洗各部件時，所述蓋53使所述開口 51關(guān)閉。
[0071 ] 在圖9中，示出了第一清洗槽40的內(nèi)部，但由于在第二清洗槽50中也與第一清洗槽40結(jié)構(gòu)相同，因此對對應(yīng)的部位帶括號地標(biāo)注第二清洗槽50的標(biāo)號。如該圖9所示，第二清洗槽50具備:第二旋轉(zhuǎn)板54，其在槽主體52的底部設(shè)置成能夠以垂直方向的軸線為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部55，其驅(qū)動第二旋轉(zhuǎn)板54旋轉(zhuǎn)；多個(四個)內(nèi)部底座支承桿56，其豎立設(shè)置于第二旋轉(zhuǎn)板54并在規(guī)定的高度位置處對內(nèi)部底座Nb的外緣的一部分(在實施方式中是四個角部)進(jìn)行支承；和多個(四個)內(nèi)部殼支承桿57，其豎立地設(shè)置于第二旋轉(zhuǎn)板54并在與內(nèi)部底座支承桿56不同的規(guī)定的高度位置處對內(nèi)部殼Ns的外緣的一部分(在實施方式中是四個角部)進(jìn)行支承。
[0072]內(nèi)部底座支承桿56設(shè)定得高于內(nèi)部殼支承桿57，在高于內(nèi)部殼Ns的位置處對內(nèi)部底座Nb進(jìn)行支承。如圖9所示，在內(nèi)部底座支承桿56和內(nèi)部殼支承桿57各自的末端部具備:支承體58，其對各部件的角部進(jìn)行支承；和引導(dǎo)銷59，其設(shè)置在支承體58的左右并對各部件的角的兩側(cè)進(jìn)行引導(dǎo)。
[0073]此外，第二清洗槽50的多個內(nèi)部底座支承桿56和多個內(nèi)部殼支承桿57彼此豎立設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置。在實施方式中，如圖9至圖15B所示，多個內(nèi)部底座支承桿56和多個內(nèi)部殼支承桿以在旋轉(zhuǎn)方向上相位錯開45°的方式豎立地設(shè)置。
[0074]另外，在第一清洗槽40和第二清洗槽50內(nèi)設(shè)置有:清洗液噴嘴組，其噴射已知的清洗液；和空氣噴嘴，其噴出干燥空氣來干燥。
[0075]此外，如圖4所示，本裝置具備后述的控制部100。控制部100對第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部45進(jìn)行控制，具備如下功能:將對外部底座Mb的支承和解除支承時的外部底座支承桿46的停止位置與對外部殼Ms的支承和解除支承時的外部殼支承桿47的停止位置設(shè)定成相位不同。在實施方式中，如圖1OA和圖1lA所示那樣地在旋轉(zhuǎn)方向上相位錯開45°。
[0076]該控制部100同樣地對第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部55進(jìn)行控制，具備如下功能:將對內(nèi)部底座Nb的支承和解除支承時的內(nèi)部底座Nb的支承桿的停止位置和對內(nèi)部殼Ns的支承和解除支承時的內(nèi)部殼支承桿57的停止位置設(shè)定成相位不同。在實施方式中，如圖12A和圖13A所示那樣地在旋轉(zhuǎn)方向上相位錯開45°。
[0077]并且，由于基板盒C以使其外部底座Mb處于下方的方式被支承于支承臺20，因此，在基板盒C清洗前，搬送機構(gòu)60按外部殼Ms、內(nèi)部殼Ns、內(nèi)部底座Nb、外部底座Mb的順序?qū)⑦@些部件從支承臺20搬送到各自對應(yīng)的第一清洗槽40內(nèi)和第二清洗槽50內(nèi)。此外，在基板盒C清洗后，搬送機構(gòu)60按外部底座Mb、內(nèi)部底座Nb、內(nèi)部殼Ns、外部殼Ms的順序?qū)⑦@些部件從對應(yīng)的第一清洗槽40內(nèi)和第二清洗槽50內(nèi)搬送到支承臺20而進(jìn)行裝配。
[0078]具體而言，如圖2、圖3、圖7、圖1OA至圖18B所示，搬送機構(gòu)60具備:把持機構(gòu)61，其能夠分別把持外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內(nèi)部容器N的內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns ;升降機構(gòu)62，其使把持機構(gòu)61在垂直方向(Z軸方向)上升降移動；和行進(jìn)移動機構(gòu)63，其使把持機構(gòu)61在一個水平方向(Y軸方向)上行進(jìn)移動。上述的控制部100對把持機構(gòu)61、升降機構(gòu)62和行進(jìn)移動機構(gòu)63進(jìn)行驅(qū)動控制。由此，支承臺20、第一清洗槽40和第二清洗槽50沿著一個水平方向(Y軸方向)串聯(lián)地設(shè)置，只要通過控制部100的控制使把持機構(gòu)61在垂直方向(Z軸方向)和一個水平方向(Y軸方向)這兩個軸方向上移動，搬送機構(gòu)60就能夠搬送各部件，因此，搬送機構(gòu)60與以往的手臂機器人相比，能夠使結(jié)構(gòu)簡易，能夠使各部件的分離搬送容易。此外，也可以不較寬地占用空間，能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)省空間。
[0079]如圖16A和圖16B所不，把持機構(gòu)61具備底座板64。升降機構(gòu)62具備升降導(dǎo)軌65，所述升降導(dǎo)軌65將底座板64支承成能夠升降移動，利用圖示外的驅(qū)動部使底座板64升降移動并定位在垂直方向(Z軸方向)的所需位置。此外，行進(jìn)移動機構(gòu)63具備水平導(dǎo)軌67，所述水平導(dǎo)軌67固定于支架66，將升降導(dǎo)軌65支承成能夠在一個水平方向(Y軸方向)上移動。行進(jìn)移動機構(gòu)63利用圖示外的驅(qū)動部使升降導(dǎo)軌65移動并在一個水平方向(Y軸方向)的所需位置處定位。
[0080]如圖3、圖7、圖16A至圖18B所示，把持機構(gòu)61具備:把持柄70，其具備能夠在與一個水平方向(Y軸方向)垂直的另一水平方向(X軸方向)上彼此接近和分離的一對柄單體71、71 ;和驅(qū)動部72，其使把持柄70的一對柄單體71、71接近和分離。驅(qū)動部72例如由氣缸裝置構(gòu)成，其安裝于上述底座板64。通過控制部100的控制而使把持柄70的一對柄單體71、71個別地把持外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內(nèi)部容器N的內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns。只要通過控制部100的控制使把持機構(gòu)61在一個水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個軸方向上移動并定位、并且使把持柄70在另一水平方向(X軸方向)上移動，就能夠?qū)崿F(xiàn)把持機構(gòu)61對部件的把持。而且，由于利用一對把持單體71、71就能夠把持所有的部件，因此能夠使結(jié)構(gòu)簡單。
[0081]如圖16B、圖17A、圖17B、圖18A和圖18B所示，在把持柄70的一對把持單體71、71上形成有卡定部73、74、75、76，所述卡定部73、74、75、76與外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內(nèi)部容器N的內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns的各把持部的形狀分別相應(yīng)地對它們進(jìn)行卡定。
[0082]此外，在基板盒清洗裝置S中，通過控制部100的控制而在清洗基板盒C時使把持柄70在待機位置Q (圖2)待機。在實施方式中，待機位置Q設(shè)定在室10的閘板12側(cè)端部。此外，如圖1、圖2、圖16A和圖16B所示，設(shè)置有對把持柄70進(jìn)行清洗的清洗單元80。該清洗單元80具備:噴射嘴81，其在把持柄70的待機位置Q的附近對把持柄70噴射氣體；和排氣扇82，其將從噴射嘴81噴射出的氣體從室10內(nèi)排出。作為氣體，可以采用例如空氣、氮氣等。
[0083]并且，在基板盒清洗裝置S中，如圖1和圖19所示，在第一清洗槽40內(nèi)設(shè)置有保持部90，在無需對外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms中的至少任一方的部件(在實施方式中是外部底座Mb)的外側(cè)面清洗時，所述保持部90能夠以覆蓋無需清洗的部件的外側(cè)面的方式對該無需清洗的部件進(jìn)行保持。保持部90設(shè)置在第一清洗槽40的蓋43的背面，利用蓋43的背面來覆蓋作為無需清洗的部件的外部底座Mb的外側(cè)面。在蓋43的背面，保持部90具備與所保持的外部底座Mb的三個卡合凹部4卡合的三個卡合凸部91。此外，在蓋43的背面，保持部90具備對外部底座Mb的外側(cè)面進(jìn)行吸附的四個吸附盤92。由于利用蓋43的背面，因此能夠使保持部90的結(jié)構(gòu)簡易。
[0084]并且，控制部100具備如下的功能:當(dāng)在是否無需對外部容器M的外部底座Mb的外側(cè)面清洗的判定中判定為不需要時，通過搬送機構(gòu)60使該外部底座Mb搬送到保持部90。預(yù)先通過在清洗基板盒C前進(jìn)行的與清洗有關(guān)的程序設(shè)計、或者利用傳感器來檢測基板盒C的型式及形狀等而進(jìn)行控制部100的是否無需清洗的判定。在實施方式中，通過在清洗基板盒C前進(jìn)行的與清洗有關(guān)的程序設(shè)計來進(jìn)行。
[0085]另外，控制部100進(jìn)行上述的閘板12的開閉控制、移載機構(gòu)30的驅(qū)動控制、搬送機構(gòu)60的驅(qū)動控制、第一清洗槽40和第二清洗槽50的蓋43、53的開閉控制、旋轉(zhuǎn)板44、54的旋轉(zhuǎn)控制、清洗、干燥控制等各種控制。
[0086]在本實施方式的基板盒清洗裝置S中，如下地進(jìn)行基板盒C的清洗。
[0087]對于是否無需對外部容器M的外部底座Mb的外側(cè)面清洗，預(yù)先在控制部100中設(shè)計在清洗基板盒C前進(jìn)行的程序。這里，首先對需要清洗外部底座Mb的外側(cè)面的情況進(jìn)行說明。
[0088]首先，如圖8A所示，采用其它搬送機等而將涉及清洗的基板盒C設(shè)置到載置臺13上。在清洗基板盒C前，如圖SB所示，室10的閘板12被打開，移載機構(gòu)30的進(jìn)退驅(qū)動部33使機臺31與支承臺20 —同從初始位置R3前進(jìn)到前進(jìn)位置R1，并且將載置于載置臺13上的基板盒C接收到支承臺20上。此時，如圖8C和圖6B所示，在機臺31的前進(jìn)位置Rl處，上下驅(qū)動部34使支承臺20上升并使支承臺20的卡合凸部23與基板盒C的外部底座Mb的卡合凹部4卡合而抬起基板盒C。此外，利用吸附盤24來吸附外部底座Mb。因此，能夠防止基板盒C向左右前后活動的情況，基板盒C能夠可靠地定位在支承臺20上。并且，支承臺20的插銷驅(qū)動部21的插銷21a從外部底座Mb的插入孔2被插入。
[0089]接著，如圖8D所示，移載機構(gòu)30的進(jìn)退驅(qū)動部33使機臺31與支承臺20 —同從前進(jìn)位置Rl后退到后退位置R2。在該情況下，由于載置臺13形成為具有開放部14的叉狀，因此支承臺20在抬起基板盒C的狀態(tài)下通過載置臺13的開放口 14而移動，并定位在后退位置R2。在該情況下，由于使支承臺20本身直接移動而利用支承臺20進(jìn)行基板盒C的接收，因此，與以往那樣地通過手臂機器人來移動的情況相比，變得無需把持整個基板盒，基板盒C從載置臺13向支承臺20的移載不會變得復(fù)雜而變得簡易。而且，基板盒C相對于支承臺20的定位也變得能夠容易進(jìn)行。特別是，通過卡合凹部4與卡合凸部23的卡合而能夠?qū)⒍ㄎ惠d置于載置臺13的規(guī)定位置處的基板盒C定位支承在支承臺20上的規(guī)定位置，能夠提高定位精度。在該后退位置R2處，如圖SE所示，插銷驅(qū)動部21被驅(qū)動而被解除鎖定，被支承于支承臺20的外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內(nèi)部容器N的內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns各部件變得能夠脫離。此外，閘板12被關(guān)閉。
[0090]在該狀態(tài)下，如圖1所示，第一清洗槽40和第二清洗槽50的蓋43、53被打開，搬送機構(gòu)60被驅(qū)動，支承臺20將基板盒C的各部件交付于搬送機構(gòu)60。搬送機構(gòu)60按外部殼Ms、內(nèi)部殼Ns、內(nèi)部底座Nb、外部底座Mb的順序?qū)⑦@些部件從支承臺20搬送到各自對應(yīng)的第一清洗槽40內(nèi)和第二清洗槽50內(nèi)。通過控制部100的控制使把持機構(gòu)6