基板盒清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對基板盒進(jìn)行清洗的基板盒清洗裝置，該基板盒是在對轉(zhuǎn)印電子部件的電路圖案時(shí)使用的掩?；寤蚓劝雽?dǎo)體基板等基板進(jìn)行保管或者搬運(yùn)時(shí)使用的基板盒。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為這種基板盒清洗裝置，已知例如專利文獻(xiàn)I (日本特開2005-109523號公報(bào))中公開的基板盒清洗裝置。如圖22所示，在未設(shè)置基板的狀態(tài)下，該基板盒清洗裝置Sa對由底座Cb和覆蓋該底座Cb的殼Cs構(gòu)成且內(nèi)部容納基板(未圖示)的基板盒C進(jìn)行清洗?；搴星逑囱b置Sa具備形成潔凈的空間的室200，在該室200內(nèi)設(shè)置有清洗槽201，所述清洗槽201在將底座Cb和殼Cs各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件。清洗槽201具備:槽主體202，其具有向上方開放的開口 ；和蓋203，其對槽主體202的開口進(jìn)行開閉。在室200的外部設(shè)置有載置基板盒C的載置臺(tái)204。手臂機(jī)器人205利用把持柄207把持載置于載置臺(tái)204上的基板盒C并搬送到設(shè)置在室200的內(nèi)部的支承臺(tái)206。并且，手臂機(jī)器人205利用把持柄207把持被支承于支承臺(tái)206的基板盒C的殼Cs而搬送并放置于清洗槽201的槽主體202內(nèi)，將基板盒C的底座Cb搬送并放置于清洗槽201的蓋203上。然后，在將蓋203關(guān)閉的狀態(tài)下，殼Cs和底座Cb在槽主體202內(nèi)被清洗。若清洗完畢，則清洗槽201的蓋203被打開，手臂機(jī)器人205對基板盒C的底座Cb和殼Cs順次地進(jìn)行搬送，并在支承臺(tái)206上裝配成基板盒C。并且，手臂機(jī)器人205再次地將基板盒C從支承臺(tái)206上搬送到室200外的載置臺(tái)204上。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-109523號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]然而，在上述以往的基板盒清洗裝置Sa中，在使基板盒C從載置臺(tái)204向室200內(nèi)的支承臺(tái)206移動(dòng)時(shí)，由于利用手臂機(jī)器人205使其移動(dòng)，因此必須使手臂機(jī)器人205的臂從室200的開口向外面的載置臺(tái)204突出。因此，動(dòng)作復(fù)雜，相應(yīng)地編程等變得麻煩。此夕卜，由于利用手臂機(jī)器人205的把持柄207抬起整個(gè)基板盒C，因此向支承臺(tái)206的定位也麻煩。
[0008]本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的，提供基板盒清洗裝置，其使從載置臺(tái)到支承臺(tái)的移載簡易而不會(huì)變得復(fù)雜，而且，向支承臺(tái)的定位也能夠容易進(jìn)行。
[0009]用于解決課題的手段
[0010]本發(fā)明的基板盒清洗裝置為如下的結(jié)構(gòu):在上述未設(shè)置基板的狀態(tài)下對基板盒進(jìn)行清洗，該基板盒具備底座和覆蓋該底座的殼，并且在內(nèi)部容納上述基板，其中，所述基板盒清洗裝置具備:室，其形成潔凈的空間；清洗槽，其設(shè)置在該室內(nèi)，在將上述基板盒的底座和殼各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件；支承臺(tái)，其在上述室內(nèi)對上述基板盒進(jìn)行支承；和搬送機(jī)構(gòu)，其在上述支承臺(tái)與清洗槽之間對該基板盒的各部件進(jìn)行搬送，在上述室設(shè)置有開口，該開口能夠供上述基板盒通過并且由閘板進(jìn)開閉，該基板盒清洗裝置還具備:載置臺(tái)，上述基板盒在上述室的上述開口的外部能夠被定位并載置于該載置臺(tái)的規(guī)定位置；和移載機(jī)構(gòu)，在上述基板盒的清洗前，使上述閘板打開該移載機(jī)構(gòu)將被載置在上述載置臺(tái)上的基板盒移載到上述支承臺(tái)，在該基板盒的清洗后，使上述閘板打開，該移載機(jī)構(gòu)將被支承于上述支承臺(tái)上的基板盒移載到上述載置臺(tái)，上述移載機(jī)構(gòu)具備:機(jī)臺(tái)，其搭載上述支承臺(tái)，并且能夠移動(dòng)至前進(jìn)位置和后退位置這兩個(gè)位置，該前進(jìn)位置是該機(jī)臺(tái)前進(jìn)到上述載置臺(tái)側(cè)而在該載置臺(tái)與上述支承臺(tái)之間進(jìn)行上述基板盒的接收和交付的位置，該后退位置是該機(jī)臺(tái)后退到上述室內(nèi)而在與上述搬送機(jī)構(gòu)之間進(jìn)行該基板盒的交付和接收的位置；導(dǎo)軌，其將該機(jī)臺(tái)支承成能夠移動(dòng)；和進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部，其使該機(jī)臺(tái)移動(dòng)至上述前進(jìn)位置和后退位置這兩個(gè)位置。
[0011]由此，在清洗基板盒前，室的閘板被打開，移載機(jī)構(gòu)的進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部使機(jī)臺(tái)與支承臺(tái)一同前進(jìn)到前進(jìn)位置，并將被載置于載置臺(tái)的基板盒接收到支承臺(tái)上。然后，移載機(jī)構(gòu)的進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部使機(jī)臺(tái)與支承臺(tái)一同地后退到后退位置，并將閘板關(guān)閉。在該后退位置，將支承臺(tái)上的基板盒的各部件交付到搬送機(jī)構(gòu)。在通過搬送機(jī)構(gòu)進(jìn)行各部件的搬送而進(jìn)行各部件的上述清洗后，再次通過搬送機(jī)構(gòu)進(jìn)行各部件的搬送，在后退位置，將基板盒的各部件接收到支承臺(tái)上。在該狀態(tài)下，室的閘板被打開，移載機(jī)構(gòu)的進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部使機(jī)臺(tái)與支承臺(tái)一同前進(jìn)到前進(jìn)位置，并將支承臺(tái)上的基板盒交付到載置臺(tái)。然后，例如使機(jī)臺(tái)移動(dòng)到室內(nèi)的初始位置而待機(jī)。
[0012]在該情況下，由于使支承臺(tái)本身直接移動(dòng)而利用支承臺(tái)來進(jìn)行基板盒的接收、交付，因此，與以往那樣地利用手臂機(jī)器人來移動(dòng)相比，變得無需把持整個(gè)基板盒，使從載置臺(tái)向支承臺(tái)的載置簡易，而不會(huì)變得復(fù)雜，而且，向支承臺(tái)的定位也能夠容易進(jìn)行。
[0013]并且，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，根據(jù)需要可以為如下的結(jié)構(gòu):在上述基板盒的被上述支承臺(tái)支承的一側(cè)形成有卡合凹部，在上述支承臺(tái)上設(shè)置有與上述基板盒的上述卡合凹部卡合的卡合凸部，上述載置臺(tái)形成為具有開放部的叉狀，該開放部朝向室側(cè)開放并使上述基板盒的上述卡合凹部露出，上述支承臺(tái)設(shè)置成能夠相對于上述移載機(jī)構(gòu)的機(jī)臺(tái)上下移動(dòng)，基板盒清洗裝置具備使該支承臺(tái)上下移動(dòng)的上下驅(qū)動(dòng)部，在上述前進(jìn)位置處，通過使上述支承臺(tái)上升，使該支承臺(tái)的卡合凸部與基板盒的卡合凹部卡合而將該基板盒抬起，使該支承臺(tái)能夠在抬起該基板盒的狀態(tài)下經(jīng)過上述載置臺(tái)的開放口而移動(dòng)。
[0014]由此，在基板盒清洗前，在機(jī)臺(tái)的前進(jìn)位置處，上下驅(qū)動(dòng)部使支承臺(tái)上升，使支承臺(tái)的卡合凸部與基板盒的卡合凹部卡合而抬起基板盒。然后，使機(jī)臺(tái)與支承臺(tái)一同后退到后退位置，但由于載置臺(tái)形成為具有開放部的叉狀，因此支承臺(tái)在抬起基板盒的狀態(tài)下經(jīng)過載置臺(tái)的開放口而移動(dòng)，被定位在后退位置。在該情況下，由于利用支承臺(tái)本身來直接進(jìn)行基板盒的接收，因此能夠使基板盒的移動(dòng)可靠，并且能夠通過卡合凹部與卡合凸部的卡合而將被定位載置于載置臺(tái)的規(guī)定位置的基板盒定位支承在支承臺(tái)上的規(guī)定位置，能夠提高定位精度。
[0015]此外，在基板盒清洗后，當(dāng)支承臺(tái)在后退位置處再次將基板盒接收后，使機(jī)臺(tái)與支承臺(tái)一同前進(jìn)到前進(jìn)位置，但由于載置臺(tái)形成為具有開放部的叉狀，因此支承臺(tái)在抬起基板盒的狀態(tài)下通過載置臺(tái)的開放口而進(jìn)行移動(dòng)，被定位在前進(jìn)位置。在該前進(jìn)位置處，上下驅(qū)動(dòng)部使支承臺(tái)下降，將支承臺(tái)的卡合凸部從基板盒的卡合凹部卸下而將基板盒載置到載置臺(tái)上。在該情況下，由于利用支承臺(tái)本身來直接進(jìn)行基板盒的接收、交付，因此能夠使基板盒的移動(dòng)可靠。
[0016]并且，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，根據(jù)需要可以為如下的結(jié)構(gòu):在上述支承臺(tái)上設(shè)置有吸附盤，該吸附盤吸附上述基板盒的被支承臺(tái)支承的一側(cè)。由于基板盒的被支承臺(tái)支承的一側(cè)的部件被吸附盤吸附，因此能夠防止基板盒向左右前后移動(dòng)的情況，能夠利用搬送機(jī)構(gòu)可靠地進(jìn)行各部件的交付、接收。
[0017]并且，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，根據(jù)需要可以為如下的結(jié)構(gòu):在上述基板盒的被上述支承臺(tái)支承的一側(cè)設(shè)置有插銷型的鎖定部，該鎖定部將上述基板盒的各部件鎖定成彼此不能脫離，并將這些部件解除鎖定成能夠脫離，在上述支承臺(tái)上設(shè)置有插銷驅(qū)動(dòng)部，在上述前進(jìn)位置處使上述支承臺(tái)上升而使該支承臺(tái)的卡合凸部與上述基板盒的卡合凹部卡合時(shí)，所述插銷驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行上述鎖定部的鎖定和解除鎖定。由于能夠利用插銷驅(qū)動(dòng)部來進(jìn)行鎖定和解除鎖定，因此能夠?qū)⒒搴械母鞑考煽康胤蛛x和裝配。
[0018]發(fā)明效果
[0019]根據(jù)本發(fā)明的基板盒清洗裝置，由于使支承臺(tái)本身直接移動(dòng)而利用支承臺(tái)來進(jìn)行基板盒的接收、交付，因此，與以往那樣地利用手臂機(jī)器人來移動(dòng)的情況相比，變得無需把持整個(gè)基板盒，使從載置臺(tái)向支承臺(tái)的載置簡易，而不會(huì)變得復(fù)雜，而且，向支承臺(tái)的定位也能夠容易進(jìn)行。
【附圖說明】
[0020]圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的側(cè)剖視圖。
[0021]圖2是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的俯視剖視圖。
[0022]圖3是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的橫剖視圖。
[0023]圖4是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的主視圖。
[0024]圖5是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的載置臺(tái)的立體圖。
[0025]圖6A是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的支承臺(tái)的立體圖。
[0026]圖6B是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的支承臺(tái)對基板盒進(jìn)行支承的狀態(tài)的圖。
[0027]圖7是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的支承臺(tái)和把持機(jī)構(gòu)與其作用一同示出的圖。
[0028]圖8A是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其一)。
[0029]圖SB是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其二)。
[0030]圖SC是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其三)。
[0031]圖8D是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其四)。
[0032]圖SE是將本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動(dòng)作一同示出的工序圖(其五)。
[0033]圖9是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽(第二清洗槽)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0034]圖1OA是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對外部殼進(jìn)行支承的狀態(tài)的俯視圖。
[0035]圖1OB是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對外部殼進(jìn)行支承的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0036]圖1lA是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對外部底座進(jìn)行支承的狀態(tài)的俯視圖。
[0037]圖1lB是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對外部底座進(jìn)行支承的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0038]圖12A是示出本發(fā)明的實(shí)施方式