具有開放部14的叉狀，因此支承臺20在抬起基板盒C的狀態(tài)下經(jīng)過載置臺13的開放口而移動，并被定位在前進(jìn)位置Rl。在該前進(jìn)位置Rl，上下驅(qū)動部34使支承臺20下降，并將支承臺20的卡合凸部23從基板盒C的卡合凹部4卸下而將基板盒C載置于載置臺13 (參照圖SB)。在該情況下，由于使支承臺20本身直接移動而利用支承臺20來進(jìn)行基板盒C的接收、交付，因此，與以往那樣地利用手臂機(jī)器人來移動相比，變得無需把持整個基板盒，從載置臺13向支承臺20的載置不會變得復(fù)雜而變得簡易，而且，相對于載置臺13的定位也能夠容易進(jìn)行。然后，支承臺20后退到初始位置R3，在該狀態(tài)下，基板盒C從載置臺13被搬送到別處。
[0104]下面，對無需清洗外部底座Mb的外側(cè)面的情況進(jìn)行說明。在該情況下，預(yù)先對控制部100設(shè)計無需清洗外部容器M的外部底座Mb的外側(cè)面的程序。
[0105]與上述同樣地，利用搬送機(jī)構(gòu)60來搬送被支承于支承臺20的外部容器M的外部底座Mb和外部殼Ms、內(nèi)部容器N的內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns各部件。此時，如圖1和圖19所示，最后的外部底座Mb被保持在保持部90，所述保持部90設(shè)置于第一清洗槽40的蓋43的背面。在該情況下，使保持部90的卡合凸部91與外部底座Mb的卡合凹部4卡合，并且利用吸附盤92來吸附外部底座Mb。因此，能夠防止外部底座Mb向左右前后活動的情況，能夠可靠地被保持在保持部90。
[0106]在該狀態(tài)下，將蓋43關(guān)閉而進(jìn)行清洗。在該情況下，由于外部底座Mb的外側(cè)面被覆蓋，因此清洗液能夠到達(dá)內(nèi)側(cè)面而進(jìn)行清洗，但清洗液被阻止浸入到外側(cè)面，最終不進(jìn)行清洗。因此，在外部底座Mb的外側(cè)面具有鎖定部I等，所述鎖定部I將定位用的孔及各部件的裝配鎖定，存在這樣的情況:當(dāng)清洗時清洗液浸入到這些部件，干燥要花費很多時間，若在未干燥的狀態(tài)下放置，則存在內(nèi)部會生銹等不良影響，但由于避免進(jìn)行清洗，因此能夠避免這些不良影響。
[0107]另外，在上述實施方式中，示出了以使基板盒C的外部底座Mb處于下方地支承于支承臺20的情況，但不必限定于此，也可以為如下的結(jié)構(gòu):使基板盒C的外部殼Ms處于下方地支承于支承臺20，在清洗基板盒C前，按外部底座Mb、內(nèi)部底座Nb、內(nèi)部殼Ns、外部殼Ms的順序?qū)⑦@些部件從支承臺20搬送到各自對應(yīng)的第一清洗槽40內(nèi)和第二清洗槽50內(nèi)，在清洗基板盒C后，按外部殼Ms、內(nèi)部殼Ns、內(nèi)部底座Nb、外部底座Mb的順序?qū)⑦@些部件從對應(yīng)的第一清洗槽40內(nèi)和第二清洗槽50內(nèi)搬送到支承臺20而進(jìn)行裝配，也可以適當(dāng)?shù)刈兏?br>[0108]此外，在上述實施方式中，將本發(fā)明應(yīng)用于基板盒C具備由內(nèi)部底座Nb和內(nèi)部殼Ns構(gòu)成的內(nèi)部容器N、和由外部底座Mb和外部殼Ms構(gòu)成的外部容器M的雙層結(jié)構(gòu)的情況，但不一定限定于此，也可以應(yīng)用于如以往那樣地由基板和殼構(gòu)成的單層結(jié)構(gòu)的情況，也可以適當(dāng)?shù)刈兏?br>[0109]標(biāo)號說明
[0110]S基板盒清洗裝置
[0111]C基板盒
[0112]N內(nèi)部容器
[0113]Nb內(nèi)部底座
[0114]Ns內(nèi)部殼
[0115]M外部容器
[0116]Mb外部底座
[0117]Ms外部殼
[0118]D 基板
[0119]I鎖定部
[0120]2插入孔
[0121]3定位凹部
[0122]4卡合凹部
[0123]10室
[0124]11開口
[0125]12閘板
[0126]13載置臺
[0127]14開放部
[0128]15定位銷
[0129]16定位塊
[0130]20支承臺
[0131]21插銷驅(qū)動部
[0132]23卡合凸部
[0133]24吸附盤
[0134]30移載機(jī)構(gòu)
[0135]31機(jī)臺
[0136]Rl前進(jìn)位置
[0137]R2后退位置
[0138]R3初始位置
[0139]32導(dǎo)軌
[0140]33進(jìn)退驅(qū)動部
[0141]34上下驅(qū)動部
[0142]40第一清洗槽
[0143]41開口
[0144]42槽主體
[0145]43蓋
[0146]44第一旋轉(zhuǎn)板
[0147]45第一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部
[0148]46外部底座支承桿
[0149]47外部殼支承桿
[0150]48支承體
[0151]49引導(dǎo)銷
[0152]50第二清洗槽
[0153]51開口
[0154]52槽主體
[0155]53蓋
[0156]54第二旋轉(zhuǎn)板
[0157]55第二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部
[0158]56內(nèi)部底座支承桿
[0159]57內(nèi)部殼支承桿
[0160]58支承體
[0161]59引導(dǎo)銷
[0162]60搬送機(jī)構(gòu)
[0163]61把持機(jī)構(gòu)
[0164]62升降機(jī)構(gòu)
[0165]63行進(jìn)移動機(jī)構(gòu)
[0166]64底座板
[0167]65升降導(dǎo)軌
[0168]66 支架
[0169]67水平導(dǎo)軌
[0170]70把持柄
[0171]71柄單體
[0172]72驅(qū)動部
[0173]73、74、75、76 卡定部
[0174]80清洗單元
[0175]Q待機(jī)位置
[0176]81噴射嘴
[0177]82排氣扇
[0178]90保持部
[0179]91卡合凸部
[0180]92吸附盤
[0181]100控制部
【主權(quán)項】
1.一種基板盒清洗裝置，其在未設(shè)置基板的狀態(tài)下對基板盒進(jìn)行清洗，該基板盒具備底座和覆蓋該底座的殼，并且在內(nèi)部容納上述基板，其中， 該基板盒清洗裝置具備: 室，其形成潔凈的空間； 清洗槽，其設(shè)置在該室內(nèi)，在將上述基板盒的底座和殼各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件； 支承臺，其在上述室內(nèi)對上述基板盒進(jìn)行支承；和 搬送機(jī)構(gòu)，其在上述支承臺與清洗槽之間對該基板盒的各部件進(jìn)行搬送， 在上述室設(shè)置有開口，該開口能夠供上述基板盒通過并且由閘板進(jìn)行開閉， 該基板盒清洗裝置還具備: 載置臺，上述基板盒在上述室的上述開口的外部能夠被定位并載置于該載置臺的規(guī)定位置；和 移載機(jī)構(gòu)，在上述基板盒的清洗前，使上述閘板打開，該移載機(jī)構(gòu)將被載置于上述載置臺的基板盒移載到上述支承臺，在該基板盒的清洗后，使上述閘板打開，該移載機(jī)構(gòu)將被支承于上述支承臺的基板盒移載到上述載置臺， 上述移載機(jī)構(gòu)具備: 機(jī)臺，其搭載上述支承臺，并且能夠移動至前進(jìn)位置和后退位置這兩個位置，該前進(jìn)位置是該機(jī)臺前進(jìn)到上述載置臺側(cè)而在該載置臺與上述支承臺之間進(jìn)行上述基板盒的接收和交付的位置，該后退位置是該機(jī)臺后退到上述室內(nèi)而在與上述搬送機(jī)構(gòu)之間進(jìn)行該基板盒的交付和接收的位置； 導(dǎo)軌，其將該機(jī)臺支承成能夠移動；和 進(jìn)退驅(qū)動部，其使該機(jī)臺移動至上述前進(jìn)位置和后退位置這兩個位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板盒清洗裝置，其中， 在上述基板盒的被上述支承臺支承的一側(cè)形成有卡合凹部，在上述支承臺上設(shè)置有與上述基板盒的上述卡合凹部卡合的卡合凸部， 上述載置臺形成為具有開放部的叉狀，該開放部朝向室側(cè)開放并使上述基板盒的上述卡合凹部露出， 上述支承臺設(shè)置成能夠相對于上述移載機(jī)構(gòu)的機(jī)臺上下移動， 該基板盒清洗裝置具備使該支承臺上下移動的上下驅(qū)動部， 在上述前進(jìn)位置處，通過使上述支承臺上升，使該支承臺的卡合凸部與基板盒的卡合凹部卡合而將該基板盒抬起，使該支承臺能夠在抬起該基板盒的狀態(tài)下經(jīng)過上述載置臺的開放口而移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板盒清洗裝置，其中， 在上述支承臺上設(shè)置有吸附盤，該吸附盤吸附上述基板盒的被該支承臺支承的一側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板盒清洗裝置，其中， 在上述基板盒的被上述支承臺支承的一側(cè)設(shè)置有插銷型的鎖定部，該鎖定部將上述基板盒的各部件鎖定成彼此不能脫離并將這些部件解除鎖定成能夠脫離， 在上述支承臺上設(shè)置有插銷驅(qū)動部，在上述前進(jìn)位置處使上述支承臺上升而使該支承臺的卡合凸部與上述基板盒的卡合凹部卡合時，該插銷驅(qū)動部進(jìn)行上述鎖定部的鎖定和解除鎖定。
【專利摘要】使從載置臺到支承臺的移載簡易而不會變得復(fù)雜，而且，向支承臺的定位也能夠容易進(jìn)行。在室(10)內(nèi)具備清洗槽(40、50)，所述清洗槽(40、50)在將基板盒(C)的各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件，設(shè)置在室(10)內(nèi)對基板盒(C)進(jìn)行支承的支承臺(20)，具備搬送機(jī)構(gòu)，該搬送機(jī)構(gòu)在支承臺(20)與清洗槽(40、50)之間對基板盒(C)的各部件進(jìn)行搬送，在室(10)的開口(11)的外部設(shè)置載置臺(13)，所述載置臺(13)能夠載置基板盒(C)，設(shè)置在載置臺(13)與支承臺(20)之間移載基板盒(C)的移載機(jī)構(gòu)(30)，移載機(jī)構(gòu)(30)能夠移動至前進(jìn)位置(R1)和后退位置(R2)這兩個位置，所述前進(jìn)位置(R1)是移載機(jī)構(gòu)(30)搭載支承臺(20)并前進(jìn)到載置臺(13)側(cè)而進(jìn)行與載置臺(13)之間的基板盒(C)的接收和交付的位置，所述后退位置(R2)是移載機(jī)構(gòu)(30)后退到室(10)內(nèi)而在與搬送機(jī)構(gòu)之間進(jìn)行基板盒(C)的交付和接收的位置。
【IPC分類】G03F1-66, H01L21-677, H01L21-027, H01L21-304
【公開號】CN104620359
【申請?zhí)枴緾N201380047075
【發(fā)明人】坂下俊也
【申請人】修谷魯電子機(jī)器股份有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2013年9月13日
【公告號】US20150217345, WO2014046043A1