1在一個(gè)水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個(gè)軸方向上移動(dòng)而定位，并使把持柄70在另一水平方向(X軸方向)上移動(dòng)，由此進(jìn)行把持機(jī)構(gòu)61對(duì)部件的把持。在該情況下，能夠利用把持柄70的一對(duì)柄單體71、71來(lái)把持所有的部件。即，把持柄70的一對(duì)柄單體71具備卡定部73、74、75、76，所述卡定部73、74、75、76與外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內(nèi)部容器N的內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns的各把持部的形狀分別相應(yīng)地對(duì)它們進(jìn)行卡定，因此對(duì)各部件的把持變得可靠。在圖7、圖1OB和圖17A中示出了外部殼Ms的把持狀態(tài)，在圖1lB和圖17B中示出了外部底座Mb的把持狀態(tài)，在圖12B和圖18A中示出了內(nèi)部殼Ns的保持狀態(tài)，在圖13B和圖18B中示出了內(nèi)部底座Nb的把持狀態(tài)。
[0091]在該情況下，如下地進(jìn)行第一清洗槽40對(duì)外部殼Ms和外部底座Mb的接收。如圖1OA和圖1OB所示，控制部100首先驅(qū)動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)板44旋轉(zhuǎn)并使其停止在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，使得能夠利用外部殼支承桿47來(lái)支承外部殼Ms的角部。在該狀態(tài)下，把持外部殼Ms的把持柄70下降到第一清洗槽40內(nèi)而使外部殼Ms支承于外部殼支承桿47，然后上升。在該情況下，外部殼Ms由于被支承于高度較低的外部殼支承桿47，因此變成與把持柄70 —同地位于比高度較高的外部底座支承桿46靠下的位置，但由于外部底座支承桿46和外部殼支承桿47彼此豎立地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置，因此能夠避免與該高度較高的外部底座支承桿46發(fā)生干擾，能夠可靠地搬送并支承保持外部殼Ms。
[0092]接著，如圖1lA所示，控制部100驅(qū)動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)板44旋轉(zhuǎn)并使其停止在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，使得能夠利用外部底座支承桿46來(lái)支承外部底座Mb的角部。即，多個(gè)外部底座支承桿46和多個(gè)外部殼支承桿47彼此豎立地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置，因此在旋轉(zhuǎn)方向上相位錯(cuò)開(kāi)45°。搬送機(jī)構(gòu)60只能夠使把持機(jī)構(gòu)61在一個(gè)水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個(gè)軸方向上移動(dòng)，無(wú)法改變外部底座Mb的方向及把持柄70的方向。但是，通過(guò)將外部底座支承桿46的停止位置和外部殼Ms的支承桿的停止位置設(shè)定成相位不同，能夠進(jìn)行各支承桿相對(duì)于搬送機(jī)構(gòu)60的位置調(diào)整，因此能夠使外部底座Mb可靠地支承于外部底座支承桿46。
[0093]另一方面，如下地進(jìn)行第二清洗槽50對(duì)內(nèi)部殼Ns和內(nèi)部底座Nb的接收。如圖12A和圖12B所示，控制部100首先驅(qū)動(dòng)第二旋轉(zhuǎn)板54旋轉(zhuǎn)并使其停止在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，使得能夠利用內(nèi)部殼支承桿57來(lái)支承內(nèi)部殼Ns的角部。在該狀態(tài)下，把持內(nèi)部殼Ns的把持柄70下降到第二清洗槽50內(nèi)而使內(nèi)部殼Ns支承于內(nèi)部殼支承桿57，然后上升。在該情況下，由于內(nèi)部殼Ns被支承于高度較低的內(nèi)部殼支承桿57，因此變成與把持柄70 —同地位于比高度較高的內(nèi)部底座支承桿56靠下的位置，但由于內(nèi)部底座支承桿56和內(nèi)部殼支承桿57彼此豎立地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置，因此能夠避免與該高度較高的內(nèi)部底座支承桿56發(fā)生干擾，能夠可靠地搬送并支承保持內(nèi)部殼Ns。
[0094]接著，如圖13A所示，控制部100驅(qū)動(dòng)第二旋轉(zhuǎn)板54旋轉(zhuǎn)并使其停止在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，使得能夠利用內(nèi)部底座支承桿56來(lái)支承內(nèi)部底座Nb的角部。即，多個(gè)內(nèi)部底座支承桿56和多個(gè)內(nèi)部殼支承桿57彼此豎立地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置，因此在旋轉(zhuǎn)方向上相位錯(cuò)開(kāi)45°。搬送機(jī)構(gòu)60只能夠使把持機(jī)構(gòu)61在一個(gè)水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個(gè)軸方向上移動(dòng)，無(wú)法改變內(nèi)部底座Nb的方向及把持柄70的方向。但是，通過(guò)將內(nèi)部底座支承桿56的停止位置和內(nèi)部殼Ns的支承桿的停止位置設(shè)定成相位不同，能夠進(jìn)行各支承桿相對(duì)于搬送機(jī)構(gòu)60的位置調(diào)整，因此能夠使內(nèi)部底座Nb可靠地支承于內(nèi)部底座支承桿56。
[0095]如圖14A、圖14B、圖15A和圖15B所示，若搬送機(jī)構(gòu)60按外部殼Ms、內(nèi)部殼Ns、內(nèi)部底座Nb、外部底座Mb的順序?qū)⑦@些部件從支承臺(tái)20向各自對(duì)應(yīng)的第一清洗槽40內(nèi)和第二清洗槽50內(nèi)搬送完畢，如圖2所示，把持柄70待機(jī)于待機(jī)位置Q。并且，如圖1所示，在第一清洗槽40和第二清洗槽50中，蓋43、53被關(guān)閉，外部容器M和內(nèi)部容器N的各部件被清洗。在該情況下，由于外部容器M和內(nèi)部容器N分別在各自的清洗槽40、50中被清洗，因此，能夠防止附著于暴露在外部空氣中的外部容器M上的污染物質(zhì)對(duì)內(nèi)部容器N造成二次污染的情況，相應(yīng)地能夠提高清洗精度。
[0096]此外，如圖15A和圖15B所示，在第一清洗槽40中，由于外部底座支承桿46和外部殼支承桿47在不同的規(guī)定的高度位置處對(duì)各部件進(jìn)行支承，因此，在槽主體42內(nèi)，外部底座Mb和外部殼Ms分別使它們的外表面和內(nèi)表面露出，并且被保持成彼此分離。因此，在進(jìn)行清洗時(shí)，由于清洗液均勻地遍布于外部底座Mb和外部殼Ms，因此能夠可靠地進(jìn)行清洗。
[0097]另一方面，如圖14A和圖14B所示，由于在第二清洗槽50中內(nèi)部底座支承桿56和內(nèi)部殼支承桿57也在不同的規(guī)定的高度位置處對(duì)各部件進(jìn)行支承，因此，在槽主體52內(nèi)，內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns分別使它們的外表面和內(nèi)表面露出，并且被保持成彼此分離。因此，在進(jìn)行清洗時(shí)，由于清洗液均勻地遍布于內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns，因此能夠可靠地進(jìn)行清洗。
[0098]S卩，在如以往那樣地將一個(gè)部件安裝于蓋43、53而進(jìn)行清洗的情況下，清洗液不容易充分地遍布于安裝于蓋43、53上的部件的特別是靠蓋43、53側(cè)的表面，但根據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，由于能夠使各部件在槽主體42、52內(nèi)分離地進(jìn)行清洗，因此，能夠使清洗液均勻地遍布而可靠地進(jìn)行清洗。
[0099]在該外部容器M和內(nèi)部容器N的各部件的清洗過(guò)程中，從清洗單元80的噴射嘴81向處于待機(jī)位置Q的把持柄70噴射氣體，進(jìn)行把持柄70的清洗。有時(shí)由于把持各部件而使附著于各部件的污染物質(zhì)轉(zhuǎn)移而附著并污染把持柄70，但能夠通過(guò)該噴射嘴81的氣體噴射來(lái)凈化。因此，能夠防止把持柄70在把持并搬送清洗后的各部件時(shí)將被凈化了的各部件再次污染的情況。此外，由于在清洗各部件時(shí)進(jìn)行把持柄70的清洗，因此能夠在每次清洗各部件時(shí)進(jìn)行清洗，能夠可靠地防止清洗后的各部件被污染。此外，由于從噴射嘴81噴射氣體而使附著于把持柄70的污染物質(zhì)脫落，因此能夠可靠地去除污染物質(zhì)。并且，由于被去除的污染物質(zhì)借助排氣扇82被排出到室10外，因此能夠始終使室10內(nèi)保持潔凈。
[0100]若外部容器M和內(nèi)部容器N的各部件的清洗完畢，則根據(jù)與上述相反的工序，首先，第一清洗槽40和第二清洗槽50的蓋43、53被打開(kāi)，通過(guò)搬送機(jī)構(gòu)60而這次按外部底座Mb、內(nèi)部底座Nb、內(nèi)部殼Ns、外部殼Ms的順序從這些部件所對(duì)應(yīng)的第一清洗槽40內(nèi)和第二清洗槽50內(nèi)搬送到支承臺(tái)20并裝配起來(lái)。如上述那樣，通過(guò)控制部100的控制而使把持機(jī)構(gòu)61在一個(gè)水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個(gè)軸方向上移動(dòng)而定位，并使把持柄70在另一水平方向(X軸方向)移動(dòng)，從而進(jìn)行把持機(jī)構(gòu)61對(duì)部件的把持。在該情況下，能夠利用把持柄70的一對(duì)柄單體71、71來(lái)把持所有的部件。此外，把持柄70的一對(duì)柄單體71具備卡定部73、74、75、76，所述卡定部73、74、75、76與外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內(nèi)部容器N的內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns的各把持部的形狀分別相應(yīng)地對(duì)它們進(jìn)行卡定，因此各部件的把持變得可靠。
[0101]在該情況下，如下地進(jìn)行第一清洗槽40中的外部底座Mb和外部殼Ms的取出。首先，如圖1lA所示，控制部100驅(qū)動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)板44旋轉(zhuǎn)并使其停止在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，使得能夠利用把持柄70來(lái)把持外部底座Mb。在該狀態(tài)下，把持柄70下降并把持外部底座Mb，然后上升。接著，如圖1OA所示，控制部100驅(qū)動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)板44旋轉(zhuǎn)并使其停止在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，使得能夠利用把持柄70來(lái)把持外部殼Ms。即，多個(gè)外部底座支承桿46和多個(gè)外部殼支承桿47彼此豎立地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置，因此在旋轉(zhuǎn)方向上相位錯(cuò)開(kāi)45°。在該狀態(tài)下，把持柄70下降并把持外部殼Ms，然后上升。在該情況下，由于外部殼Ms被支承于高度較低的外部殼支承桿47，因此與把持柄70 —同地從比高度較高的外部底座支承桿46靠下的位置起上升，但由于外部底座支承桿46和外部殼支承桿47彼此豎立地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置，因此能夠避免與該高度較高的外部底座支承桿46發(fā)生干擾，能夠可靠地取出外部殼Ms。
[0102]另一方面，如下地進(jìn)行第二清洗槽50中的內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns的取出。首先，如圖13A所示，控制部100驅(qū)動(dòng)第二旋轉(zhuǎn)板54旋轉(zhuǎn)并使其停止在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，使得能夠利用把持柄70來(lái)把持內(nèi)部底座Nb。在該狀態(tài)下，把持柄70下降并把持內(nèi)部底座Nb，然后上升。接著，如圖12A所示，控制部100驅(qū)動(dòng)第二旋轉(zhuǎn)板54旋轉(zhuǎn)并使其停止在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)位置，使得能夠利用把持柄70來(lái)把持內(nèi)部殼Ns。即，多個(gè)內(nèi)部底座支承桿56和多個(gè)內(nèi)部殼支承桿57彼此豎立地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置，因此在旋轉(zhuǎn)方向上相位錯(cuò)開(kāi)45°。在該狀態(tài)下，把持柄70下降并把持內(nèi)部殼Ns，然后上升。在該情況下，由于內(nèi)部殼Ns被支承于高度較低的內(nèi)部殼支承桿57，因此與把持柄70 —同地從比高度較高的內(nèi)部底座支承桿56靠下的位置上升，但由于內(nèi)部底座支承桿56和內(nèi)部殼支承桿57彼此豎立地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)方向的不同位置，因此能夠避免與該高度較高的內(nèi)部底座支承桿56發(fā)生干擾，能夠可靠地取出內(nèi)部殼Ns。
[0103]這樣，從各清洗槽40、50中順次取出的外部底座Mb、內(nèi)部底座Nb、內(nèi)部殼Ns、外部殼Ms經(jīng)與上述相反的工序而在支承臺(tái)20上被裝配起來(lái)，并且作為基板盒C被支承于支承臺(tái)20 (參照?qǐng)DSE)。在該狀態(tài)下，插銷(xiāo)驅(qū)動(dòng)部21被驅(qū)動(dòng)而使基板盒C被鎖定，外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內(nèi)部容器N的內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns各部件變得不能脫離。并且，室10的閘板12被打開(kāi)，移載機(jī)構(gòu)30的進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部33使機(jī)臺(tái)31與支承臺(tái)20 —同地從后退位置R2前進(jìn)到前進(jìn)位置R1，并且將支承臺(tái)20上的基板盒C交付于載置臺(tái)13 (參照?qǐng)D8D、圖SC)。在該情況下，使機(jī)臺(tái)31與支承臺(tái)20 —同地前進(jìn)到前進(jìn)位置R1，但由于載置臺(tái)13形成為