后的片狀基板、或者對(duì)所述第二處理后的片狀基板實(shí)施第三處理；以及 搬送裝置，具備以所述片狀基板通過(guò)所述第一處理裝置朝向所述第三處理裝置的方式將所述片狀基板搬送于所述長(zhǎng)邊方向的第一搬送部、以所述片狀基板通過(guò)所述第三處理裝置后朝向所述第二處理裝置的方式將所述片狀基板搬送于所述長(zhǎng)邊方向的第二搬送部、及以所述片狀基板通過(guò)所述第二處理裝置后朝向所述第三處理裝置的方式將所述片狀基板搬送于所述長(zhǎng)邊方向的第三搬送部。2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其中，所述第一處理裝置與所述第二處理裝置，在與所述片狀基板的搬送方向交叉的上下方向錯(cuò)開(kāi)配置。3.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其中，所述第三處理裝置的搬入排出部，具有用于搬入所述第一處理后的片狀基板的第一搬入口與用于排出所述片狀基板的第一排出口、以及用于搬入所述第二處理后的片狀基板的第二搬入口與用于排出所述片狀基板的第二排出口； 所述第I搬入口與所述第二搬入口于上下方向配置，所述第一排出口與所述第二排出口于上下方向配置。4.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的基板處理裝置，其中，所述第一處理裝置具備能使所述片狀基板的被處理面呈圓筒面狀地支承并且同時(shí)移動(dòng)于所述長(zhǎng)邊方向的第一圓筒構(gòu)件、及配置于該第一圓筒構(gòu)件的周?chē)疫M(jìn)行所述第一處理的第一處理部； 所述第二處理裝置具備能使所述片狀基板的被處理面呈圓筒面狀地支承并且同時(shí)移動(dòng)于所述長(zhǎng)邊方向的第二圓筒構(gòu)件、及配置于該第二圓筒構(gòu)件的周?chē)疫M(jìn)行所述第二處理的第二處理部。5.如權(quán)利要求4所述的基板處理裝置，其中，所述第一圓筒構(gòu)件與所述第二圓筒構(gòu)件于上下方向排列配置，并且以可繞中心軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)桶構(gòu)成。6.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其中，在通過(guò)所述第一搬送部、所述第二搬送部、所述第三搬送部的各個(gè)形成的所述片狀基板的長(zhǎng)邊方向的搬送路徑，設(shè)置用于變換所述片狀基板的搬送方向的多個(gè)導(dǎo)引滾筒； 該多個(gè)導(dǎo)引滾筒中的至少二個(gè)導(dǎo)引滾筒，根據(jù)所述第一處理裝置與所述第二處理裝置的上下方向的配置的錯(cuò)開(kāi)，以所述片狀基板的搬送路徑于上下方向偏移的方式配置。7.如權(quán)利要求1至3、6任一項(xiàng)所述的基板處理裝置，其中，所述第三處理裝置所進(jìn)行的所述第三處理，是使所述片狀基板干燥的處理、或?qū)⑵浼訜嶂良榷囟鹊奶幚怼?.—種基板處理方法，其一邊使具有可撓性的長(zhǎng)帶狀的片狀基板搬送于長(zhǎng)邊方向，一邊對(duì)所述片狀基板實(shí)施多個(gè)處理，其特征在于，包含: 第一步驟，將所述片狀基板送往第一處理裝置，對(duì)所述片狀基板的被處理面實(shí)施第一處理； 第二步驟，將所述片狀基板送往第二處理裝置，對(duì)經(jīng)所述第一處理后的所述片狀基板的被處理面實(shí)施第二處理； 第三步驟，將經(jīng)所述第一處理后的所述片狀基板、及經(jīng)所述第二處理后的所述片狀基板送往具備設(shè)置成使所述片狀基板的二行分別通過(guò)的搬入排出部的第三處理裝置，對(duì)所述片狀基板的被處理面實(shí)施第三處理；以及 搬送步驟，通過(guò)以所述第一處理裝置、所述第三處理裝置、所述第二處理裝置、及所述第三處理裝置的順序?qū)⑺銎瑺罨灏崴陀谒鲩L(zhǎng)邊方向的搬送裝置，搬送所述片狀基板。9.如權(quán)利要求8所述的基板處理方法，其中，所述第三處理裝置所進(jìn)行的所述第三處理，是使所述片狀基板干燥的處理、或?qū)⑵浼訜嶂良榷囟鹊奶幚怼?0.如權(quán)利要求9所述的基板處理方法，其中，所述第一處理裝置與所述第二處理裝置，在與所述片狀基板的搬送方向交叉的上下方向錯(cuò)開(kāi)配置。11.如權(quán)利要求10所述的基板處理方法，其中，在通過(guò)所述搬送裝置形成的所述片狀基板的長(zhǎng)邊方向的搬送路徑，設(shè)置用于變換所述片狀基板的搬送方向的多個(gè)導(dǎo)引滾筒； 通過(guò)該多個(gè)導(dǎo)引滾筒中的至少二個(gè)導(dǎo)引滾筒，并根據(jù)所述第一處理裝置與所述第二處理裝置的上下方向的配置的錯(cuò)開(kāi)，使所述片狀基板的搬送路徑于上下方向偏移。
【專(zhuān)利摘要】基板處理裝置及基板處理方法，具備：基板供應(yīng)部，在使形成為帶狀的基板的短邊方向豎立的狀態(tài)下供應(yīng)基板；基板處理部，具有搬送部及多個(gè)處理部，該搬送部，將從該基板供應(yīng)部供應(yīng)的基板在豎立狀態(tài)下搬送，該多個(gè)處理部，是沿著該搬送部的基板的搬送路徑配置，對(duì)豎立狀態(tài)的基板的被處理面進(jìn)行處理；以及基板回收部，將在該基板處理部進(jìn)行處理后的基板在豎立狀態(tài)下回收。
【IPC分類(lèi)】G02F1/13, H01L51/56, G02F1/1333, H01L21/67, H01L21/677
【公開(kāi)號(hào)】CN105632978
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610122229
【發(fā)明人】浜田智秀, 奈良圭, 增川孝志, 木內(nèi)徹
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社尼康
【公開(kāi)日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2011年4月11日
【公告號(hào)】CN102835189A, CN102835189B, WO2011126132A1